JPH0623662B2 - 位置測定装置 - Google Patents
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- JPH0623662B2 JPH0623662B2 JP2041350A JP4135090A JPH0623662B2 JP H0623662 B2 JPH0623662 B2 JP H0623662B2 JP 2041350 A JP2041350 A JP 2041350A JP 4135090 A JP4135090 A JP 4135090A JP H0623662 B2 JPH0623662 B2 JP H0623662B2
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
- G01D5/26—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light
- G01D5/32—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light
- G01D5/34—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells
- G01D5/36—Forming the light into pulses
- G01D5/38—Forming the light into pulses by diffraction gratings
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Description
【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は少なくとも１つの格子溝での回折によって相互
に運動可能な２つの対象物の位置の測定のための照明及
び検出装置を備えた位置測定装置に関する。
に運動可能な２つの対象物の位置の測定のための照明及
び検出装置を備えた位置測定装置に関する。
（従来の技術） この種の位置測定装置関しては多数の刊行物から公知で
ある。例えば西独国特許公開公報3633574号から出発す
る。実施例の１つは正負の回折光の偏向のための２つの
直線溝を示す。正負の回折光の干渉の次数が評価され
る。
ある。例えば西独国特許公開公報3633574号から出発す
る。実施例の１つは正負の回折光の偏向のための２つの
直線溝を示す。正負の回折光の干渉の次数が評価され
る。
ハノーバの工学大学の、Ｊ．ウイルヘルム氏の学術論文
「三格子ステップ発信機」において、格子定数に関して
高い感度の「三格子ステップ発信機」が記載されてい
る。そこでは120゜のプリズムが回折された部分光束の
偏向のために使用される。そこには、入射及び射出フィ
ールドが分離され、その結果内部反射は阻害作用をしな
いことが記載されている。
「三格子ステップ発信機」において、格子定数に関して
高い感度の「三格子ステップ発信機」が記載されてい
る。そこでは120゜のプリズムが回折された部分光束の
偏向のために使用される。そこには、入射及び射出フィ
ールドが分離され、その結果内部反射は阻害作用をしな
いことが記載されている。
このような構成ではいわゆるモアレ感度が不利である。
回折格子の回動に対する位置測定装置の感度に起因する
障害が生じる。
回折格子の回動に対する位置測定装置の感度に起因する
障害が生じる。
（発明の課題） 本発明は記載の種類の高分解能で簡単に構成される位置
測定装置を創造することであって、その際干渉する部分
光束の評価は良好な変調度を有する位相ずれ信号に繋が
り、そして評価は光学的構成要素相互間の回動及び傾倒
に対して敏感ではないようにすることを課題とする。
測定装置を創造することであって、その際干渉する部分
光束の評価は良好な変調度を有する位相ずれ信号に繋が
り、そして評価は光学的構成要素相互間の回動及び傾倒
に対して敏感ではないようにすることを課題とする。
（課題の解決のための手段） この課題は回折された部分光束は少なくとも１つの偏向
要素によって部分光束が少なくとも１つの反射要素に収
斂して入射し、反射要素を出た後再び偏向要素上に拡散
して現れるように偏向され、そして部分光束が干渉する
ことができるように偏向されることによって解決され
る。
要素によって部分光束が少なくとも１つの反射要素に収
斂して入射し、反射要素を出た後再び偏向要素上に拡散
して現れるように偏向され、そして部分光束が干渉する
ことができるように偏向されることによって解決され
る。
（発明の効果） 本発明の利点は簡単な構成及び比較的大きな製作公差を
可能にすることにある。構成部分の調整は簡単である。
可能にすることにある。構成部分の調整は簡単である。
（作用） 本発明によれば部分光束の回折を利用することにより高
分解能を以て位置測定ができる。
分解能を以て位置測定ができる。
（実施例） 図面によって本発明を著しく簡単化された実施例にに基
づいて詳しく説明する。図示の走査範囲はそれ自体周知
の位置測定装置の構成部分である。関連した光学的構成
要素は理解の簡単のために二次元でのみ示されている、
そのわけは立体的な表示−特に光路−は不明瞭となるか
らである。
づいて詳しく説明する。図示の走査範囲はそれ自体周知
の位置測定装置の構成部分である。関連した光学的構成
要素は理解の簡単のために二次元でのみ示されている、
そのわけは立体的な表示−特に光路−は不明瞭となるか
らである。
第1a図には位置測定装置１の要素が示されその際一般に
公知の詳細部分の図示は省略される。
公知の詳細部分の図示は省略される。
図示しない相対運動可能な対象物に位相格子２の形の回
折格子が固定されている。対象物は位相格子２と共に同
様に図示しない第２の対象物に対して平行に運動する。
この第２の対象物には同様に回折格子３が固定されてい
る。
折格子が固定されている。対象物は位相格子２と共に同
様に図示しない第２の対象物に対して平行に運動する。
この第２の対象物には同様に回折格子３が固定されてい
る。
照明装置−特にレーザ4-によって光が発せられかつ位相
格子２で回折される。回折された部分光束−φ及び＋φ
は第２の回折格子３上に現れかつ再び回折される。回折
次数0.はこの部分光束が第２回折格子３上に生じる前
に、絞り５によって絞り込まれる。
格子２で回折される。回折された部分光束−φ及び＋φ
は第２の回折格子３上に現れかつ再び回折される。回折
次数0.はこの部分光束が第２回折格子３上に生じる前
に、絞り５によって絞り込まれる。
第２の回折格子３の後方にはいわゆる反射要素が配設さ
れている。そのような要素はそれ自体公知でありかつこ
の実施例に関しては三重鏡６が選択されている。回折格
子３及び三重鏡６は部分光束−φ及び＋φが一点で相会
するように調整されている。三重鏡６から出た後部分光
束−φ及び＋φは回折格子３の通過の際再び回折されか
つ位相格子２に現れそこで部分光束はもう一度回折され
る。干渉されかつ回折された部分光束は検出装置７に現
れ、検出装置によって部分光束は相互に位相のずれた測
定信号に変換される。
れている。そのような要素はそれ自体公知でありかつこ
の実施例に関しては三重鏡６が選択されている。回折格
子３及び三重鏡６は部分光束−φ及び＋φが一点で相会
するように調整されている。三重鏡６から出た後部分光
束−φ及び＋φは回折格子３の通過の際再び回折されか
つ位相格子２に現れそこで部分光束はもう一度回折され
る。干渉されかつ回折された部分光束は検出装置７に現
れ、検出装置によって部分光束は相互に位相のずれた測
定信号に変換される。
第1b図に示す変形は前記実施形態とは位相格子２のみな
らず回折格子３も回折格子３に矢印で示されるように動
かされること点でのみ相違する。従ってどの格子が動か
されるかは実施例にとって本質的なことではないことが
明らかである。
らず回折格子３も回折格子３に矢印で示されるように動
かされること点でのみ相違する。従ってどの格子が動か
されるかは実施例にとって本質的なことではないことが
明らかである。
第２図には位置測定装置201の変形が示されている。レ
ーザ204から出た光束は格子定数g1を有する第１の回折
格子202で回折される。三重鏡６には第２の回折格子203
が付設されている。この回折格子203は回折格子202によ
って回折された部分光束−φ及び＋φが現れる範囲に第
１の回折格子202の格子定数g1とは異なる格子定数g2を
有する。回折次数0.の部分光束が回折格子203上に現れ
る範囲には回折光学的に中立の範囲が設けられており、
このことは格子203の空白Φによって明らかにされる。
部分光束−φ、0.及び＋φは三重プリズム206におい
て、部分光束が再び一点で相会するように反射される。
三重プリズム206から出た部分光束は再び第２回折格子2
03を通過し、第２回折格子で回折格子は改めて回折され
る。回折次第0.の部分光束が回折格子203によって生じ
る範囲で回折格子は格子定数g1を有し、格子定数g1は回
折格子202の格子定数g1と同一である。この範囲は回折
格子203(g1)と表される。
ーザ204から出た光束は格子定数g1を有する第１の回折
格子202で回折される。三重鏡６には第２の回折格子203
が付設されている。この回折格子203は回折格子202によ
って回折された部分光束−φ及び＋φが現れる範囲に第
１の回折格子202の格子定数g1とは異なる格子定数g2を
有する。回折次数0.の部分光束が回折格子203上に現れ
る範囲には回折光学的に中立の範囲が設けられており、
このことは格子203の空白Φによって明らかにされる。
部分光束−φ、0.及び＋φは三重プリズム206におい
て、部分光束が再び一点で相会するように反射される。
三重プリズム206から出た部分光束は再び第２回折格子2
03を通過し、第２回折格子で回折格子は改めて回折され
る。回折次第0.の部分光束が回折格子203によって生じ
る範囲で回折格子は格子定数g1を有し、格子定数g1は回
折格子202の格子定数g1と同一である。この範囲は回折
格子203(g1)と表される。
部分光束−φ及び＋φが現れる回折格子203の範囲は格
子定数g1及びg2とは異なる格子定数g3を有する。回折格
子203でもう一度回折された部分光束−φ、0.及び＋φ
は回折格子202で改めて回折され、干渉されかつ検出装
置207上に現れ、検出装置によって相互に位相のずれた
測定信号に変換される。
子定数g1及びg2とは異なる格子定数g3を有する。回折格
子203でもう一度回折された部分光束−φ、0.及び＋φ
は回折格子202で改めて回折され、干渉されかつ検出装
置207上に現れ、検出装置によって相互に位相のずれた
測定信号に変換される。
他の実施例は第３図に示されている。第１の回折格子30
2ではレーザ304から出た部分光束の部分光束−φと0.へ
の分割が行われる。第２回折格子303によって部分光束
−φ及び0.が部分光束が三重プリズム306において再び
一点で相会するように回折される。三重プリズム306を
出た後、部分光束−φ及び0.は回折格子303を通過の際
再び回折されかつその入射方向に平行に回折格子302上
に入射し、そこで部分光束は回折後干渉する。そこから
出た部分光束は検出装置307で受けられて相互に位相の
ずれた測定信号に変換される。
2ではレーザ304から出た部分光束の部分光束−φと0.へ
の分割が行われる。第２回折格子303によって部分光束
−φ及び0.が部分光束が三重プリズム306において再び
一点で相会するように回折される。三重プリズム306を
出た後、部分光束−φ及び0.は回折格子303を通過の際
再び回折されかつその入射方向に平行に回折格子302上
に入射し、そこで部分光束は回折後干渉する。そこから
出た部分光束は検出装置307で受けられて相互に位相の
ずれた測定信号に変換される。
第４図に示す実施例ではレーザ404から第１の回折格子4
02上に向けられた光りの入射角は法線から偏している。
この措置によって部分光束−φと0.の対称的な経過が得
られ、このことは測定技術的に利点を有する。その他こ
の解決は第３図による実施例と一致する。
02上に向けられた光りの入射角は法線から偏している。
この措置によって部分光束−φと0.の対称的な経過が得
られ、このことは測定技術的に利点を有する。その他こ
の解決は第３図による実施例と一致する。
第５図は光学的に偏向する要素を備えた反射要素がプリ
ズム503′又は格子503″と一体の構成ユニット506を形
成することができる全ての実施例について代替されるも
のを示す。この構成ユニット506は少なくとも１つの回
折格子が好適な方法で適合される偏向及び反射のための
要素を一体化する。実際上かかる構成ユニット506を備
えた位置測定装置の実施形態は重要である、そのわけは
偏向格子又はプリズムは三重プリズムの入射面上にもた
らされかつこの構成部分は標準構成部分として層上に保
持されることができるからである。
ズム503′又は格子503″と一体の構成ユニット506を形
成することができる全ての実施例について代替されるも
のを示す。この構成ユニット506は少なくとも１つの回
折格子が好適な方法で適合される偏向及び反射のための
要素を一体化する。実際上かかる構成ユニット506を備
えた位置測定装置の実施形態は重要である、そのわけは
偏向格子又はプリズムは三重プリズムの入射面上にもた
らされかつこの構成部分は標準構成部分として層上に保
持されることができるからである。
これまでに説明した実施例では部分光束の入射及び射出
フィールドは測定方向において相前後して位置する。し
かし本発明は入射及び射出フィールドが測定方向におい
て並んで配設されている解決をも包含する。第６図にお
いて、両原理が示されている。第6a図は入射及び射出フ
ィールドが測定方向において相前後して配設されている
すでに説明した走査部を示す。このことは第１図による
実施例とも同様である。
フィールドは測定方向において相前後して位置する。し
かし本発明は入射及び射出フィールドが測定方向におい
て並んで配設されている解決をも包含する。第６図にお
いて、両原理が示されている。第6a図は入射及び射出フ
ィールドが測定方向において相前後して配設されている
すでに説明した走査部を示す。このことは第１図による
実施例とも同様である。
第6b図は入射及び射出フィールドが相互に平行に並んで
位置する場合を示す。このために広い回折格子が必要と
されるか、またはしかし２つの平行な回折格子602
′、602″が使用される。両回折格子602′、602″は
相対的に又は一緒に運動されることができるのでこの種
の走査部によって和又は差測定が実施されることができ
る。その際回動及び又は傾倒に対する非敏感性は保持さ
れている。
位置する場合を示す。このために広い回折格子が必要と
されるか、またはしかし２つの平行な回折格子602
′、602″が使用される。両回折格子602′、602″は
相対的に又は一緒に運動されることができるのでこの種
の走査部によって和又は差測定が実施されることができ
る。その際回動及び又は傾倒に対する非敏感性は保持さ
れている。
これまでの述べた透過形長さ測定装置とは異なり、本発
明は角度測定装置としても並びに次にいくつかの解決に
基づいて説明するような反射形装置でも実現可能であ
る。
明は角度測定装置としても並びに次にいくつかの解決に
基づいて説明するような反射形装置でも実現可能であ
る。
第7a図によればレーザ704は角度αで反射格子703を照明
し、回折された部分光束−φ及び＋φによって三重プリ
ズム706に反射され、このことは第7b図かから一層明ら
かになる。
し、回折された部分光束−φ及び＋φによって三重プリ
ズム706に反射され、このことは第7b図かから一層明ら
かになる。
第7b図に示す構成はその構成が第1b図による透過形変形
の構成に対応する。レーザ704からの部分光束は回折格
子702に達し、回折格子で部分光束−φ及び＋φに分割
される。この部分光束−φ及び＋φは反射格子703によ
って三重プリズム706に反射され即ち収斂光となる。部
分光束は三重プリズム706を出た後再び発散光となって
反射格子703上に現れて、改めて回折されかつ回折格子7
02上で相会する。そこで部分光束は干渉しかつ検出装置
707によって検出される。
の構成に対応する。レーザ704からの部分光束は回折格
子702に達し、回折格子で部分光束−φ及び＋φに分割
される。この部分光束−φ及び＋φは反射格子703によ
って三重プリズム706に反射され即ち収斂光となる。部
分光束は三重プリズム706を出た後再び発散光となって
反射格子703上に現れて、改めて回折されかつ回折格子7
02上で相会する。そこで部分光束は干渉しかつ検出装置
707によって検出される。
第８図に示す反射形装置は原理は第1a図による構成に対
応する。第8a図は側面図、そして第8b図には詳細部分が
平面図で示される。
応する。第8a図は側面図、そして第8b図には詳細部分が
平面図で示される。
レーザ804の照明光は反射格子802に現れ、そこで回折さ
れかつ部分光束−φ及び＋φが生じ、これらは回折格子
803上に反射される。そこでもう一度回折された後に部
分光束は収斂光となって三重プリズム806に入射しかつ
前記の方法でこれを通過する。三重プリズム806から出
た後部分光束は発散光となって回折格子803に現れ、回
折されかつ反射格子802上に現れる。そこで部分光束は
相会し、干渉しかつ干渉した部分光束は検出器807上に
反射される。
れかつ部分光束−φ及び＋φが生じ、これらは回折格子
803上に反射される。そこでもう一度回折された後に部
分光束は収斂光となって三重プリズム806に入射しかつ
前記の方法でこれを通過する。三重プリズム806から出
た後部分光束は発散光となって回折格子803に現れ、回
折されかつ反射格子802上に現れる。そこで部分光束は
相会し、干渉しかつ干渉した部分光束は検出器807上に
反射される。
第７図による実施例とは異なり照明光は反射格子802で
一次回折されかつ部分光束−φ及び＋φに分割される。
一次回折されかつ部分光束−φ及び＋φに分割される。
第9a図〜第9h図には可能な一連の実施形態が記載されて
いる。記載の簡単のために照明装置は検出器は示さず、
関連した状況のみを記載する。
いる。記載の簡単のために照明装置は検出器は示さず、
関連した状況のみを記載する。
照明装置は格子の法線及び使用された反射格子の溝の方
向に垂直である方向に対して垂直ではない点で記載の全
ての反射形装置に共通する。
向に垂直である方向に対して垂直ではない点で記載の全
ての反射形装置に共通する。
第9a図の構成では偏向格子902a及び三重プリズム906aの
底辺が反射格子903aの平面に対して相互にある角度をな
している。
底辺が反射格子903aの平面に対して相互にある角度をな
している。
第9b図によれば偏向格子903bと三重プリズム906bの底辺
は相互に平行であるが、反射格子902bの平面に対して一
定の角度をなす。
は相互に平行であるが、反射格子902bの平面に対して一
定の角度をなす。
第9c図によれば偏向格子902cは反射格子903cの平面及び
三重プリズム906cの底辺に対してある角度をなしその際
反射格子は三重プリズムとは相互に平行に経過する。偏
向格子902cは図示しない照明装置と反射格子903cの間に
位置する。
三重プリズム906cの底辺に対してある角度をなしその際
反射格子は三重プリズムとは相互に平行に経過する。偏
向格子902cは図示しない照明装置と反射格子903cの間に
位置する。
第9d図による構成は偏向格子903cが反射格子902dの平面
とこれに対して平行な三重プリズム906dの底辺との間に
位置しかつこれに対して有る角度をなす点で第9c図によ
る構成とは相違する。
とこれに対して平行な三重プリズム906dの底辺との間に
位置しかつこれに対して有る角度をなす点で第9c図によ
る構成とは相違する。
第9e図には、偏向格子902eが図示しない照明装置と反射
格子903eとの間に位置しかつその平面に対して平行であ
る実施形態が示される。三重プリズム906eの底辺は両者
に対しある角度をなす。
格子903eとの間に位置しかつその平面に対して平行であ
る実施形態が示される。三重プリズム906eの底辺は両者
に対しある角度をなす。
第9f図による構成は類似して形成されているが、ここで
は偏向格子903fは三重プリズム906fの底辺と反射格子90
2fとの間にある。
は偏向格子903fは三重プリズム906fの底辺と反射格子90
2fとの間にある。
第9g図は偏向格子902gが図示しない照明装置と反射格子
903gとの間に配設された変形を示す。反射格子903gの平
面並びに偏向格子902g及び三重プリズム906gの底辺は相
互に平行である。
903gとの間に配設された変形を示す。反射格子903gの平
面並びに偏向格子902g及び三重プリズム906gの底辺は相
互に平行である。
最後の実施例では第9h図によれば偏向格子903hは反射格
子902hの平面と三重プリズム906hの底辺との間の光路に
ありかつこれらに平行である。
子902hの平面と三重プリズム906hの底辺との間の光路に
ありかつこれらに平行である。
第10a図及び第10b図によって、部分光束−φ及び＋φの
偏向のために前記の例における回折格子のみならず第10
a図によればミラー1003又はプリズム（第５図、位置50
3′参照）が使用されることができる。
偏向のために前記の例における回折格子のみならず第10
a図によればミラー1003又はプリズム（第５図、位置50
3′参照）が使用されることができる。
更に分割要素の例として部分透過ミラー1002又は第10b
図に示すよううな部分光束−φ及び＋φの発生のための
同様なものが意図される。ここではマークａ及びｂで示
されてない、そのわけはミラー1003及び分割要素1002は
単一の第10図としても表される得るからである。
図に示すよううな部分光束−φ及び＋φの発生のための
同様なものが意図される。ここではマークａ及びｂで示
されてない、そのわけはミラー1003及び分割要素1002は
単一の第10図としても表される得るからである。
同種の構成要素はサフィックスを備え、これは図面に表
されている。特許請求の範囲において簡明にするため
に、個々の実施例にのみ関わるものでない限り、サフィ
ックスを示してない。
されている。特許請求の範囲において簡明にするため
に、個々の実施例にのみ関わるものでない限り、サフィ
ックスを示してない。
第1a図は位置測定装置の走査範囲の著しく図式的に示さ
れた形態、第1b図は第1a図による構成の変形、第２図は
第1a図及び第1b図による構成の別の変形、第３図は第1a
図及び第1b図による構成の更に他の変形、第４図は照明
光が斜めに入射する走査範囲、第５図は追加の光学的要
素を備えた走査範囲、第6a図及び第6b図は２つの実施例
の対向位置を示す図、第7a図は反射形実施形態の側面
図、第7b図は第7a図による構成の平面図、第8a図は反射
形実施形態の他の変形の側面図、第8b図は第8a図による
構成の平面図、第9a図〜第9h図は反射形変形の種々の解
決を示すもの、そして第10a図と第10b図は偏向及び分割
の変形要素を示す。 図中符号 ３……偏向要素 ６……反射要素 −φ、0.、＋φ……部分光束
れた形態、第1b図は第1a図による構成の変形、第２図は
第1a図及び第1b図による構成の別の変形、第３図は第1a
図及び第1b図による構成の更に他の変形、第４図は照明
光が斜めに入射する走査範囲、第５図は追加の光学的要
素を備えた走査範囲、第6a図及び第6b図は２つの実施例
の対向位置を示す図、第7a図は反射形実施形態の側面
図、第7b図は第7a図による構成の平面図、第8a図は反射
形実施形態の他の変形の側面図、第8b図は第8a図による
構成の平面図、第9a図〜第9h図は反射形変形の種々の解
決を示すもの、そして第10a図と第10b図は偏向及び分割
の変形要素を示す。 図中符号 ３……偏向要素 ６……反射要素 −φ、0.、＋φ……部分光束
Claims (16)
- 【請求項１】少なくとも１つの格子溝での回折によって
相互に運動可能な２つの対象物の位置を測定するための
照明及び検出装置を備えた位置測定装置において、 回折された部分光束（−φ、0.、＋φ）は、少なくとも
１つの偏向要素(3)によって部分光束が少なくとも１つ
の反射要素(6)に収斂して入射し、そして反射要素(6)を
経た後再び偏向要素(3)上に拡散して現れかつ部分光束
が干渉することができるように、偏向されることを特徴
とする前記位置測定装置。 - 【請求項２】回折された部分光束（−φ、0.、＋φ）は
偏向要素(3)によって、部分光束が反射要素(6)を出た後
にそれ自体公知の方法で当該部分光束自体に対して平行
であるが出口個所からそれぞれ等しい距離をもって偏向
要素(3)に再び入射するように、偏向される請求項１記
載の位置測定装置。 - 【請求項３】回折された部分光束（−φ、0.、＋φ）の
出口及び入口フィールドが測定方向において相前後して
位置する請求項１記載の位置測定装置。 - 【請求項４】回折された部分光束（−φ、0.、＋φ）が
反射要素(6)中に、部分光束が単一の点で相会するよう
に偏向される、請求項３記載の位置測定装置。 - 【請求項５】回折された部分光束（−φ、0.、＋φ）の
出口及び入口フィールドが測定方向に並んで位置する、
請求項１記載の位置測定装置。 - 【請求項６】出口及び入口フィールドが２つの相互に平
行な回折格子(602′、602″）上に位置する、請求項５
記載の位置測定装置。 - 【請求項７】平行な回折格子(602′、602″）が測定方
向において相対的に移動可能である、請求項６記載の位
置測定装置。 - 【請求項８】少なくとも１つの光学的に光を偏向させる
偏向要素(503′、503″）を備えた反射要素が１つの構
造群(506)を形成する、請求項１記載の位置測定装置。 - 【請求項９】１つの回折格子(503″）を備えた反射要素
が１つの構造群(506)を形成する、請求項８記載の位置
測定装置。 - 【請求項１０】プリズム(503′）を備えた反射要素が１
つの構造群(506)を形成する、請求項８記載の位置測定
装置。 - 【請求項１１】反射要素(6)が三重鏡又は三重プリズム
として形成されている請求項１記載の位置測定装置。 - 【請求項１２】偏向要素(3)及び反射要素(6)が固定位置
にある、請求項１記載の位置測定装置。 - 【請求項１３】偏向要素(403)が可動的であり反射要素
(406)が固定位置にある、請求項１記載の位置測定装
置。 - 【請求項１４】照明装置は格子の法線及び反射格子の溝
の方向に垂直の方向に対してある角度をなしている、請
求項１記載の位置測定装置。 - 【請求項１５】部分光束（−φ、0.、＋φ）の発生のた
め回折格子(2)及び又は部分透過形ミラー(1002)が設け
られている請求項１記載の位置測定装置。 - 【請求項１６】偏向要素として格子(3)、プリズム(50
3′）及び又はミラー(1003)が設けられている、請求項
１記載の位置測定装置。
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-
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