JPS58210506A - 光電的測定装置 - Google Patents
光電的測定装置Info
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- JPS58210506A JPS58210506A JP58086737A JP8673783A JPS58210506A JP S58210506 A JPS58210506 A JP S58210506A JP 58086737 A JP58086737 A JP 58086737A JP 8673783 A JP8673783 A JP 8673783A JP S58210506 A JPS58210506 A JP S58210506A
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- slit
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
- G01D5/26—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light
- G01D5/32—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light
- G01D5/34—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells
- G01D5/36—Forming the light into pulses
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
- G01D5/26—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light
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- Physics & Mathematics (AREA)
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- Measuring Pulse, Heart Rate, Blood Pressure Or Blood Flow (AREA)
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- Measuring Fluid Pressure (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は特許請求の範囲第１項の前提概念による被測定
物の位置偏位の決定のための電気的測定装置に関する。
物の位置偏位の決定のための電気的測定装置に関する。
西独国特許明細書２０２３２６５から被測定物の位置偏
位の決定のための光電的測定装置が公知であシ、その際
被測定物の走査のための振動する光束の発生の念めの周
期的に振動する照明スリットと及び走査単位とに振動す
るスリット上に被測定物で反射された振動光束の結像の
ための光学系とが設けられている。振動スリットはその
振動平面においてスリット像の位置を周期的に走査し、
その位置は測定されるべき被測定物の位置仰位量の大き
さを示す。被測定物の大きい位置偏位量の確定のために
振動系が結像光学の視野に移動可能に配設されておシ、
かつ移動量の検出のために長さ測定系と機械的に連結さ
れている。
位の決定のための光電的測定装置が公知であシ、その際
被測定物の走査のための振動する光束の発生の念めの周
期的に振動する照明スリットと及び走査単位とに振動す
るスリット上に被測定物で反射された振動光束の結像の
ための光学系とが設けられている。振動スリットはその
振動平面においてスリット像の位置を周期的に走査し、
その位置は測定されるべき被測定物の位置仰位量の大き
さを示す。被測定物の大きい位置偏位量の確定のために
振動系が結像光学の視野に移動可能に配設されておシ、
かつ移動量の検出のために長さ測定系と機械的に連結さ
れている。
この測定装置ではスリットは振動する絃に固定されてい
る。結像レンズの中央を通る、被測定物と結合したｌラ
ーの法線に関して速度セン゛す並びに振動スリットの対
称的調整のためのサーボ機構による電機的オシレータ及
び振巾調整装置の励起のために必要とされる。更に振動
スリットの移動の検出のために別の長さ測定系が必要で
ある。
る。結像レンズの中央を通る、被測定物と結合したｌラ
ーの法線に関して速度セン゛す並びに振動スリットの対
称的調整のためのサーボ機構による電機的オシレータ及
び振巾調整装置の励起のために必要とされる。更に振動
スリットの移動の検出のために別の長さ測定系が必要で
ある。
本発明は測定精度を損うことなしに本質的に簡単な構造
を有する上記の種類の光電的測定装置を提供する−こと
を課題の基礎とする。
を有する上記の種類の光電的測定装置を提供する−こと
を課題の基礎とする。
本発明によればこの課題は特許請求の範囲第１項又は第
２項に記載された特徴部によって解決される。
２項に記載された特徴部によって解決される。
本発明によって得ら゛れる利点は特に提案された措置に
よって大きな測定範囲と高い精度を有するコストの安い
測定装置が可能にされることにある。
よって大きな測定範囲と高い精度を有するコストの安い
測定装置が可能にされることにある。
本発明の有利な他の構成は実施態様項から把握きれる。
本発明の実施例を図面に基いて詳して説明する。
第１図には本発明による測定装置が図式的に表わされて
いる。透明プレート１上に絞シ５の光を透過する一つの
スリット２と目盛４とが設けられている。スリット２は
ランプ５によってレンズ６ａ、６ｂ及びビームスプリッ
タ７によって照射される。スリット２に達した光束は対
物レンズ８を通シかつ図示しない被測定物に固定されて
いる平面鏡９に送られる。平面鏡９で反射された光束は
再び対物レンズ８を通りかつ同時に走査要素として役立
つスリット２のある焦点平面に結像される。スリット２
を透過する光束は対物レンズ６ｋＪ、ビームスプリッタ
７及びレンズ１０から走査中に生じた充電流変化の評価
に役立つ光電要素１１上に投じられる。
いる。透明プレート１上に絞シ５の光を透過する一つの
スリット２と目盛４とが設けられている。スリット２は
ランプ５によってレンズ６ａ、６ｂ及びビームスプリッ
タ７によって照射される。スリット２に達した光束は対
物レンズ８を通シかつ図示しない被測定物に固定されて
いる平面鏡９に送られる。平面鏡９で反射された光束は
再び対物レンズ８を通りかつ同時に走査要素として役立
つスリット２のある焦点平面に結像される。スリット２
を透過する光束は対物レンズ６ｋＪ、ビームスプリッタ
７及びレンズ１０から走査中に生じた充電流変化の評価
に役立つ光電要素１１上に投じられる。
目盛４は上に目盛４に相応した少なくとも一つの目盛視
野が存在する走査プレート１２並びに相応した数の光電
要素１３によって走査され、目盛４と走査プレート１２
はランプ５によってミラー１４を介して照らされる。
野が存在する走査プレート１２並びに相応した数の光電
要素１３によって走査され、目盛４と走査プレート１２
はランプ５によってミラー１４を介して照らされる。
平面鏡９の法線はオートコリメータの光軸１５と角ψを
なす。この角ψの決定のためにスリット２と目盛４とを
備えた透明プレート１けスリット２の方向に対して垂直
又は斜めに移動可能に配設されている。Ｘ方向へのプレ
ート１の移動の際に特定の位置Ｘ！ が存在し、この特
定位置においてはスリット２の位置は対物レンズ８の焦
点平面に結像されるスリット像の位置と合致し、そして
反射光束はビームスプリッタ７を介して光電要素１１上
に入射することができる。同時にこの移動は光電要素１
３に入射する光電流の変調を作用する。光電要素１３の
周期的出力信号日！ は公知の方法で評価されかつ図示
しない計数装置に入力される。
なす。この角ψの決定のためにスリット２と目盛４とを
備えた透明プレート１けスリット２の方向に対して垂直
又は斜めに移動可能に配設されている。Ｘ方向へのプレ
ート１の移動の際に特定の位置Ｘ！ が存在し、この特
定位置においてはスリット２の位置は対物レンズ８の焦
点平面に結像されるスリット像の位置と合致し、そして
反射光束はビームスプリッタ７を介して光電要素１１上
に入射することができる。同時にこの移動は光電要素１
３に入射する光電流の変調を作用する。光電要素１３の
周期的出力信号日！ は公知の方法で評価されかつ図示
しない計数装置に入力される。
第２図によればＸ方向へのプレート１の移動の際に光電
要素１１の出力信号ｓｌ と光電要素１３の出力信号
Ｓ！ とから、スリット像の位置ＸＩ が式ｘ１＝ｚ
Ｉ−ｃ から求められる。その際ｚＩ け光電要素１
３の明暗ピッチの数、そしてＣは目盛４の格子定数を示
す。それから求める角度はｐ ＝ ｔａｎ−’ ＸＩ／
ｆ （ｆ ＝対物レンズ８の焦点キヨリ）で与えられ
、小さい角に対してはψ＝ ＸＩ／ ｆ ＝ Ｚ １・
ｏ ／ ｆ という近似式で表わされることができる。
要素１１の出力信号ｓｌ と光電要素１３の出力信号
Ｓ！ とから、スリット像の位置ＸＩ が式ｘ１＝ｚ
Ｉ−ｃ から求められる。その際ｚＩ け光電要素１
３の明暗ピッチの数、そしてＣは目盛４の格子定数を示
す。それから求める角度はｐ ＝ ｔａｎ−’ ＸＩ／
ｆ （ｆ ＝対物レンズ８の焦点キヨリ）で与えられ
、小さい角に対してはψ＝ ＸＩ／ ｆ ＝ Ｚ １・
ｏ ／ ｆ という近似式で表わされることができる。
焦点キョリｆ及び格子定数Ｃは合目的的に計数装置の計
数単位ｉ角Δψの所望の測定単位と一致するように選ば
れる。Δψ＝ ｃ ／ ｆである。場合によっては公知
方法によってファクタｎだけ目盛４のピッチを細分化す
ることによって、例えば走査プレート１２及びこれに付
設された光電要素上への相互に位相のずらされた複数の
走査視野の配設によって小さい測定単位が得られること
ができる。Δψ；ｃ／ｎ−ｆである。測定値Ｘのゼロ位
置ｘ０ は目盛４に付設されたプレート１上の基準マ
ーク１６によって図示しない光電要素及びこの光電要素
出力信号Ｓ３ の評価によって取得され又は再生され
ることができる。
数単位ｉ角Δψの所望の測定単位と一致するように選ば
れる。Δψ＝ ｃ ／ ｆである。場合によっては公知
方法によってファクタｎだけ目盛４のピッチを細分化す
ることによって、例えば走査プレート１２及びこれに付
設された光電要素上への相互に位相のずらされた複数の
走査視野の配設によって小さい測定単位が得られること
ができる。Δψ；ｃ／ｎ−ｆである。測定値Ｘのゼロ位
置ｘ０ は目盛４に付設されたプレート１上の基準マ
ーク１６によって図示しない光電要素及びこの光電要素
出力信号Ｓ３ の評価によって取得され又は再生され
ることができる。
第３図によれば透明プレート１はスリット２、目盛４及
び基準マーク１６を備え、かつフレーム１８にボール１
９によって直線状に案内されている支持体１７上に固定
されている。スリット２の縦方向に対して垂直方向Ｘへ
のプレート１の運動は支持体１７を付勢する偏心板２１
によってモータ２０によって振動的に行われる。
び基準マーク１６を備え、かつフレーム１８にボール１
９によって直線状に案内されている支持体１７上に固定
されている。スリット２の縦方向に対して垂直方向Ｘへ
のプレート１の運動は支持体１７を付勢する偏心板２１
によってモータ２０によって振動的に行われる。
第４図によればスリット２１、目盛４１１ 及び基準マ
ーク１６１ を備えたプレート１１ は支持体１７１
上に固定されておシ、プレート−１１はモータ２０
Ｉ５ モータ２０． によって駆動されるクランク２
２１、及び二つの回転レバ２３！によって与えられた座
標のＸ方向及びｙ方向への二次元の周期的振動運動を行
う。レバ２３１はクランク２２Ｋ と同一長さを有しか
つクランクと平行に配設されており（平行うランク機構
）、レバ２３１ 及びクランク２２！ は支持体１
７Ｉに枢支されている。
ーク１６１ を備えたプレート１１ は支持体１７１
上に固定されておシ、プレート−１１はモータ２０
Ｉ５ モータ２０． によって駆動されるクランク２
２１、及び二つの回転レバ２３！によって与えられた座
標のＸ方向及びｙ方向への二次元の周期的振動運動を行
う。レバ２３１はクランク２２Ｋ と同一長さを有しか
つクランクと平行に配設されており（平行うランク機構
）、レバ２３１ 及びクランク２２！ は支持体１
７Ｉに枢支されている。
第５図によれば目盛４２ の相互に垂直に向いている
二つのスリット２．ｆ 、 ２２＃と基準マーク１６
２ とを備えたプレート１２ はフレーム１８２にボ
ール１９． によって直線状に案内されている支持体
１７２ 上に固定されている。プｖ−）１□ の直線案
内はモータ２０！、クランク２２２及び支持体１７雪
に枢支されている連接桿２４鵞によってｘ、ｙ座標系
に対して角π／４の方向に行われる。スリット２！′は
Ｘ方向に向いておシ、スリット２１′は座標系のＹ方向
に向いておシ、その結果スリット２，１ 、 ２．＃け
プレート１２の移動の際に測定装置の光軸を通ってプｖ
−）に対して斜めの方向に移動する。目盛４鵞 及び基
準マーク１６雪 によって両スリット２３′。
二つのスリット２．ｆ 、 ２２＃と基準マーク１６
２ とを備えたプレート１２ はフレーム１８２にボ
ール１９． によって直線状に案内されている支持体
１７２ 上に固定されている。プｖ−）１□ の直線案
内はモータ２０！、クランク２２２及び支持体１７雪
に枢支されている連接桿２４鵞によってｘ、ｙ座標系
に対して角π／４の方向に行われる。スリット２！′は
Ｘ方向に向いておシ、スリット２１′は座標系のＹ方向
に向いておシ、その結果スリット２，１ 、 ２．＃け
プレート１２の移動の際に測定装置の光軸を通ってプｖ
−）に対して斜めの方向に移動する。目盛４鵞 及び基
準マーク１６雪 によって両スリット２３′。
２！′が測定され、その結果測定対象と結合された平面
鏡の角度位置が両座標方向において求められることがで
きる。
鏡の角度位置が両座標方向において求められることがで
きる。
第６図によれば二つの相互に垂直なスリット２３１ 、
２．ｔを備えたプレート１３ は支持体１７３上に
固定嘔れておシ、かつモータ２０３、モータ２０３ に
よって駆動されるクランク２２Ｑ 及び二つの回転レ
バ２３３ によって座標系のＸ、 Ｙ方向の二次元的
周期的変換運動を行う。Ｖバク３３ はクランク２２３
と同一長さを有しかつこれと平行に配設されており、
レバ２５８、及びクランク２２３ は支持体１７３ に
枢支されている。プレート１３ 上のスリット２．１
には基準マーク１６１′とスリット２ｓ′とを備えた目
盛４３′が、そして基準マーク１６３′を備えた目盛４
３′が付設されている。スリット２３′はＸ方向に向い
ておシ、スリン）２ｓ＃は座標系のＹ方向に向いておシ
、その結果スリンｌ−２３’ 、 ２．＃はプレート
１３ のＸ方向及びＹ方向への変位運動の際に測定装
置の光軸を通ってプレートに対して横方向に移動される
。目盛４，１ 、 ４３ｆ及び所属の基準マーク１６ｓ
’ 、 １６３’によって両スリット２３１ 、 ２
３＃の運動が測定され、その結果測定対象と結合された
平面鏡の角度位置が両座標方向において求められること
ができる。
２．ｔを備えたプレート１３ は支持体１７３上に
固定嘔れておシ、かつモータ２０３、モータ２０３ に
よって駆動されるクランク２２Ｑ 及び二つの回転レ
バ２３３ によって座標系のＸ、 Ｙ方向の二次元的
周期的変換運動を行う。Ｖバク３３ はクランク２２３
と同一長さを有しかつこれと平行に配設されており、
レバ２５８、及びクランク２２３ は支持体１７３ に
枢支されている。プレート１３ 上のスリット２．１
には基準マーク１６１′とスリット２ｓ′とを備えた目
盛４３′が、そして基準マーク１６３′を備えた目盛４
３′が付設されている。スリット２３′はＸ方向に向い
ておシ、スリン）２ｓ＃は座標系のＹ方向に向いておシ
、その結果スリンｌ−２３’ 、 ２．＃はプレート
１３ のＸ方向及びＹ方向への変位運動の際に測定装
置の光軸を通ってプレートに対して横方向に移動される
。目盛４，１ 、 ４３ｆ及び所属の基準マーク１６ｓ
’ 、 １６３’によって両スリット２３１ 、 ２
３＃の運動が測定され、その結果測定対象と結合された
平面鏡の角度位置が両座標方向において求められること
ができる。
第７図には測定装置が示されておシ、その際ハウジング
２５中に、投光器としてのコリメータ２６と受光器二つ
のコリメータ望遠鏡２７゜２８が設けられている。投光
２６及び両受光器２７．２８に対して垂直にノ・ウジフ
グ２５中の透明プレート１４ が支持体１７４ 上に
配設されておシ、支持体はハウジング２５に設けられた
モータ２０４、モータ２０４ によって駆動されるクラ
ンク２２４ 及び二つの回転レバ２３４ によって座標
系のＸ方向及びＹ方向への二次元的周期的変換運動をう
ける。レバ２３４ はクランク２２と同一長さを有し、
かつクランクに平行に配設されている。レバ２３４ 及
びクランク２２４ は支持体１７４ に枢支されている
。プレート１４ 上には第一対の投光スリット２９′
及び受光スリン） ２９’、及び第二対の投光スリット
３０′及び受光スリット３０′が配設されている。
２５中に、投光器としてのコリメータ２６と受光器二つ
のコリメータ望遠鏡２７゜２８が設けられている。投光
２６及び両受光器２７．２８に対して垂直にノ・ウジフ
グ２５中の透明プレート１４ が支持体１７４ 上に
配設されておシ、支持体はハウジング２５に設けられた
モータ２０４、モータ２０４ によって駆動されるクラ
ンク２２４ 及び二つの回転レバ２３４ によって座標
系のＸ方向及びＹ方向への二次元的周期的変換運動をう
ける。レバ２３４ はクランク２２と同一長さを有し、
かつクランクに平行に配設されている。レバ２３４ 及
びクランク２２４ は支持体１７４ に枢支されている
。プレート１４ 上には第一対の投光スリット２９′
及び受光スリン） ２９’、及び第二対の投光スリット
３０′及び受光スリット３０′が配設されている。
スリン）２９’、２９’はＸ方向に向いておシ、そして
スリン）３０’、５０’は座標系のＹ方向に向いている
。プレート１４ 上のスリン） ２９’。
スリン）３０’、５０’は座標系のＹ方向に向いている
。プレート１４ 上のスリン） ２９’。
２９′には基準マーク１６４′及びスリット３０′を備
えた目盛４４′、及び基準マーク１６４′を備えた目盛
４４′が付設されている。
えた目盛４４′、及び基準マーク１６４′を備えた目盛
４４′が付設されている。
投光スリット２９’、３０’はコリメータ２６において
ランプ５４ からレンズ３１を介して照射され、投光
スリット２９’、３０’に来た光束は対物レンズ３２を
経て測定対象に固定された平面鏡（図示せず）上に来る
。平面鏡から反射された投光スリット２９′の光束はコ
リメータ望遠鏡２７中のレンズ３３を介して受光スリッ
ト２９′上にそして平面鏡かつ反射された投光スリット
３０′の光束はコリメータ望遠鏡２８のレンズ３４を介
して受光スリット３０′上に結像される。
ランプ５４ からレンズ３１を介して照射され、投光
スリット２９’、３０’に来た光束は対物レンズ３２を
経て測定対象に固定された平面鏡（図示せず）上に来る
。平面鏡から反射された投光スリット２９′の光束はコ
リメータ望遠鏡２７中のレンズ３３を介して受光スリッ
ト２９′上にそして平面鏡かつ反射された投光スリット
３０′の光束はコリメータ望遠鏡２８のレンズ３４を介
して受光スリット３０′上に結像される。
受光スリット２９′を透過する光束は図示しない方法で
レンズから光電要素に集められ、そして受光スリット３
０′を透過する光束はレンズ３５から光電要素３６上に
集められる。目盛４４′は走査プレート１２４ 及び光
電要素１３４ によって走査され、目盛４４′及び走査
プレート１２４は光エミッションダイオード３７によっ
て照らされる。目盛４４′の走査は図示しない類似の手
段によって行われる。目盛’４’ ＋ ’４’及び所
属の基準マーク１６４’ 、 １６４’によってスリ
ット対２９’、 ２９’： ３０’、 ３０’の運
動が測定され、その結果スリット対２９’、 ２９’
： ５０’、 ３０’に対して平行な軸線のまわりの
平面鏡の角度位置が両座棟方向において求められること
ができる。
レンズから光電要素に集められ、そして受光スリット３
０′を透過する光束はレンズ３５から光電要素３６上に
集められる。目盛４４′は走査プレート１２４ 及び光
電要素１３４ によって走査され、目盛４４′及び走査
プレート１２４は光エミッションダイオード３７によっ
て照らされる。目盛４４′の走査は図示しない類似の手
段によって行われる。目盛’４’ ＋ ’４’及び所
属の基準マーク１６４’ 、 １６４’によってスリ
ット対２９’、 ２９’： ３０’、 ３０’の運
動が測定され、その結果スリット対２９’、 ２９’
： ５０’、 ３０’に対して平行な軸線のまわりの
平面鏡の角度位置が両座棟方向において求められること
ができる。
スリット２９’、２９’又はスリット３０’、３０’は
各々単一のスリットから成ることができる。
各々単一のスリットから成ることができる。
スリット２，２９．５０並びに所属の目盛４及び透明プ
レート１上の基準マーク１６は光透過層の蒸着によって
プレート１上に、そしてこの層の後続する組織によって
写真製版方法で生ずる。
レート１上の基準マーク１６は光透過層の蒸着によって
プレート１上に、そしてこの層の後続する組織によって
写真製版方法で生ずる。
第７図による測定装置は大きな測定範囲を有する実施例
では特別に有利である、何故ならばプレートの裏面及び
スリット形成層での反射によって生ずる信号Ｓ１ の
直流部分はカットされるからである。
では特別に有利である、何故ならばプレートの裏面及び
スリット形成層での反射によって生ずる信号Ｓ１ の
直流部分はカットされるからである。
第１図は本発明による測定装置の図式的正面図、
第２図は信号のダイヤグラム、
図中符号
２ スリット
４ 測定目盛
５．１２．１３ 走査ユニット
第４図
第５図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 （１） 少なくとも一つの照明されたスリットと、被
測定物の走査のための光束の発生のための対物レンズと
、走査要素としての照明スリット上へ被測定物で反射さ
れた光束の結像のためのレンズとを備え、その際スリッ
ト像がスリットと合致するスリットの位置が被測定物の
位置偏位量を示し、スリットは移動可能に配設されてい
るものにおいて、 少なくとも一つのスリット（２）は測定目盛（４）と固
着されておシ、測定目盛はスリット（２）の移動量の測
定のための走査ユニツ） （５，１２，１５）によって
走査されることを特徴とする光電的測定装置。 （２） 被測定物の位置偏位量の決定のための光電測
定装置において、少なくとも一つの照明された投光スリ
ン）（２９’、３０’） と被測定物の走査のための
光束の発生のための対物レンズ（３２）及び走査要素と
して少なくとも一つの受光スリン） （２９’、 ３０
’）上への被測定物で反射された光束の結像のための少
なくとも一つのレンズ（３３，５４）とが設けられてお
り、そして投光スリン） （２９’、 ５ＱＩ）と受光
スリン） （２９’、 ５０’）とは相互に同列にかつ
移動可能に配設されておシ、その際投光スリットが受光
スリット（２９’、 ５０’）と合致する受光スリン）
（２９’ 、 ５０ｔ ）の位置は被測定物の位置偏
位の大きさを示し、そしてスリット（２９’、 ２９’
、 ３０’、 、！ｉｎ’）は測定目盛（’４’１４４
′）と固着されておシ、測定目盛はスリン） （２９’
、 ２９’、 ３０’、 ３Ｇ’） の移動量の測定
のための走査ユニット（１２４，１３４，５１）によっ
て走査されることを特徴とする光電測定装置。 （３） スリット（２，２９，３０） と測定目盛
（４）は共に透明プレート（１）上に取付けられている
、特許請求の範囲第１項又は第２項記載の光電測定装置
。 （４） プｖ−）（１）がスリット（２，２９，５０）
の縦延在部に対して横に又は斜めに移動可能である、特
許請求の範囲第３項、記載の光電測定装置。 （５）スリット（２）と目盛（４）とを備えたプレート
（１）がスリット（２）の縦方向に対して垂直の一次元
的周期的変換運動を受ける特許請求の範囲第４項記載の
光電測定装置。 （５）スリット（２１）と目盛（４Ｋ）とを備えたプレ
ー） （１ｓ ）が円運動を行う、特許請求の範囲第４
項記載の光電測定装置。 （７）二つの相互に垂直なスリン） （２ｚ’ ＃ ２
ｚ’ ）とスリット（２ｚ′、２＊つに対して斜めに向
いている目盛（４意）とを備えたプレート（ｈ ）がス
リット（２鵞１．２．＃）に対して斜めの、−次元の周
期的変換運動を行う、特許請求の範囲第４項記載の光電
測定装置。 （８）二つの相互に垂直のスリット（２３′、２３′）
と所属の二つの目盛（’３’ ｐ ’３つとを備えたプ
レー ） （１３）が円運動を行う、特許請求の範囲第
４項記載の光電測定装置。 （９）投光スリット（２９’）と受光スリット（２９’
）の第一対と、投光スリット（３ｏ’）と受光スリット
（５０つの第二対を備え、両肘は相互にクロスしており
、更に所属の二つの目盛（’ａ’ ＋４４′）とを備え
たプｖ−）（１４）が円運動を行う特許請求の範囲第４
項記載の光電測定装置。 ＜１０ 投光スリットと受光スリットの第一対と、投
光スリットと受光スリットの第二対とを備え、両肘は相
互にクロスしておシ、更にスリットに対して斜めに経過
する目盛とを備えたプレートがスリットに対して斜めの
一次元的周期的変換運動を行う、特許請求の範囲第４項
記載の測定装置。 ａυ 測定目盛（４）にプｖ−ｔ−（１）上の基準マー
ク（１６）が付設されている、特許請求の範囲第１項か
ら第３項までのうちのいずれか一つに記載の光電的測定
装置。 （６）スリット（２，２９，３０）並びに目盛（４）及
び基準マーク（１６）がプレート（１）上の層の組織に
よって写真製版によってつくられる、特許請求の範囲第
１項から第３項までのうちのいずれか一つに記載の光電
的測定装置。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE32189036 | 1982-05-19 | ||
| DE3218903A DE3218903C2 (de) | 1982-05-19 | 1982-05-19 | Lichtelektrische Meßeinrichtung |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58210506A true JPS58210506A (ja) | 1983-12-07 |
Family
ID=6164044
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58086737A Pending JPS58210506A (ja) | 1982-05-19 | 1983-05-19 | 光電的測定装置 |
Country Status (5)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4549808A (ja) |
| EP (1) | EP0094481B1 (ja) |
| JP (1) | JPS58210506A (ja) |
| AT (1) | ATE38286T1 (ja) |
| DE (1) | DE3218903C2 (ja) |
Families Citing this family (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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| DE3619931C1 (en) * | 1986-06-13 | 1987-10-29 | Daimler Benz Ag | Device for optical alignment measurement between two variously rotatable shafts |
| DE3709408A1 (de) * | 1987-03-21 | 1988-10-06 | Dom Sicherheitstechnik | Schloss, insbesondere fuer schiebetueren |
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Family Cites Families (8)
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| DE2952106C2 (de) * | 1979-12-22 | 1982-11-04 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut | Lichtelektrische inkrementale Längen- oder Winkelmeßeinrichtung |
-
1982
- 1982-05-19 DE DE3218903A patent/DE3218903C2/de not_active Expired
-
1983
- 1983-03-08 EP EP83102249A patent/EP0094481B1/de not_active Expired
- 1983-03-08 AT AT83102249T patent/ATE38286T1/de active
- 1983-05-02 US US06/490,584 patent/US4549808A/en not_active Expired - Fee Related
- 1983-05-19 JP JP58086737A patent/JPS58210506A/ja active Pending
Also Published As
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| DE3218903C2 (de) | 1986-05-15 |
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| DE3218903A1 (de) | 1983-11-24 |
| EP0094481B1 (de) | 1988-10-26 |
| EP0094481A3 (en) | 1986-02-05 |
| ATE38286T1 (de) | 1988-11-15 |
| EP0094481A2 (de) | 1983-11-23 |
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