JPH06160114A - エンコーダ - Google Patents
エンコーダInfo
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- JPH06160114A JPH06160114A JP4316889A JP31688992A JPH06160114A JP H06160114 A JPH06160114 A JP H06160114A JP 4316889 A JP4316889 A JP 4316889A JP 31688992 A JP31688992 A JP 31688992A JP H06160114 A JPH06160114 A JP H06160114A
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- Japan
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- light
- slit
- slit plate
- slits
- projector
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Abstract
(57)【要約】
【目的】被測定体の動きをスリット板の動きとして捉え
そのスリット板の動きを光電的に検出することにより被
測定体の動きを計測するエンコーダに関し、所定ピツチ
のスリットが形成されたスリット板を用いて従来より微
小な動きを検出する。 【構成】投光器から発せられた光をスリットを通過させ
その光路をスリットの配列方向に対し反転させて再度上
記スリットを通過させて受光器で受光する。
そのスリット板の動きを光電的に検出することにより被
測定体の動きを計測するエンコーダに関し、所定ピツチ
のスリットが形成されたスリット板を用いて従来より微
小な動きを検出する。 【構成】投光器から発せられた光をスリットを通過させ
その光路をスリットの配列方向に対し反転させて再度上
記スリットを通過させて受光器で受光する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、被測定体の動きをスリ
ット板の動きとして捉え、そのスリット板の動きを光電
的に検出することにより被測定体の動きを計測するエン
コーダに関する。
ット板の動きとして捉え、そのスリット板の動きを光電
的に検出することにより被測定体の動きを計測するエン
コーダに関する。
【０００２】
【従来の技術】従来より被測定体の動きを多数のスリッ
トが形成されたスリット板の動きに置き換え、このスリ
ット板の動きを光学的に計測するリニアエンコーダ，ロ
ータリエンコーダ等と呼ばれるエンコーダが種々の分野
で多用されている。図６は、従来のエンコーダの一例を
示した模式図である。
トが形成されたスリット板の動きに置き換え、このスリ
ット板の動きを光学的に計測するリニアエンコーダ，ロ
ータリエンコーダ等と呼ばれるエンコーダが種々の分野
で多用されている。図６は、従来のエンコーダの一例を
示した模式図である。
【０００３】所定の方向（図の上下方向）に多数配列さ
れたスリット１０ａ，１２ａを有する２枚のスリット板
１０，１２が互いに平行に配列されている。スリット板
１０は、図示しない被測定体の動きに従って矢印Ａ方向
に移動し、スリット板１２は固定されている。スリット
板１０には、投光器１４から発せられた光１６が照射さ
れ、この光１６はスリット１０ａを通過し、さらにスリ
ット板１２のスリット１２ａを通過して受光器１８によ
り受光される。
れたスリット１０ａ，１２ａを有する２枚のスリット板
１０，１２が互いに平行に配列されている。スリット板
１０は、図示しない被測定体の動きに従って矢印Ａ方向
に移動し、スリット板１２は固定されている。スリット
板１０には、投光器１４から発せられた光１６が照射さ
れ、この光１６はスリット１０ａを通過し、さらにスリ
ット板１２のスリット１２ａを通過して受光器１８によ
り受光される。
【０００４】被測定体（図示せず）の動きに従ってスリ
ット板１０が矢印Ａ方向に移動すると、受光器１８から
はスリット板１０の動きに応じた繰り返し信号が出力さ
れ、その信号に基づいて被測定体の動きやその速度が計
測される。尚、投光器１４ないし受光器１８をスリット
板１０，１２の近傍には配置せずに離れた位置に配置さ
れた投光器から発せられた光で光ファイバ等を用いて伝
送し、スリットを通過した光を光ファイバに入射して離
れた位置に配置された受光器に導いてもよい。
ット板１０が矢印Ａ方向に移動すると、受光器１８から
はスリット板１０の動きに応じた繰り返し信号が出力さ
れ、その信号に基づいて被測定体の動きやその速度が計
測される。尚、投光器１４ないし受光器１８をスリット
板１０，１２の近傍には配置せずに離れた位置に配置さ
れた投光器から発せられた光で光ファイバ等を用いて伝
送し、スリットを通過した光を光ファイバに入射して離
れた位置に配置された受光器に導いてもよい。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】エンコーダを用いて被
測定体の動きを高精度に計測する場合わずかな動きでも
信号が変化するようにスリット１０ａ，１２ａのピツチ
を細かくするという手法が採用されるが、スリット１０
ａ，１２ａのピツチを細かくするにも限度があり、この
限度を越えて被測定体の微少な動きを計測することが要
望されている。
測定体の動きを高精度に計測する場合わずかな動きでも
信号が変化するようにスリット１０ａ，１２ａのピツチ
を細かくするという手法が採用されるが、スリット１０
ａ，１２ａのピツチを細かくするにも限度があり、この
限度を越えて被測定体の微少な動きを計測することが要
望されている。
【０００６】本発明は、上記要望を満足し、所定ピツチ
のスリットが形成されたスリット板を用いて従来より微
小な動きを検出することのできるエンコーダを提供する
ことを目的とする。
のスリットが形成されたスリット板を用いて従来より微
小な動きを検出することのできるエンコーダを提供する
ことを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成する本発
明のエンコーダは、 （１）所定方向に所定のピツチで並ぶ多数のスリットが
形成された、前記所定方向に移動自在なスリット板 （２）スリット板に向けて光を発する投光器 （３）投光器から発せられた光を、スリットを通過させ
て上記所定方向の光路を反転させて再度スリットを通過
させる反射光学系 （４）投光器から発せられスリットを往復した光を受光
する受光器 を備えたこを特徴とするものである。
明のエンコーダは、 （１）所定方向に所定のピツチで並ぶ多数のスリットが
形成された、前記所定方向に移動自在なスリット板 （２）スリット板に向けて光を発する投光器 （３）投光器から発せられた光を、スリットを通過させ
て上記所定方向の光路を反転させて再度スリットを通過
させる反射光学系 （４）投光器から発せられスリットを往復した光を受光
する受光器 を備えたこを特徴とするものである。
【０００８】ここで、上記反射光学系は、互いに直角に
向かい合わされた２つの反射面を有する構成であっても
よい。もしくは、上記スリット板が、このスリット板の
投光器および受光器側の表面に多数のスリットを有する
とともに、その表面と対向する裏面にスリットを通過し
てきた光をスリットに向けて反射する反射面を有し、上
記反射光学系が、投光器から発せられた光を反射面に集
光させる投光側レンズと、その反射面自身と、その反射
面で反射した光を受光器に集光させる受光側レンズとを
有する構成としてもよい。
向かい合わされた２つの反射面を有する構成であっても
よい。もしくは、上記スリット板が、このスリット板の
投光器および受光器側の表面に多数のスリットを有する
とともに、その表面と対向する裏面にスリットを通過し
てきた光をスリットに向けて反射する反射面を有し、上
記反射光学系が、投光器から発せられた光を反射面に集
光させる投光側レンズと、その反射面自身と、その反射
面で反射した光を受光器に集光させる受光側レンズとを
有する構成としてもよい。
【０００９】上記本発明のエンコーダにおいて、インコ
ヒーレント光を発する投光器を備えることが好ましい。
ヒーレント光を発する投光器を備えることが好ましい。
【００１０】
【作用】本発明のエンコーダは、一枚のスリット板を用
いて、投光器から発せられた光をスリットを通過させる
とともにそのスリットを通過した光をその光路を反転さ
せ再度スリットを通過させて受光器で受光するように構
成したものであるため、その一枚のスリット板の移動
は、等価的に、図６に示すスリット板１０が矢印Ａ方向
に所定の速度で移動すると同時にスリット板１２が矢印
Ａとは反対の矢印Ａ’方向に同じ速度で移動することに
相当し、したがって従来と比べ、被測定体の同一の動き
に対し２倍の繰り返し周波数の信号が得られることとな
り、本発明のエンコーダでは従来と比べ２倍の精度の計
測が可能となる。
いて、投光器から発せられた光をスリットを通過させる
とともにそのスリットを通過した光をその光路を反転さ
せ再度スリットを通過させて受光器で受光するように構
成したものであるため、その一枚のスリット板の移動
は、等価的に、図６に示すスリット板１０が矢印Ａ方向
に所定の速度で移動すると同時にスリット板１２が矢印
Ａとは反対の矢印Ａ’方向に同じ速度で移動することに
相当し、したがって従来と比べ、被測定体の同一の動き
に対し２倍の繰り返し周波数の信号が得られることとな
り、本発明のエンコーダでは従来と比べ２倍の精度の計
測が可能となる。
【００１１】また本発明のエンコーダにおいてはスリッ
ト板の一方の側で投光および受光の双方が行われるた
め、スリット板を挾んだ両側双方に投受光器と接続され
る電気ケーブル、あるいは投光、受光の光を導く光ケー
ブル等を配置する必要がなく、スリット板の片側にのみ
配置すればよいため、このエンコーダの組立作業が容易
となり、装置の小型化、コストダウンにも通じることと
なる。
ト板の一方の側で投光および受光の双方が行われるた
め、スリット板を挾んだ両側双方に投受光器と接続され
る電気ケーブル、あるいは投光、受光の光を導く光ケー
ブル等を配置する必要がなく、スリット板の片側にのみ
配置すればよいため、このエンコーダの組立作業が容易
となり、装置の小型化、コストダウンにも通じることと
なる。
【００１２】また、図５に示す従来のエンコーダないし
本発明のエンコーダにおいて、スリットで回折が生じる
が、図６に示す従来のエンコーダにおいて２枚のスリッ
ト板１０，１２の間隔が十分離れている場合、あるい
は、本発明のエンコーダにおいてスリットを往路で通過
してから復路で通過するまでの光路が十分長い場合、イ
ンコヒーレント光を採用すると繰返し周波数の１倍の信
号がほとんどなくなりスリットピッチの１／２の周期で
１パルスが発生する。したがってコヒーレント光を採用
した場合と比べ２倍の繰り返し周波数の信号が得られる
ことになる。本発明のエンコーダにおいてインコヒーレ
ント光を採用した場合、図６に示す従来のエンコーダに
おいてコヒーレント光を採用した場合と比べ、スリット
板の等価的な２倍の動きにより２倍、インコヒーレント
光を採用したことによりさらに２倍、合計４倍の繰り返
し周波数の信号を得ることができ、したがって測定精度
がさらに向上する。
本発明のエンコーダにおいて、スリットで回折が生じる
が、図６に示す従来のエンコーダにおいて２枚のスリッ
ト板１０，１２の間隔が十分離れている場合、あるい
は、本発明のエンコーダにおいてスリットを往路で通過
してから復路で通過するまでの光路が十分長い場合、イ
ンコヒーレント光を採用すると繰返し周波数の１倍の信
号がほとんどなくなりスリットピッチの１／２の周期で
１パルスが発生する。したがってコヒーレント光を採用
した場合と比べ２倍の繰り返し周波数の信号が得られる
ことになる。本発明のエンコーダにおいてインコヒーレ
ント光を採用した場合、図６に示す従来のエンコーダに
おいてコヒーレント光を採用した場合と比べ、スリット
板の等価的な２倍の動きにより２倍、インコヒーレント
光を採用したことによりさらに２倍、合計４倍の繰り返
し周波数の信号を得ることができ、したがって測定精度
がさらに向上する。
【００１３】
【実施例】以下、本発明の実施例について説明する。図
１は、本発明の一実施例のエンコーダの概略構成図であ
る。このエンコーダは、多数のスリット３０ａが所定の
方向（図の上下方向）に所定のピツチで配列されたスリ
ット板３０を備えており、このスリット板３０は、図示
しない被測定体の動きに対応して矢印Ａ方向に移動す
る。スリット板３０の、図の左方には、投光器２４と受
光器２８が互いに並べられて配置されており、またスリ
ット板３０の、図の右側には、互いに直角に向かい合わ
された２枚の反射鏡３２ａ，３２ｂからなる反射光学系
３２が備えられている。この２枚の反射鏡３２ａ，３２
ｂは実質的に反射鏡の役割りを成せばよく、例えば直角
プリズム等を用いてもよい。
１は、本発明の一実施例のエンコーダの概略構成図であ
る。このエンコーダは、多数のスリット３０ａが所定の
方向（図の上下方向）に所定のピツチで配列されたスリ
ット板３０を備えており、このスリット板３０は、図示
しない被測定体の動きに対応して矢印Ａ方向に移動す
る。スリット板３０の、図の左方には、投光器２４と受
光器２８が互いに並べられて配置されており、またスリ
ット板３０の、図の右側には、互いに直角に向かい合わ
された２枚の反射鏡３２ａ，３２ｂからなる反射光学系
３２が備えられている。この２枚の反射鏡３２ａ，３２
ｂは実質的に反射鏡の役割りを成せばよく、例えば直角
プリズム等を用いてもよい。
【００１４】投光器２４から発せられた光２６ａ，２６
ｂは、スリット板３０のスリット３０ａを通り、反射鏡
３２ａで反射し、さらに反射鏡３２ｂで反射し、再度ス
リット３０ａを通り受光器２８で受光される。ここで、
投光器２４から発せられた、図の上側の光路を通る光２
６ａおよび図の下側の光路を通る光２６ｂは、反射光学
系３２で反射された後の復路では、その光路の上下が逆
となり、往路では図の上側の光路を通った光２６ａが復
路では図の下側の光路を通り、往路では図の下側の光路
を通った光２６ｂが復路では図の上側の光路を通ること
となる。即ち、この反射光学系は、投光器から発せられ
スリット３０ａを通過した光２６ａ，２６ｂのスリット
３０ａの配列方向（図の上下方向）の光路を反転させて
再度スリット３０ａを通過させるものである。
ｂは、スリット板３０のスリット３０ａを通り、反射鏡
３２ａで反射し、さらに反射鏡３２ｂで反射し、再度ス
リット３０ａを通り受光器２８で受光される。ここで、
投光器２４から発せられた、図の上側の光路を通る光２
６ａおよび図の下側の光路を通る光２６ｂは、反射光学
系３２で反射された後の復路では、その光路の上下が逆
となり、往路では図の上側の光路を通った光２６ａが復
路では図の下側の光路を通り、往路では図の下側の光路
を通った光２６ｂが復路では図の上側の光路を通ること
となる。即ち、この反射光学系は、投光器から発せられ
スリット３０ａを通過した光２６ａ，２６ｂのスリット
３０ａの配列方向（図の上下方向）の光路を反転させて
再度スリット３０ａを通過させるものである。
【００１５】このように構成されたエンコーダは、等価
的に図５のように図示することができ、被測定体の動き
に応じてスリット板３０が矢印Ａ方向に移動すると、こ
の移動は、図５に示すエンコーダではスリット板１０が
矢印Ａ方向に移動するとともにスリット板１２が矢印
Ａ’方向に同じ速度で移動することに対応する。したが
って従来と比べ２倍の繰り返し周波数の信号を得ること
ができ被測定体の動きを２倍の精度で計測することがで
きる。
的に図５のように図示することができ、被測定体の動き
に応じてスリット板３０が矢印Ａ方向に移動すると、こ
の移動は、図５に示すエンコーダではスリット板１０が
矢印Ａ方向に移動するとともにスリット板１２が矢印
Ａ’方向に同じ速度で移動することに対応する。したが
って従来と比べ２倍の繰り返し周波数の信号を得ること
ができ被測定体の動きを２倍の精度で計測することがで
きる。
【００１６】図２は、図１に示すエンコーダにおいて、
スリット板３０が傾いた場合の等価構造図である。従来
のエンコーダ（図５参照）においては、スリット板１
０，１２は一方が固定、他方が移動自在に構成されるた
め互いに別の部品として構成される。したがって図５に
破線で示すスリット板１２’のように、２枚のスリット
板１０，１２の平行度が保たれず一方のみが傾き、これ
により２枚のスリット板１０，１２’のスリット１０
ａ，１２ａ’のピツチが合わなくなり、このため信号に
影響が生じ、最悪の場合正規の信号そのものが消失して
しまう恐れがある。これに対し、図１に示すエンコーダ
では、スリット板３０の傾きは、２枚のスリット板が互
いに平行を保ったまま傾くことと等価であり、等価的な
２枚のスリット板のピツチはそのまま保たれ、スリット
３０が傾くことによって信号が消失してしまうようなこ
とはなく、したがって精度を保ったまま組立ての公差を
大きくとることができ、この点からも組立作業が容易と
なり低コスト化を図ることができることとなる。
スリット板３０が傾いた場合の等価構造図である。従来
のエンコーダ（図５参照）においては、スリット板１
０，１２は一方が固定、他方が移動自在に構成されるた
め互いに別の部品として構成される。したがって図５に
破線で示すスリット板１２’のように、２枚のスリット
板１０，１２の平行度が保たれず一方のみが傾き、これ
により２枚のスリット板１０，１２’のスリット１０
ａ，１２ａ’のピツチが合わなくなり、このため信号に
影響が生じ、最悪の場合正規の信号そのものが消失して
しまう恐れがある。これに対し、図１に示すエンコーダ
では、スリット板３０の傾きは、２枚のスリット板が互
いに平行を保ったまま傾くことと等価であり、等価的な
２枚のスリット板のピツチはそのまま保たれ、スリット
３０が傾くことによって信号が消失してしまうようなこ
とはなく、したがって精度を保ったまま組立ての公差を
大きくとることができ、この点からも組立作業が容易と
なり低コスト化を図ることができることとなる。
【００１７】図３は、本発明のエンコーダの他の実施例
の概略構成図、図４はその等価構成図である。この実施
例におけるスリット板４０は、ガラス板４２の表面側に
例えば銀蒸着によりスリット４４が形成され、ガラス板
４２の裏面側に反射ミラー６０を配置したものである。
の概略構成図、図４はその等価構成図である。この実施
例におけるスリット板４０は、ガラス板４２の表面側に
例えば銀蒸着によりスリット４４が形成され、ガラス板
４２の裏面側に反射ミラー６０を配置したものである。
【００１８】投光器５０から発せられた光５２は、投光
側レンズ５４により反射ミラー６０の反射面６１に集光
され、この反射面で反射した光は受光側レンズ５６を介
して受光器５８に集光される。受光器５８は、光を受光
するセンサそのものであってもよいが、光ファイバとセ
ンサとの組合せであってもよく、この場合、受光側レン
ズ５６は、当然ながら、光ファイバの端面に光を集光さ
せることになる。
側レンズ５４により反射ミラー６０の反射面６１に集光
され、この反射面で反射した光は受光側レンズ５６を介
して受光器５８に集光される。受光器５８は、光を受光
するセンサそのものであってもよいが、光ファイバとセ
ンサとの組合せであってもよく、この場合、受光側レン
ズ５６は、当然ながら、光ファイバの端面に光を集光さ
せることになる。
【００１９】ここで、往路の光５２は、反射面６１で反
射された後その光路が上下反射されて戻ることになる。
この図３に示すエンコーダは、等価的には図４に示す構
成を有し、図３に示すスリット板４０の矢印Ａ方向への
移動は、図４に示す２枚のスリット板の矢印Ａ，Ａ’方
向への移動に相当する。これにより、従来（図６参照）
と比べ、２倍の繰り返し周波数の信号が得られ、従来と
比べ２倍の精度で被測定体の動きが計測される。
射された後その光路が上下反射されて戻ることになる。
この図３に示すエンコーダは、等価的には図４に示す構
成を有し、図３に示すスリット板４０の矢印Ａ方向への
移動は、図４に示す２枚のスリット板の矢印Ａ，Ａ’方
向への移動に相当する。これにより、従来（図６参照）
と比べ、２倍の繰り返し周波数の信号が得られ、従来と
比べ２倍の精度で被測定体の動きが計測される。
【００２０】図５は、本発明のエンコーダのさらに異な
る実施例の概略構成図である。この実施例において、図
３に示す実施例と同一の構成要素には図３に付した番号
と同一の番号を付し、相違点についてのみ説明する。こ
の実施例におけるスリット板４０には、図３に示す実施
例におけるガラス板よりも厚めのガラス板４２が用いら
れ、このガラス板４２の表面側には図３に示す実施例の
場合と同様に例えば銀蒸着によりスリット４４が形成さ
れ、さらにガラス板４２の裏面側全面に銀蒸着による反
射面４６が形成されている。これにより、この反射面４
６が図３に示す実施例における反射ミラー６０と同等の
作用をなし、スリット板４０とは別体の反射ミラーを配
置する必要がない。
る実施例の概略構成図である。この実施例において、図
３に示す実施例と同一の構成要素には図３に付した番号
と同一の番号を付し、相違点についてのみ説明する。こ
の実施例におけるスリット板４０には、図３に示す実施
例におけるガラス板よりも厚めのガラス板４２が用いら
れ、このガラス板４２の表面側には図３に示す実施例の
場合と同様に例えば銀蒸着によりスリット４４が形成さ
れ、さらにガラス板４２の裏面側全面に銀蒸着による反
射面４６が形成されている。これにより、この反射面４
６が図３に示す実施例における反射ミラー６０と同等の
作用をなし、スリット板４０とは別体の反射ミラーを配
置する必要がない。
【００２１】このため、図５に示すエンコーダは、スリ
ット板４０の後方（図５の右側）には、何らの光学的な
あるいは電気的な部品を配置する必要がなく、したがっ
てこの図５に示すエンコーダは、図１，図３に示すエン
コーダよりも一層組立性が向上することになる。尚、上
記各実施例において、インコヒーレント光を用いスリッ
トを２回通過する間の光路長（等価的な２枚のスリット
板の間隔）を十分に長くとることにより、さらに２倍の
繰り返し周波数の信号を得ることができ、この場合被測
定体の動きをさらに２倍の精度で計測することができ
る。
ット板４０の後方（図５の右側）には、何らの光学的な
あるいは電気的な部品を配置する必要がなく、したがっ
てこの図５に示すエンコーダは、図１，図３に示すエン
コーダよりも一層組立性が向上することになる。尚、上
記各実施例において、インコヒーレント光を用いスリッ
トを２回通過する間の光路長（等価的な２枚のスリット
板の間隔）を十分に長くとることにより、さらに２倍の
繰り返し周波数の信号を得ることができ、この場合被測
定体の動きをさらに２倍の精度で計測することができ
る。
【００２２】また上記各実施例では、リニアエンコーダ
を想定した概略構成図を参照して説明したが、本発明は
リニアエンコーダだけでなくロータリーエンコーダにも
適用することができることは言うまでもない。その場
合、本発明にいう所定の方向は、回転方向として解釈さ
れる。またロータリーエンコーダの場合、スリットは放
射状に形成されるため、投光器から受光器に至る光路が
直径方向に反転しないよう、図３，図５に示す実施例を
ロータリーエンコーダに適用する場合、レンズ５４，５
６としてシリンドリカルレンズを用いることが必要とな
る。
を想定した概略構成図を参照して説明したが、本発明は
リニアエンコーダだけでなくロータリーエンコーダにも
適用することができることは言うまでもない。その場
合、本発明にいう所定の方向は、回転方向として解釈さ
れる。またロータリーエンコーダの場合、スリットは放
射状に形成されるため、投光器から受光器に至る光路が
直径方向に反転しないよう、図３，図５に示す実施例を
ロータリーエンコーダに適用する場合、レンズ５４，５
６としてシリンドリカルレンズを用いることが必要とな
る。
【００２３】また、図１〜図５には、スリット板に隣接
して実際に光を発する光源や実際に光を受光するセンサ
が配置されているが、これら実際に光を発する光源や実
際に光を受光するセンサはスリット板から離れた位置に
配置し、光源から発せられた光を光ファイバ等でスリッ
ト板に導き、スリット板を通過した光を光ファイバ等で
実際に光を受光するセンサに導く構成としてもよい。こ
の場合、本発明にいう投光器、受光器は、それぞれ、光
源と光ファイバと組合せ、光ファイバとセンサとの組合
せとして観念される。
して実際に光を発する光源や実際に光を受光するセンサ
が配置されているが、これら実際に光を発する光源や実
際に光を受光するセンサはスリット板から離れた位置に
配置し、光源から発せられた光を光ファイバ等でスリッ
ト板に導き、スリット板を通過した光を光ファイバ等で
実際に光を受光するセンサに導く構成としてもよい。こ
の場合、本発明にいう投光器、受光器は、それぞれ、光
源と光ファイバと組合せ、光ファイバとセンサとの組合
せとして観念される。
【００２４】
【発明の効果】以上説明したように、本発明のエンコー
ダは、投光器から発せられた光をスリットを通過させそ
の光路をスリットの配列方向に対し反転させて再度上記
スリットを通過させて受光器で受光する構成としたた
め、スリット板の動きが２倍に生かされ、２倍の精度で
被測定体の動きを計測することができる。また本発明に
おいてインコヒーレント光を用いた場合、コヒーレント
光を用いた場合と比べさらに２倍、合計４倍の精度で被
測定体の動きが計測される。
ダは、投光器から発せられた光をスリットを通過させそ
の光路をスリットの配列方向に対し反転させて再度上記
スリットを通過させて受光器で受光する構成としたた
め、スリット板の動きが２倍に生かされ、２倍の精度で
被測定体の動きを計測することができる。また本発明に
おいてインコヒーレント光を用いた場合、コヒーレント
光を用いた場合と比べさらに２倍、合計４倍の精度で被
測定体の動きが計測される。
【図１】本発明の一実施例のエンコーダの概略構成図で
ある。
ある。
【図２】図１に示すエンコーダにおいて、スリット板３
０が傾いた場合の等価構造図である。
０が傾いた場合の等価構造図である。
【図３】本発明のエンコーダの他の実施例の概略構成図
である。
である。
【図４】図３に示す実施例の等価構成図である。
【図５】本発明のエンコーダのさらに異なる実施例の概
略構成図である。
略構成図である。
【図６】従来のエンコーダの一例を示した模式図であ
る。
る。
２４ 投光器 ２８ 受光器 ３０ スリット板 ３０ａ スリット ３２ 反射光学系 ３２ａ，３２ｂ 反射鏡 ４０ スリット板 ４２ ガラス板 ４４ スリット ４６ 反射面 ５０ 投光器 ５４ 投光側レンズ ５６ 受光側レンズ ５８ 受光器 ６０ 反射ミラー ６１ 反射面
Claims (4)
- 【請求項１】 所定方向に所定のピツチで並ぶ多数のス
リットが形成された、前記所定方向に移動自在なスリッ
ト板と、 前記スリット板に向けて光を発する投光器と、 該投光器から発せられた光を、前記スリットを通過させ
前記所定方向の光路を反転させて再度前記スリットを通
過させる反射光学系と、 前記投光器から発せられ前記スリットを往復した光を受
光する受光器とを備えたことを特徴とするエンコーダ。 - 【請求項２】 前記反射光学系が、互いに直角に向かい
合わされた２つの反射面を有することを特徴とする請求
項１記載のエンコーダ。 - 【請求項３】 前記スリット板が、該スリット板の前記
投光器および前記受光器側の表面に前記多数のスリット
を有するとともに、該表面と対向する裏面に該スリット
を通過してきた光を該スリットに向けて反射する反射面
を有し、 前記反射光学系が、前記投光器から発せられた光を前記
反射面に集光させる投光側レンズと、前記反射面と、該
反射面で反射した光を前記受光器に集光させる受光側レ
ンズとからなることを特徴とする請求項１記載のエンコ
ーダ。 - 【請求項４】 前記投光器が、インコヒーレント光を発
するものであることを特徴とする請求項１から３のうち
いずれか１項記載のエンコーダ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4316889A JPH06160114A (ja) | 1992-11-26 | 1992-11-26 | エンコーダ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4316889A JPH06160114A (ja) | 1992-11-26 | 1992-11-26 | エンコーダ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06160114A true JPH06160114A (ja) | 1994-06-07 |
Family
ID=18082041
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4316889A Pending JPH06160114A (ja) | 1992-11-26 | 1992-11-26 | エンコーダ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06160114A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP2176626A2 (en) * | 2007-08-08 | 2010-04-21 | Eliezer Zeichner | Encoding device, system and method |
| JP2012098287A (ja) * | 2010-11-03 | 2012-05-24 | Dr Johannes Heidenhain Gmbh | 光学式角度測定装置 |
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-
1992
- 1992-11-26 JP JP4316889A patent/JPH06160114A/ja active Pending
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| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
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