JP5112797B2 - 光電式インクリメンタル型エンコーダ - Google Patents
光電式インクリメンタル型エンコーダ Download PDFInfo
- Publication number
- JP5112797B2 JP5112797B2 JP2007238727A JP2007238727A JP5112797B2 JP 5112797 B2 JP5112797 B2 JP 5112797B2 JP 2007238727 A JP2007238727 A JP 2007238727A JP 2007238727 A JP2007238727 A JP 2007238727A JP 5112797 B2 JP5112797 B2 JP 5112797B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- grating
- combined
- gratings
- light
- incremental encoder
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Landscapes
- Optical Transform (AREA)
Description
20…(メイン)スケール
22…第2格子
24、38…原点用パターン
30…インデックス(スケール)
32、33…第1・第3兼用格子
34…モアレ縞
36…ビームスプリッタ
40…レンズ光学系
42…投影レンズ
44…アパーチャ
46…投影像
50…受光素子アレイ
52…受光基板
54…原点検出用受光素子
Claims (8)
- 光源からの光を変調するための第1格子と、スケール上に形成された第2格子と、前記第1、第2格子によって形成された干渉縞が投影される第3格子とを有する3格子型の光電式インクリメンタル型エンコーダにおいて、
前記第1格子と第3格子の作用を兼ね備えた第1・第3兼用格子をインデックスに設け、
該第1・第3兼用格子に生じたモアレ縞を、前記第1・第3兼用格子のパターンを検出せずに、前記モアレ縞のみを検出できるように開口数が設定されたレンズ光学系を介して受光素子アレイで検出することを特徴とする光電式インクリメンタル型エンコーダ。 - 前記光源からの光をビームスプリッタで分岐し、前記第1・第3兼用格子を介してスケール面に垂直に照射すると共に、該スケール面からの反射光により前記第1・第3兼用格子上に生じたモアレ縞を前記レンズ光学系を介して受光素子アレイで検出することを特徴とする請求項1に記載の光電式インクリメンタル型エンコーダ。
- 前記第1・第3兼用格子及び前記第2格子のピッチに対して、前記受光素子アレイのピッチが大とされていることを特徴とする請求項1又は2に記載の光電式インクリメンタル型エンコーダ。
- 前記モアレ縞の周期と前記受光素子アレイのピッチが合うように、前記レンズ光学系の倍率が設定されていることを特徴とする請求項1乃至3のいずれかに記載の光電式インクリメンタル型エンコーダ。
- 前記光源からの光が、スケール移動方向に対して横方向から入射するようにされていることを特徴とする請求項1乃至4のいずれかに記載の光電式インクリメンタル型エンコーダ。
- 光源からの光を変調するための第1格子と、スケール上に形成された第2格子と、前記第1、第2格子によって形成された干渉縞が投影される第3格子とを有する3格子型の光電式インクリメンタル型エンコーダにおいて、
前記第1格子と第3格子の作用を兼ね備えた第1・第3兼用格子をインデックスに設け、
該第1・第3兼用格子に生じたモアレ縞を、投影レンズと、その焦点位置にアパーチャが配設されたテレセントリック光学系でなるレンズ光学系であって、前記テレセントリック光学系のアパーチャ直径が、前記第1・第3兼用格子のパターンを解像しないカットオフ周波数に設定されたレンズ光学系を介して受光素子アレイで検出することを特徴とする光電式インクリメンタル型エンコーダ。 - 前記第1・第3兼用格子が、前記インデックスのスケール側の面に形成されていることを特徴とする請求項1乃至6のいずれかに記載の光電式インクリメンタル型エンコーダ。
- 前記第1・第3兼用格子と平行に原点用パターンが形成されていることを特徴とする請求項1乃至7のいずれかに記載の光電式インクリメンタル型エンコーダ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007238727A JP5112797B2 (ja) | 2007-09-14 | 2007-09-14 | 光電式インクリメンタル型エンコーダ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007238727A JP5112797B2 (ja) | 2007-09-14 | 2007-09-14 | 光電式インクリメンタル型エンコーダ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2009069033A JP2009069033A (ja) | 2009-04-02 |
JP5112797B2 true JP5112797B2 (ja) | 2013-01-09 |
Family
ID=40605441
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007238727A Active JP5112797B2 (ja) | 2007-09-14 | 2007-09-14 | 光電式インクリメンタル型エンコーダ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5112797B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2011034910A2 (en) * | 2009-09-18 | 2011-03-24 | Illinois Tool Works Inc. | Remote displacement sensor, including an optical strain gauge, an assembly and system therewith |
US8658964B2 (en) * | 2009-10-23 | 2014-02-25 | Mitutoyo Corporation | Photoelectric encoder with optical grating |
DE102017213330A1 (de) * | 2017-08-02 | 2019-02-07 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh | Abtastplatte für eine optische Positionsmesseinrichtung |
Family Cites Families (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5999220A (ja) * | 1982-11-29 | 1984-06-07 | Nippon Kogaku Kk <Nikon> | 光電式のエンコ−ダ |
EP1028309B1 (de) * | 1999-02-04 | 2003-04-16 | Dr. Johannes Heidenhain GmbH | Optische Positionsmesseinrichtung |
-
2007
- 2007-09-14 JP JP2007238727A patent/JP5112797B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2009069033A (ja) | 2009-04-02 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US8604413B2 (en) | Optical encoder including displacement sensing normal to the encoder scale grating surface | |
JPH05240613A (ja) | 変位測定装置及び方法 | |
JP6344933B2 (ja) | 光電式エンコーダ | |
JP4843342B2 (ja) | 光電式インクリメンタル型エンコーダ | |
JP2017067768A (ja) | 光学式エンコーダ | |
JPH063167A (ja) | エンコーダー | |
JP6386337B2 (ja) | 光学式エンコーダ | |
JP4398744B2 (ja) | 光電式エンコーダ | |
KR20110137755A (ko) | 위치 검출 장치 | |
JP2017026566A (ja) | 変位検出装置 | |
JP5112797B2 (ja) | 光電式インクリメンタル型エンコーダ | |
JP2005147828A (ja) | 変位検出装置 | |
JP5069364B2 (ja) | 光電式インクリメンタル型エンコーダ | |
US6723980B2 (en) | Position sensor with grating to detect moving object with periodic pattern | |
JP5128364B2 (ja) | 位置測定装置 | |
JPH03279812A (ja) | 回析干渉型エンコーダ | |
JP2018040620A (ja) | 変位計測装置及び変位計測方法 | |
JP6883939B2 (ja) | 光電式エンコーダ | |
JP2011043438A (ja) | 反射型光電式エンコーダ | |
JP2007071634A (ja) | 光電式エンコーダ | |
JP5454373B2 (ja) | エンコーダ | |
JP7201547B2 (ja) | 光学式エンコーダ | |
JP6903392B2 (ja) | テレセントリック光学系 | |
JP2005055360A (ja) | 光電式エンコーダ | |
JP2004347465A (ja) | 光電式エンコーダ |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20100802 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20120712 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20120731 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20120904 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20121002 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20121011 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20151019 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5112797 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |