JP2011203273A - 光電式インクリメンタル型エンコーダ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】第1格子14と第2格子22と第3格子30とを有する3格子型の光電式インクリメンタル型エンコーダにおいて、第3格子30で生じるモアレ縞32を受光素子アレイ40に投影するためのレンズ光学系50、60を備え、光源10からの光を、スケール移動方向に対して横方向から入射するようにし、スケール20上に、第2格子22に隣接して原点パターン26を形成すると共に、第3格子30に隣接して、原点パターン26の透過部34を設け、主信号検出用受光素子(40)に隣接して配設された原点信号検出用受光素子(42)により、主信号と原点信号を同時に検出可能とし、原点パターン形成面と、レンズ光学系50の中心面と、受光素子面とが1点で交差するシャインプルーフ光学系を構成する。
【選択図】図5
Description
P3=(P1×PM)/(PM−P1) ・・・ (2)
ここで、fはモアレ縞32の空間周波数、λは、光の波長である。
12…コリメータレンズ
14…第1格子(ピッチP1)
20…スケール
22…第2格子(ピッチP2)
24…干渉縞
26…原点パターン
28、32…モアレ縞(ピッチPM)
30…第3格子(ピッチP3)
34…透過部
40、42…受光素子アレイ
50…レンズ光学系
52…レンズ
54…アパーチャ
60…テレセントリック光学系
Claims (4)
- 光源からの光を変調するための第1格子と、スケール上に形成された第2格子と、前記第1、第2格子によって形成された干渉縞が投影される第3格子とを有する3格子型の光電式インクリメンタル型エンコーダにおいて、
前記第3格子で生じるモアレ縞を受光素子に投影するためのレンズ光学系を備え、
前記光源からの光が、スケール移動方向に対して横方向から入射するようにされ、
前記スケール上に、第2格子に隣接して原点パターンが形成されると共に、前記第3格子に隣接して、該原点パターンの透過部が設けられ、
主信号検出用受光素子に隣接して配設された原点信号検出用受光素子により、主信号と原点信号を同時に検出可能とされ、
前記原点パターン形成面と、レンズ光学系の中心面と、受光素子面とが1点で交差するシャインプルーフ光学系を構成するようにされていることを特徴とする光電式インクリメンタル型エンコーダ。 - 前記レンズ光学系が、レンズの焦点位置にアパーチャが配設されたテレセントリック光学系とされていることを特徴とする請求項1に記載の光電式インクリメンタル型エンコーダ。
- 光源からの光を変調するための第1格子と、スケール上に形成された第2格子とを有し、前記第1格子のセルフイメージと第2格子とによって形成されたモアレ縞を検出するようにされた2格子型の光電式インクリメンタル型エンコーダにおいて、
前記スケール上で生じるモアレ縞を受光素子に投影するためのレンズ光学系を備え、
前記光源からの光が、スケール移動方向に対して横方向から入射するようにされ、
前記スケール上に、第2格子に隣接して原点パターンが形成され、
主信号検出用受光素子に隣接して配設された原点信号検出用受光素子により、主信号と原点信号を同時に検出可能とされ、
前記原点パターン形成面と、レンズ光学系の中心面と、受光素子面とが1点で交差するシャインプルーフ光学系を構成するようにされていることを特徴とする光電式インクリメンタル型エンコーダ。 - 前記レンズ光学系が、レンズの焦点位置にアパーチャが配設されたテレセントリック光学系とされていることを特徴とする請求項3に記載の光電式インクリメンタル型エンコーダ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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Publication Number | Publication Date |
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JP5069364B2 JP5069364B2 (ja) | 2012-11-07 |
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Country | Link |
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