JPH01180615U - - Google Patents

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JPH01180615U
JPH01180615U JP1988130027U JP13002788U JPH01180615U JP H01180615 U JPH01180615 U JP H01180615U JP 1988130027 U JP1988130027 U JP 1988130027U JP 13002788 U JP13002788 U JP 13002788U JP H01180615 U JPH01180615 U JP H01180615U
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    • G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
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    • G01D5/32—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light
    • G01D5/34—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells
    • G01D5/36—Forming the light into pulses
    • G01D5/38—Forming the light into pulses by diffraction gratings

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  • General Physics & Mathematics (AREA)
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Description

【図面の簡単な説明】
第１図は、幾何光学的システムの光学式変位検
出器に本考案を適用した例を示す概念図、第２図
は、回折効果的システムに本考案を適用した例を
示す概念図、第３図は、アレイ状光源を用いた例
を示す概念図、第４図は、アレイ状受光素子を用
いた例を示す概念図、第５図は、本考案に係る光
学式変位検出器の実施例の要部構成を示す断面図
、第６図は、前記実施例の第１格子の形状を示す
、第５図の―線に沿う断面図、第７図は、同
じく第２及び第３格子の配置を示す、第５図の
―線に沿う断面図、第８図及び第９図は、同じ
く第２及び第３格子の他の配置を示す、第７図と
同様の断面図、第１０図は、前記実施例の信号処
理回路の基本的な構成を示す回路図、第１１図は
、従来の３格子型光学式変位検出器の構成を示す
概念図、第１２図は、検出信号のＳＮ比の定義を
示す線図である。 １２……第１格子（格子ピツチＰ１）、１４…
…第２格子（格子ピツチＰ２）、１４Ａ……暗部
、１４Ｂ……明部、１６……第３格子（格子ピツ
チＰ３）、１８，４２……光源、２０，４８……
受光素子、３０……アレイ状光源、３２……アレ
イ状受光素子、４０……メインスケール（第１ス
ケール）、４４……インデツクススケール（第２
、第３スケール）、ａ……検出信号。

Claims (1)

  1. 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 相対移動する一方の部材に固定される、第
    １の格子が形成された第１スケールと、 相対移動する他方の部材に固定される、平行光
    線化されていない照明光を射出する光源、該光源
    からの照明光を一部遮蔽して、前記第１格子を照
    明するための第２格子が形成された第２スケール
    、前記第２及び第１格子によつて制限された照明
    光を更に制限するための第３格子が形成された第
    ３スケール、及び、前記第１乃至第３格子によつ
    て制限された照明光を検出する受光素子とを含み
    、 該受光素子出力の検出信号の周期的な変動から
    前記両部材間の相対変位を検出するようにした光
    学式変位検出器において、 前記第２格子のピツチを第１格子のピツチより
    大とすると共に、その光透過部の長さを第１格子
    のピツチの長さ以下としたことを特徴とする光学
    式変位検出器。 (2) 請求項１記載の光学式変位検出器において
    、前記光源と第２格子が一体化され、アレイ状光
    源とされていることを特徴とする光学式変位検出
    器。 (3) 請求項１又は２記載の光学式変位検出器に
    おいて、前記第３格子と受光素子が一体化され、
    アレイ状受光素子とされていることを特徴とする
    光学式変位検出器。 (4) 相対移動する一方の部材に固定される、第
    １の格子が形成された、反射型の第１スケールと
    、 相対移動する他方の部材に固定される、平行光
    線化されていない照明光を射出する光源、該光源
    からの照明光を一部遮蔽して、前記第１格子を照
    明するための第２格子、及び、該第２及び第１格
    子によつて制限された照明光を更に制限するため
    の、前記第２格子と独立した、位相が互いに異な
    る複数の第３格子が形成された第２スケール、及
    び、前記第１乃至各第３格子によつて制限された
    照明光をそれぞれ検出する複数の受光素子とを備
    え、 該受光素子出力の検出信号の周期的な変動から
    前記両部材間の相対変位を検出することを特徴と
    する反射式の光学式変位検出器。 (5) 請求項４記載の光学式変位検出器において
    、前記第２格子のピツチを第１格子のピツチより
    大とすると共に、その光透過部の長さを第１格子
    のピツチの長さ以下としたことを特徴とする反射
    式の光学式変位検出器。
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