JP2018040620A - 変位計測装置及び変位計測方法 - Google Patents
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Abstract
Description
上記第1回折格子は、光源からの光が入射する第1回折格子であって、それぞれが所定の回折格子パターンを有する複数の格子パターン領域を備え、上記複数の格子パターン領域は格子ピッチが互いに同一である。
上記第2回折格子は、上記第1回折格子から出射された回折光が入射することにより干渉光を生成する。
上記光検出器は、上記第2回折格子から出射された干渉光が入射する光検出器であって、複数の光検出素子を備え、上記複数の光検出素子は、上記干渉光によって生じる干渉縞が延伸する方向に沿って配列する。
図1は、本発明の実施形態に係る変位計測装置100を示す斜視図である。図2は、図1においてX方向から見た変位計測装置100を示す。変位計測装置100は、光源12、光学ユニット50、およびPDIC(光検出器:Photo Detector Integrated Circuit)40を備える。図2では、一部の構成の図示をは省略されている。
第1回折格子21及び第2回折格子22の詳細について説明する。
PDIC40の詳細について説明する。図6は、PDIC40の受光面を示す模式図である。同図に示すように、PDIC40の受光面には、互いに離間した3つのPD(光検出素子:Photo Detector)41、42、43が設けられている。PD41、42、43は、光が入射すると、光電変換によって電気信号を出力する素子である。PD41、42、43は互いに離間し、Y方向に配列する。
図7は、アパーチャ部材16から第1回折格子21に入射する光を示す模式図である。同図に示すように入射光Lは、第1回折格子21において格子パターン領域211、212、213のそれぞれを含む範囲に入射する。
本実施形態に係る変位計測装置100による効果を比較例との比較の上で説明する。比較例に係る変位計測装置は、PDIC及び第1回折格子の構成が本実施形態に係る変位計測測地とは異なる。図12は、比較例に係るPDIC240を示す模式図である。同図に示すように、PDIC240には4つのPD241、242、243、244が設けられている。
上述のようにPD41、42、42はY方向に互いに離間している。PD41、42、42の間隔は特に限定されないが、Y方向に沿うPD41、42、42の幅と同程度とすることができる。
上記実施形態では、第1回折格子21は透過型回折格子であり、第2回折格子22は反射型回折格子としたがこれに限られず、第1回折格子21で生成された回折光が第2回折格子22において干渉を生じるような構成であればよい。
21…第1回折格子
22…第2回折格子
30…光学部材
40…PDIC
41、42、43…PD
100…変位計測装置
211、212、213…格子パターン領域
Claims (7)
- 光源からの光が入射する第1回折格子であって、それぞれが所定の回折格子パターンを有する複数の格子パターン領域を備え、前記複数の格子パターン領域は格子ピッチが互いに同一である第1回折格子と、
前記第1回折格子から出射された回折光が入射することにより干渉光を生成する第2回折格子と、
前記第2回折格子から出射された干渉光が入射する光検出器であって、複数の光検出素子を備え、前記複数の光検出素子は、前記干渉光によって生じる干渉縞が延伸する方向に沿って配列する光検出器と
を備える変位計測装置。 - 請求項1に記載の変位計測装置であって、
前記複数の光検出素子は、前記干渉縞が延伸する方向に沿って、前記干渉縞が延伸する方向に沿う光検出素子の幅と同一の間隔を空けて互いに離間する
変位計測装置。 - 請求項1に記載の変位計測装置であって、
前記複数の格子パターン領域は、第1格子パターン領域、第2格子パターン領域及び第3格子パターン領域を含み、前記第2格子パターン領域は、前記第1格子パターン領域の回折格子パターンに対して90°の位相シフトを生じさせる回折格子パターンを有し、前記第3格子パターン領域は、前記第1格子パターン領域の回折格子パターン対して180°の位相シフトを生じさせる回折格子パターンを有する
変位計測装置。 - 請求項3に記載の変位計測装置であって、
前記複数の光検出素子は第1光検出素子、第2光検出素子及び第3光検出素子を含み、前記第1光検出素子は前記第1格子パターン領域から出射された光を受光し、前記第2光検出素子は前記第2格子パターン領域から出射された光を受光し、前記第3光検出素子は前記第3格子パターン領域から出射された光を受光する
変位計測装置。 - 請求項1に記載の変位計測装置であって、
対向する平行な一対の反射面を有し、前記第1回折格子から出射した複数次数の回折光のうち特定の一の次数の回折光である±m次回折光(mは自然数)を、前記一対の反射面でそれぞれ反射させて前記第2回折格子に導くように構成された光学手段
をさらに具備する変位計測装置。 - 請求項1に記載の変位計測装置であって、
前記複数の光検出素子の出力に基づいて、前記第1回折格子に対する前記第2回折格子の変位を算出する演算処理回路
をさらに具備する変位計測装置。 - 光源からの光が入射する第1回折格子であって、それぞれが所定の回折格子パターンを有する複数の格子パターン領域を備え、前記複数の格子パターン領域は格子ピッチが互いに同一である第1回折格子と、前記第1回折格子から出射された回折光が入射することにより干渉光を生成する第2回折格子と、前記第2回折格子から出射された干渉光が入射する光検出器であって、複数の光検出素子を備え、前記複数の光検出素子は、前記干渉光によって生じる干渉縞が延伸する方向に沿って配列する光検出器とを備える変位計測装置を準備し、
前記複数の光検出素子の出力に基づいて、前記第1回折格子に対する前記第2回折格子の変位を算出する
変位計測方法。
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