JPH07119854B2 - 集積光学素子を備えた光ビームの入出射装置 - Google Patents
集積光学素子を備えた光ビームの入出射装置Info
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- JPH07119854B2 JPH07119854B2 JP2131461A JP13146190A JPH07119854B2 JP H07119854 B2 JPH07119854 B2 JP H07119854B2 JP 2131461 A JP2131461 A JP 2131461A JP 13146190 A JP13146190 A JP 13146190A JP H07119854 B2 JPH07119854 B2 JP H07119854B2
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- 230000003287 optical effect Effects 0.000 title claims abstract description 45
- 239000000470 constituent Substances 0.000 claims description 4
- 238000005286 illumination Methods 0.000 claims description 3
- 230000008878 coupling Effects 0.000 abstract 1
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 abstract 1
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 abstract 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 abstract 1
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 3
- 230000001419 dependent effect Effects 0.000 description 3
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 3
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 2
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 2
- 238000002347 injection Methods 0.000 description 2
- 239000007924 injection Substances 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000001747 exhibiting effect Effects 0.000 description 1
- 230000002452 interceptive effect Effects 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
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- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
- G02B6/10—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings of the optical waveguide type
- G02B6/12—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings of the optical waveguide type of the integrated circuit kind
- G02B6/122—Basic optical elements, e.g. light-guiding paths
- G02B6/124—Geodesic lenses or integrated gratings
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
- G01D5/26—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light
- G01D5/32—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light
- G01D5/34—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells
- G01D5/36—Forming the light into pulses
- G01D5/38—Forming the light into pulses by diffraction gratings
-
- G—PHYSICS
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- G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
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- G02B6/26—Optical coupling means
- G02B6/34—Optical coupling means utilising prism or grating
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Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は、一個の集積光学素子と、少なくとも一つの
回折ビーム束を発生させる少なくとも一個の第一回折部
材をビーム通路中に配設した一個の光源と、回折ビーム
束を一個の光導波路の中にあるいは中から入出射させる
少なくとも一個の入出射部材とを備え、入出射部材を円
形格子で形成し、少なくとも一個の他の回折部材も設け
てある、光ビームを入出射させる光学装置に関する。
回折ビーム束を発生させる少なくとも一個の第一回折部
材をビーム通路中に配設した一個の光源と、回折ビーム
束を一個の光導波路の中にあるいは中から入出射させる
少なくとも一個の入出射部材とを備え、入出射部材を円
形格子で形成し、少なくとも一個の他の回折部材も設け
てある、光ビームを入出射させる光学装置に関する。
この種の装置は、外乱に強く、できる限り小型に構成さ
れた位置測定装置を作製するために、測長および測角装
置の技術で益々使用されて来ている。
れた位置測定装置を作製するために、測長および測角装
置の技術で益々使用されて来ている。
小型化した位置測定装置は、例えば西独特許第3625327
号明細書に開示されている。この文献およびそこに開示
されている従来の技術から、入射格子で光を集積光学回
路の光導波路に供給することが原理的に知られている。
号明細書に開示されている。この文献およびそこに開示
されている従来の技術から、入射格子で光を集積光学回
路の光導波路に供給することが原理的に知られている。
更に、この従来の技術から、入射格子および出射格子も
複雑な数学的関係に支配され、少なくとも楕円または放
物線形を呈するか、あるいはもっと複雑な形状に形成さ
れることが理解される。
複雑な数学的関係に支配され、少なくとも楕円または放
物線形を呈するか、あるいはもっと複雑な形状に形成さ
れることが理解される。
その結果、この種の小型化した位置測定装置への要求が
あるにもかかわらず、実際に作製した入射格子または出
射格子を用いた装置が実際には今まで実現されていな
い。
あるにもかかわらず、実際に作製した入射格子または出
射格子を用いた装置が実際には今まで実現されていな
い。
それ故、この発明の課題は、供給すべき光ビームと、入
射格子あるいは出射格子と、出射させるべき光ビームと
の調節が、簡単な格子構造となるように行われる、冒頭
に述べた様式の装置を提供することにある。
射格子あるいは出射格子と、出射させるべき光ビームと
の調節が、簡単な格子構造となるように行われる、冒頭
に述べた様式の装置を提供することにある。
上記の課題は、この発明により、一個の集積光学素子
と、少なくとも一つの回折ビーム束を発生させる少なく
とも一個の第一回折部材をビーム通路中に配設した一個
の光源と、回折ビーム束を一個の光導波路の中にあるい
は中から入出射させる少なくとも一個の入出射部材とを
備え、この入出射部材を円形格子で形成し、少なくとも
一個の他の回折部材も設けてある、光ビームを入出射さ
せる光学装置の場合、回折ビーム束21′,21″;51′,5
1″;61′,61″;81′,81″が円形格子23,24;33,34;43,4
4;53,54;63,64;83,84に垂直に入射するように、回折部
材22,26;32,36;42,46;52,56;62,66a,66b;82,86a,86bの
回折部材の格子定数を同じにして、これ等の回折部材を
互いに調節していることによって解決されている。
と、少なくとも一つの回折ビーム束を発生させる少なく
とも一個の第一回折部材をビーム通路中に配設した一個
の光源と、回折ビーム束を一個の光導波路の中にあるい
は中から入出射させる少なくとも一個の入出射部材とを
備え、この入出射部材を円形格子で形成し、少なくとも
一個の他の回折部材も設けてある、光ビームを入出射さ
せる光学装置の場合、回折ビーム束21′,21″;51′,5
1″;61′,61″;81′,81″が円形格子23,24;33,34;43,4
4;53,54;63,64;83,84に垂直に入射するように、回折部
材22,26;32,36;42,46;52,56;62,66a,66b;82,86a,86bの
回折部材の格子定数を同じにして、これ等の回折部材を
互いに調節していることによって解決されている。
この発明による他の有利な構成は従属請求項に記載され
ている。
ている。
この発明の著しい利点は、円形格子をかなり簡単に作製
でき、この発明による集積光学素子を位置測定装置に非
常に有利に使用できる点にある。
でき、この発明による集積光学素子を位置測定装置に非
常に有利に使用できる点にある。
実施例の助けを借り、この発明を図面に基づきより詳し
く説明する。
く説明する。
第1図に示す従来の技術では、光ビーム1が回折格子と
して形成されている位置測定装置の目盛板2に垂直に入
射する。目盛板2では、光ビーム1が屈折し、対称な二
つの光束1′と1″が集積光学素子5の構成部材である
二つの入射格子3と4の方に偏向する。
して形成されている位置測定装置の目盛板2に垂直に入
射する。目盛板2では、光ビーム1が屈折し、対称な二
つの光束1′と1″が集積光学素子5の構成部材である
二つの入射格子3と4の方に偏向する。
入射格子3と4は、別な方式の場合、冒頭に引用した西
独特許第3625327号明細書で詳しく開示されているよう
に、放物線状である。回折格子を1.5〜20μmの間の格
子定数で仕上げることができても、入射格子3と4の格
子定数は0.5μm程度の大きさになる。それ故、これ等
の格子は、形状が必ず複雑になる場合、非常に大きな経
費をかけなくては作製できない。
独特許第3625327号明細書で詳しく開示されているよう
に、放物線状である。回折格子を1.5〜20μmの間の格
子定数で仕上げることができても、入射格子3と4の格
子定数は0.5μm程度の大きさになる。それ故、これ等
の格子は、形状が必ず複雑になる場合、非常に大きな経
費をかけなくては作製できない。
第2図によれば、光ビーム21は裏側から、集積光学素子
25の構成部材である回折格子26に入射する。この回折格
子26では、光ビーム21が回折して、対称な二つの分割ビ
ーム束21′と21″がこの発明による位置測定装置の格子
目盛板22の方に偏向する。回折格子26と格子目盛板22は
同じ格子定数を保有する。格子目盛板22から、分割ビー
ム束21′と21″が反射し、もう一つ回折する。従って、
これ等のビーム束は集積光学素子25に垂直に入射する。
分割ビーム束21′と21″が当たる領域では、集積光学素
子25に二つの入射格子23と24がある。これ等の格子は所
謂円形格子として形成されている。円形格子は、約0.5
μmの短い必要な格子定数で比較的簡単に作製できる。
25の構成部材である回折格子26に入射する。この回折格
子26では、光ビーム21が回折して、対称な二つの分割ビ
ーム束21′と21″がこの発明による位置測定装置の格子
目盛板22の方に偏向する。回折格子26と格子目盛板22は
同じ格子定数を保有する。格子目盛板22から、分割ビー
ム束21′と21″が反射し、もう一つ回折する。従って、
これ等のビーム束は集積光学素子25に垂直に入射する。
分割ビーム束21′と21″が当たる領域では、集積光学素
子25に二つの入射格子23と24がある。これ等の格子は所
謂円形格子として形成されている。円形格子は、約0.5
μmの短い必要な格子定数で比較的簡単に作製できる。
円形格子23,24による入射機能にとって大切なことは、
分割ビーム束21′と21″を垂直に入射させることであ
る。これには、回折格子26と格子目盛板22の格子定数が
同じであると可能である。
分割ビーム束21′と21″を垂直に入射させることであ
る。これには、回折格子26と格子目盛板22の格子定数が
同じであると可能である。
入射する分割ビーム束21′と21″は、平坦な光導波路2
7,28によってそれ自体公知の結合器29に導入される。こ
の結合器によって両ビーム束は互いに干渉する。検出器
210,211および(図示していないが、検出器212は図面の
検出器211の右側にある)によって、干渉した分割ビー
ム束は互いに位相のずれた電気信号に変換される。その
場合、検出器210,211,212は集積光学素子25の構成部材
である。
7,28によってそれ自体公知の結合器29に導入される。こ
の結合器によって両ビーム束は互いに干渉する。検出器
210,211および(図示していないが、検出器212は図面の
検出器211の右側にある)によって、干渉した分割ビー
ム束は互いに位相のずれた電気信号に変換される。その
場合、検出器210,211,212は集積光学素子25の構成部材
である。
第3図および第4図では、第2図の測定装置の原理側面
図が示してある。これ等の図面から判ることは、ビーム
の進行を適切にする(入射格子33,34または43,44に垂直
に当てる)には、回折格子36または46と格子目盛板32ま
たは42の格子定数が決定的ではなく、両者がそれぞれ等
しいことにある。それぞれの格子定数を選ぶと、回折角
α1またはα2、従って格子の間隔が互いに定まる。
図が示してある。これ等の図面から判ることは、ビーム
の進行を適切にする(入射格子33,34または43,44に垂直
に当てる)には、回折格子36または46と格子目盛板32ま
たは42の格子定数が決定的ではなく、両者がそれぞれ等
しいことにある。それぞれの格子定数を選ぶと、回折角
α1またはα2、従って格子の間隔が互いに定まる。
第5図には、回折格子46が光学集積素子55の集積構成部
材でない変形種が示してある。ここでは、回折格子56と
格子目盛板52も透過形格子として、同じ格子定数で構成
されている。
材でない変形種が示してある。ここでは、回折格子56と
格子目盛板52も透過形格子として、同じ格子定数で構成
されている。
垂直入射する分割ビーム束51′と51″は、この例でも図
示した光導波路57と58中で結合器59に導入する円形格子
53と54に入射する。
示した光導波路57と58中で結合器59に導入する円形格子
53と54に入射する。
他の実施例は、第6図に示してある。この図面では、入
射した光ビーム61が格子目盛板62で回折して、対称な二
つの分割ビーム束61′と61″が、格子目盛板62と同じ格
子定数を有する二つの回折格子66aと66bに入射する。両
方の回折格子66aと66bは、光学集積素子65の集積された
構成部材であり、格子目盛板62に対向する側に配設して
ある。これ等の回折格子66aと66bでは、分割ビーム束6
1′と62″が回折するので、集積光学素子65の下側にあ
る二つの円形入射格子63,64に垂直入射する。そこに
は、図示した光導波路67と68および結合器69と三個の検
出器610,611と6112も配置されている。
射した光ビーム61が格子目盛板62で回折して、対称な二
つの分割ビーム束61′と61″が、格子目盛板62と同じ格
子定数を有する二つの回折格子66aと66bに入射する。両
方の回折格子66aと66bは、光学集積素子65の集積された
構成部材であり、格子目盛板62に対向する側に配設して
ある。これ等の回折格子66aと66bでは、分割ビーム束6
1′と62″が回折するので、集積光学素子65の下側にあ
る二つの円形入射格子63,64に垂直入射する。そこに
は、図示した光導波路67と68および結合器69と三個の検
出器610,611と6112も配置されている。
第7図には、第6図の装置の側面が示してある。従っ
て、同じ部材には同じ引用符号を使用する。この第7図
では、回折格子66a,66bおよび入射格子63,64が集積光学
素子65の基板の両表面上に対向設置してあることのみ示
す。もちろん、第7図の装置は、入射光ビーム61が集積
光学素子65の基板を通過して、格子目盛板62で回折し、
反射することで第6図の装置とは異なっている。
て、同じ部材には同じ引用符号を使用する。この第7図
では、回折格子66a,66bおよび入射格子63,64が集積光学
素子65の基板の両表面上に対向設置してあることのみ示
す。もちろん、第7図の装置は、入射光ビーム61が集積
光学素子65の基板を通過して、格子目盛板62で回折し、
反射することで第6図の装置とは異なっている。
第8図には、最後に位置測定装置の斜視図が示してあ
る。この装置では、図示していない光源も集積光学素子
85に集積された構成部材である。照明ビーム81は光導波
路81aによって出射格子81bに供給される。既に他の実施
例で説明した円形入射格子(ここでも、引用記号83と84
を使用する)と同じように、出射格子81bは円形格子で
形成されている。従って、光ビーム81は格子目盛板82に
垂直に入射し、そこで回折して反射される。回折した分
割ビーム束81′と81″は回折格子86aと86bに入射し、こ
れ等の格子で再び回折する。回折格子86aと86bは、集積
光学素子85に集積された構成部材である。既に述べた入
射格子83と84が基板の下側でこれ等の部材に対向してい
る。前記入射格子には、分割ビーム束が垂直に入射す
る。
る。この装置では、図示していない光源も集積光学素子
85に集積された構成部材である。照明ビーム81は光導波
路81aによって出射格子81bに供給される。既に他の実施
例で説明した円形入射格子(ここでも、引用記号83と84
を使用する)と同じように、出射格子81bは円形格子で
形成されている。従って、光ビーム81は格子目盛板82に
垂直に入射し、そこで回折して反射される。回折した分
割ビーム束81′と81″は回折格子86aと86bに入射し、こ
れ等の格子で再び回折する。回折格子86aと86bは、集積
光学素子85に集積された構成部材である。既に述べた入
射格子83と84が基板の下側でこれ等の部材に対向してい
る。前記入射格子には、分割ビーム束が垂直に入射す
る。
第6図で既に述べた方法で、分割ビーム束から再び互い
に位相のずれた電気信号を得ることができる。
に位相のずれた電気信号を得ることができる。
最後の例では、個々の従属請求項に記載されていない場
合でも、入射格子と出射格子が基本的に同じタイプであ
ると見做せることを意味する。従属請求項の数は、入射
格子の変形種の外に、出射格子の変形種にも表現上請求
を広げれば、単に二倍になる。
合でも、入射格子と出射格子が基本的に同じタイプであ
ると見做せることを意味する。従属請求項の数は、入射
格子の変形種の外に、出射格子の変形種にも表現上請求
を広げれば、単に二倍になる。
第1図、従来の技術による位置測定装置の模式斜視図。 第2図、この発明による反射測定装置の模式斜視図。 第3図、格子定数GK1を有する反射測定装置の模式側面
図。 第4図、格子定数GK2を有する反射測定装置の模式側面
図。 第5図、透過測定装置の模式斜視図。 第6図、集積した直線格子および円形格子を備えた透過
測定装置の模式斜視図。 第7図、反射目盛板を備えた第6図に相当する測定装置
の模式側面図。 第8図、円形出射格子を装備した測定装置の模式斜視
図。 図中引用記号: 1,21……入射光、2……目盛板、3,4……入射格子、5,2
5……光学集積素子、21′,21″……分割ビーム束、22…
…格子目盛板、23,24……円形格子、26……回折格子、2
7,28……光導波路、29……結合器、210,211,212……検
出器。
図。 第4図、格子定数GK2を有する反射測定装置の模式側面
図。 第5図、透過測定装置の模式斜視図。 第6図、集積した直線格子および円形格子を備えた透過
測定装置の模式斜視図。 第7図、反射目盛板を備えた第6図に相当する測定装置
の模式側面図。 第8図、円形出射格子を装備した測定装置の模式斜視
図。 図中引用記号: 1,21……入射光、2……目盛板、3,4……入射格子、5,2
5……光学集積素子、21′,21″……分割ビーム束、22…
…格子目盛板、23,24……円形格子、26……回折格子、2
7,28……光導波路、29……結合器、210,211,212……検
出器。
Claims (10)
- 【請求項1】一個の集積光学素子と、少なくとも一つの
回折ビーム束を発生させる少なくとも一個の第一回折部
材をビーム通路中に配設した一個の光源と、回折ビーム
束を一個の光導波路の中にあるいは中から入出射させる
少なくとも一個の入出射部材とを備え、入出射部材を円
形格子で形成し、少なくとも一個の他の回折部材も設け
てある、光ビームを入出射させる光学装置において、回
折ビーム束21′,21″;51′,51″;61′,61″;81′,81″
が円形格子23,24;33,34;43,44;53,54;63,64;83,84に垂
直に入射するように、回折部材22,26;32,36;42,46;52,5
6;62,66a,66b;82,86a,86bの回折部材の格子定数を同じ
にして、これ等の回折部材を互いに調節してあることを
特徴とする光学装置。 - 【請求項2】対称な二つの分割ビーム束21′,21″;5
1′,51″;61′,61″;81′,81″が発生する第一回折部材
を回折格子26;36;46;56;62;82として形成し、他の回折
部材も回折格子22;32;42;52;66a,66b;86a,86bとして形
成されていることを特徴とする請求項1記載の光学装
置。 - 【請求項3】回折格子の一方22;32;42;52;62;82は光電
位置測定装置の目盛板であることを特徴とする請求項2
記載の光学装置。 - 【請求項4】目盛板22;32;42;52;62;82と他の回折格子2
6;36;46;56;66a,66b;86a,86bは直線格子で形成されてい
ることを特徴とする請求項3記載の光学装置。 - 【請求項5】目盛板は円形格子で形成されていることを
特徴とする請求項3記載の光学装置。 - 【請求項6】円形格子23,24;33,34;43,44;53,54;63,64;
83,84と回折格子の少なくも一方26;36;46;56;66a,66b;8
6a,86bとは、集積光学素子25;55;65;85の構成部材であ
ることを特徴とする請求項4記載の光学装置。 - 【請求項7】集積光学素子25;55;65;85には、一個の結
合器29;59;69があり、この結合器中で入射した分割ビー
ム束21′,21″;51′,51″;61′,61″;81′,81″が干渉
し、検出器210,211;610,611,612によって検出され、互
いに位相のずれた電気信号に変換されることを特徴とす
る請求項6記載の光学装置。 - 【請求項8】検出器210,211;610,611,612は集積光学素
子25;55;65;85の集積構成部材であることを特徴とする
請求項7記載の光学装置。 - 【請求項9】集積光学素子には照明光源も配設されてい
ることを特徴とする請求項6記載の光学装置。 - 【請求項10】照明ビームの通路81は光導波路81a中で
出射円形格子81bに導入され、この格子はビームを目盛
板82に垂直に入射させるように偏向させることを特徴と
する請求項6記載の光学装置。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE3918726A DE3918726C1 (ja) | 1989-06-08 | 1989-06-08 | |
DE3918726.8 | 1989-06-08 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0335206A JPH0335206A (ja) | 1991-02-15 |
JPH07119854B2 true JPH07119854B2 (ja) | 1995-12-20 |
Family
ID=6382358
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2131461A Expired - Lifetime JPH07119854B2 (ja) | 1989-06-08 | 1990-05-23 | 集積光学素子を備えた光ビームの入出射装置 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US5127733A (ja) |
EP (1) | EP0401654B1 (ja) |
JP (1) | JPH07119854B2 (ja) |
AT (1) | ATE85705T1 (ja) |
DE (2) | DE3918726C1 (ja) |
Families Citing this family (19)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE4013566A1 (de) * | 1990-04-27 | 1991-11-07 | Heidenhain Gmbh Dr Johannes | Winkelmesseinrichtung |
US5200798A (en) * | 1990-07-23 | 1993-04-06 | Hitachi, Ltd. | Method of position detection and the method and apparatus of printing patterns by use of the position detection method |
EP0514573B1 (de) * | 1991-05-24 | 1994-07-20 | Dr. Johannes Heidenhain GmbH | Vorrichtung zum Ein- und/oder Auskoppeln von Lichtstrahlen mit einem integriert-optischen Baustein |
DE4205750A1 (de) * | 1992-02-25 | 1993-08-26 | Siemens Ag | Optischer demultiplexer |
DE4209672C1 (en) * | 1992-03-25 | 1993-07-08 | Deutsche Aerospace Ag, 8000 Muenchen, De | Wavelength measuring device for spectrometry - has sandwich structure of optical waveguides with diffraction gratings of differing constant giving spatial separation of components |
JP3210111B2 (ja) * | 1992-12-24 | 2001-09-17 | キヤノン株式会社 | 変位検出装置 |
DE4302313C2 (de) * | 1993-01-28 | 1996-12-05 | Heidenhain Gmbh Dr Johannes | Mehrkoordinaten-Meßeinrichtung |
EP0625690B1 (de) * | 1993-05-21 | 1996-04-03 | Dr. Johannes Heidenhain GmbH | Lichtelektrische Positionsmesseinrichtung |
US5507455A (en) * | 1993-12-28 | 1996-04-16 | Yang; Ro-King | Automatic control device for flying state of remote-control toy airplane |
EP0770219B1 (en) * | 1994-07-08 | 1999-10-20 | Forskningscenter Riso | An optical measurement method and apparatus |
DE19726397A1 (de) * | 1997-06-21 | 1998-12-24 | Heidenhain Gmbh Dr Johannes | Strichplatte und optische Einrichtung mit einer beleuchtbaren Strichplatte |
US7129508B2 (en) * | 2002-01-18 | 2006-10-31 | Honeywell International Inc. | Compact VCSEL sensor with multiple sensing capabilities |
JP2011107384A (ja) * | 2009-11-17 | 2011-06-02 | Nec Corp | 光結合デバイスの製造方法 |
US8682120B2 (en) | 2011-03-05 | 2014-03-25 | Alcatel Lucent | Polarization-independent grating optical coupler |
US9162404B2 (en) * | 2011-03-05 | 2015-10-20 | Alcatel Lucent | Radial optical coupler |
US9140854B2 (en) | 2011-09-22 | 2015-09-22 | Alcatel Lucent | Spatial division multiplexing optical mode converter |
DE102019102488A1 (de) * | 2019-01-31 | 2020-08-06 | Rheinmetall Waffe Munition Gmbh | Vorrichtung zur Kombination von wenigstens zwei Laserstrahlen |
US20220074738A1 (en) * | 2019-04-11 | 2022-03-10 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Three dimensional imaging |
DE102019124266A1 (de) * | 2019-09-10 | 2021-03-11 | Sick Ag | Optoelektronischer Sensor und Verfahren zum Erfassen von Objekten in einem Überwachungsbereich |
Family Cites Families (18)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
FR65429E (fr) * | 1953-09-18 | 1956-02-20 | Dispositif de comptabilité à décalque permettant l'emploi d'une troisième feuille dite centralisatrice et évitant l'inscription de deux écritures sur une même ligne de la feuille dite journal | |
JPS4835017B1 (ja) * | 1968-10-02 | 1973-10-25 | ||
DE2229996A1 (de) * | 1972-06-20 | 1974-01-10 | Leitz Ernst Gmbh | Fotoelektrischer schrittgeber fuer laengen- und winkelmessung |
GB1443220A (en) * | 1972-12-19 | 1976-07-21 | Leitz Ernst Gmbh | Photo-electric incremental transducer |
FR2426922A1 (fr) * | 1978-05-26 | 1979-12-21 | Thomson Csf | Structure optique compacte a source integree |
US4180704A (en) * | 1978-06-28 | 1979-12-25 | International Business Machines Corporation | Detection circuit for a bi-directional, self-imaging grating detector |
GB2043240A (en) * | 1979-03-01 | 1980-10-01 | Post Office | Improvements in or relating to the switching of signals |
US4445780A (en) * | 1982-03-01 | 1984-05-01 | The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Navy | Fiber optic rotation-sensing gyroscope with (3×2) coupler |
DE3316144A1 (de) * | 1982-05-04 | 1983-11-10 | Canon K.K., Tokyo | Verfahren und vorrichtung zum messen des ausmasses einer bewegung |
JPS59164914A (ja) * | 1983-03-10 | 1984-09-18 | Yokogawa Hokushin Electric Corp | 光学式スケ−ル読取装置 |
US4629886A (en) * | 1983-03-23 | 1986-12-16 | Yokogawa Hokushin Electric Corporation | High resolution digital diffraction grating scale encoder |
FR2546309B1 (fr) * | 1983-05-19 | 1986-07-04 | Yi Yan Alfredo | Structure de guidage optique utilisant un reseau de diffraction |
DD221828A1 (de) * | 1983-09-01 | 1985-05-02 | Zeiss Jena Veb Carl | Einrichtung zur fotoelektrischen abtastung von teilungen im auflicht |
DE3536497A1 (de) * | 1984-10-16 | 1986-04-17 | Mitsubishi Denki K.K., Tokio/Tokyo | Vorrichtung zur erfassung von fokussierungsfehlern in einer kopfanordnung fuer optische scheiben |
JPS62172203A (ja) * | 1986-01-27 | 1987-07-29 | Agency Of Ind Science & Technol | 相対変位測定方法 |
DE3625327C1 (de) * | 1986-07-26 | 1988-02-18 | Heidenhain Gmbh Dr Johannes | Lichtelektrische Positionsmesseinrichtung |
JPS63225929A (ja) * | 1986-12-26 | 1988-09-20 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 光情報処理装置 |
DE3702314C1 (de) * | 1987-01-27 | 1988-01-14 | Heidenhain Gmbh Dr Johannes | Lichtelektrische Messeinrichtung |
-
1989
- 1989-06-08 DE DE3918726A patent/DE3918726C1/de not_active Expired - Fee Related
-
1990
- 1990-05-23 JP JP2131461A patent/JPH07119854B2/ja not_active Expired - Lifetime
- 1990-05-25 US US07/529,216 patent/US5127733A/en not_active Expired - Fee Related
- 1990-05-30 DE DE9090110217T patent/DE59000870D1/de not_active Expired - Fee Related
- 1990-05-30 AT AT90110217T patent/ATE85705T1/de not_active IP Right Cessation
- 1990-05-30 EP EP90110217A patent/EP0401654B1/de not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
DE3918726C1 (ja) | 1991-01-10 |
EP0401654A2 (de) | 1990-12-12 |
ATE85705T1 (de) | 1993-02-15 |
JPH0335206A (ja) | 1991-02-15 |
EP0401654B1 (de) | 1993-02-10 |
DE59000870D1 (de) | 1993-03-25 |
EP0401654A3 (de) | 1991-03-27 |
US5127733A (en) | 1992-07-07 |
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