DE3904898A1 - Optischer kodierer - Google Patents
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Description
Die Erfindung betrifft optische Kodierer. Insbesondere
betrifft die Erfindung einen sogenannten Drei-Gitter
optischen Kodierer, welcher drei (bei einem Transmissionskodierer)
oder zwei (bei einem Reflexionskodierer) Skalen
aufweist, von denen jede mit periodischen Gittern
dreier Arten versehen ist, sowie eine Lichtquelle zur
Beleuchtung der Gitter der drei Arten, und ein lichtempfangendes
Element zum Nachweis von Beleuchtungslicht,
welches durch die Gitter dieser drei Arten beschränkt
wird, wobei periodisches Nachweissignal in Übereinstimmung
mit einer Relativverschiebung zwischen zwei
Teilen erzeugt wird.
Bei Werkzeugmaschinen und dergleichen ist als Einrichtung
zur Messung einer Relativverschiebung zwischen einem
stationären Teil und einem beweglichen Teil eine Verschiebungsmessungseinrichtung
bekannt, die einen optischen
Kodierer zur Erzeugung eines periodischen Nachweissignals
in Übereinstimmung mit einer Relativverschiebung
aufweist sowie einen Zähler zur Umwandlung der Nachweissignale
und Impulse, und zum Zählen und Integrieren der
Impulse.
Als optischer Kodierer ist zusätzlich zu einem konventionellen
Kodierer, bei welchem die Änderungen in der
Überlappung von Gittern zweier Arten verwendet wird,
ein sogenanntes Drei-Gitter-System bekannt, bei welchem
Änderungen in der Überlappung von Gittern dreier Arten
12, 14 und 16 genutzt werden, wie in Fig. 11 gezeigt
ist. Das Grundprinzip dieses Drei-Gitter-Systems ist
im Journal of the Optical Society of America, 1965, Band
55, Nr. 4, S. 373-381 gezeigt und, wenn auch in nicht
perfekter Form, in der US-PS 38 12 352 und der englischen
Patentanmeldung Nr. 44 522/74 beschrieben.
Fig. 11 stellt das System dar, das in Society of Photo-Optical
Instrumentation Engineers (SPIE), Band 136, 1st
European Congress on Optics Applied to Metrology (1977),
S. 235-331 beschrieben ist.
Vereinfacht umfaßt dieses Drei-Gitter-System, wie in
Fig. 11 gezeigt ist, ein erstes Gitter 12 mit einer Gitterteilung
P 1, ein zweites Gitter 14 mit einer Gitterteilung
P 2, welches um einen Abstand u von dem ersten
Gitter 12 entfernt angeordnet ist, ein drittes Gitter
16 mit einer Gitterteilung P 3, welches um einen Abstand
v von dem ersten Gitter 12 und dem zweiten Gitter 14
gegenüberliegend angeordnet ist, eine Lichtquelle 18
zur Aussendung diffusen Beleuchtungslichts in Richtungen
des ersten und dritten Gitters 12, 16 durch das zweite
Gitter 14, ein hinter dem dritten Gitter 16 angeordnetes
lichtempfangendes Element 20 zum Nachweis des Beleuchtungslichts,
welches durch das erste bis dritte Gitter 12,
14, 16 behindert wird, und zur photoelektrischen Wandlung
des Lichts, sowie einen Vorverstärker 22 zur Verstärkung
eines Signals von dem lichtempfangenden Element 20 und
zur Wandlung des Signals in ein Nachweissignal a, wobei
das Nachweissignal a periodisch im wesentlichen wie ein
Sinussignal schwankt, wenn das erste Gitter 12 in eine
Richtung x verschoben wird.
Die Beziehungen zwischen den Teilungen der voranstehend
angegebenen Parameter P 1, P 2, P 3, u, v und dem Nachweissignal a
können, wie in Tabelle 1 dargestellt ist, in
zwei Gruppen aufgeteilt werden, nämlich ein geometrisches
System und ein Beugungssystem. In Tabelle 1 ist l eine
natürliche Zahl und λ eine effektive Wellenlänge des
Beleuchtungslichts.
Bei dem voranstehend beschriebenen konventionellen Drei-Gitter-System
ist beispielsweise im Falle des geometrischen
Systems unter der Voraussetzung, daß die Länge
eines dunklen Abschnitts des ersten Gitters 12 gleich
einer Länge eines hellen Abschnitts = 10 µm ist, die
Teilung P 1 = 20 µm ist, und der Abstand u der Gitter
= v = 5 mm beträgt, bekannt, daß die Teilung P 2 des zweiten
Gitters 14 sich ergibt zu ((u + v)/v) P 1 = 40 µm, und
daß sich die Teilung P 3 des dritten Gitters 16 ergibt
zu ((u + v)/u) P 1 = 40 µm.
Weiterhin ist im Falle des Beugungssystems mit den Annahmen,
daß die Länge eines dunklen Abschnitts des ersten
Gitters 12 = einer Länge eines hellen Abschnitts = 20 µm
ist, die Teilung P 1 = 40 µm und der Abstand u = dem Abstand
v = 5 mm, beispielsweise, bekannt, daß sich die
Teilung P 2 des zweiten Gitters 14 ergibt zu
((u + v)/u) P 1/2 = 40 µm, und daß die Teilung P 3
des dritten Gitters sich ergibt zu ((u + v)/u) ( P 1/2) = 40 µm.
Allerdings ergibt sich bei dem konventionellen Drei-Gitter-System,
wie in Fig. 12 gezeigt ist, zwar eine
genügende Gleichstromkomponente DC des Nachweissignals
a, jedoch nur eine niedrige Wechselstromkomponente PP
des periodischen Signals, so daß kein genügendes Signal-Rauschverhältnis
erhalten wird, wie es für nachgeordnete
elektrische Schaltkreise erforderlich ist.
Der Erfinder hat in 11 Fällen bei dem konventionellen
Verfahren Versuche durchgeführt, bei welchen jeweils
mit dem voranstehend angegebenen geometrischen System
die Gitterherstellung P 1 = 20 µm war, P 2 = 40 µm, P 3 = 40 µm,
der Abstand der Gitter u = v = 5 mm, und sämtliche Gitter
die gleiche Länge heller und dunkler Abschnitte aufwiesen,
und es wurde festgestellt, daß die Signal-Rauschverhältnisse
(SN-Verhältnisse) gemäß der nachstehenden Definition
im niedrigsten Falle 12% betrugen, im höchsten Falle
17% und im Durchschnitt 14,7%, so daß kein zufriedenstellendes
Signal-Rauschverhältnis erhalten wurde:
SN-Verhältnis = (PP/DC) × 100% (1)
Weiterhin ergab sich bei dem konventionellen Verfahren,
bei welchem mit dem voranstehend angegebenen Beugungssystem
die Gitterteilung P 1 = 40 µm, P 2 = 40 µm, P 3 = 40 µm
betrug, der Abstand der Gitter u = v = 5 mm war,
und sämtliche Gitter die gleiche Länge heller und dunkler
Abschnitte aufwiesen, in deutlicher Weise, daß die derart
erhaltenen Werte im wesentlichen die gleichen waren wie
voranstehend beschrieben, so daß kein zufriedenstellendes
Signal-Rauschverhältnis erhalten wurde.
Weiterhin ergibt sich, daß dann, wenn ein Reflexionskodierer
mit dem Drei-Gitter-System realisiert werden
soll, und wenn nur das erste Gitter 12 auf einer Hauptskala
des reflektierenden Typs ausgebildet ist, und das
zweite Gitter 14 und das dritte Gitter 16 auf der Indexskala
in üblicher Weise verwendet werden, die Gitterkonstante
P 2 = P 3 ist, und hieraus ergibt sich der Nachteil,
daß P 2 und P 3 nicht so geändert werden können, daß sie
eine unterschiedliche Teilung aufweisen.
Der vorliegenden Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde,
die voranstehend beschriebenen Schwierigkeiten zu beseitigen,
die beim Stand der Technik auftreten, und einen
optischen Kodierer bereitzustellen, mit welchem ein Nachweissignal
mit einem genügend hohen Signal-Rauschverhältnis
erhalten werden kann, so daß Messungen mit hoher
Genauigkeit ausgeführt werden können.
Ein Vorteil der Erfindung liegt in der Bereitstellung
eines optischen Kodierers des reflektierenden Typs, bei
welchem die Teilungen P 2 und P 3 des zweiten beziehungsweise
dritten Gitters, die bei dem optischen Kodierer
des reflektierenden Typs auf der einen gleichen Skala
(Indexskala) gebildet werden, voneinander unterschiedliche
Werte aufweisen können, so daß sich eine größere konstruktive
Freiheit ergibt.
Die Lösung der Aufgabe erfolgt gemäß der vorliegenden
Erfindung durch einen optischen Kodierer mit
einer ersten Skala, die an einem der relativ zueinander beweglichen Teile befestigt und mit einem ersten Gitter versehen ist;
einer Lichtquelle zur Aussendung eines nichtkollimierten Beleuchtungslichts; einer mit einem zweiten Gitter versehenen zweiten Skala zur teilweisen Abschirmung des Beleuchtungslichts von der Lichtquelle und zur Beleuchtung des ersten Gitters; einer mit einem dritten Gitter versehenen dritten Skala zur weiteren Behinderung des Beleuchtungslichts, welches durch das zweite und das erste Gitter behindert wurde; und mit einem lichtempfangenden Element zum Nachweis des Beleuchtungslichts, welches durch das erste bis dritte Gitter behindert wurde; wobei eine Befestigung an dem anderen der relativbeweglichen Teile erfolgt, und wobei eine Relativverschiebung zwischen den beiden Teilen mittels einer periodischen Änderung eines Nachweissignals von dem lichtempfangenden Element nachgewiesen wird, und
wobei eine Teilung P 2 des zweiten Gitters auf einen Wert gesetzt wird, die größer ist als eine Teilung P 1 des ersten Gitters, und eine Länge eines lichtdurchlässigen Abschnitts des zweiten Gitters auf einen Wert gesetzt wird, der kleiner ist als die Länge der Teilung P 1 des ersten Gitters.
einer ersten Skala, die an einem der relativ zueinander beweglichen Teile befestigt und mit einem ersten Gitter versehen ist;
einer Lichtquelle zur Aussendung eines nichtkollimierten Beleuchtungslichts; einer mit einem zweiten Gitter versehenen zweiten Skala zur teilweisen Abschirmung des Beleuchtungslichts von der Lichtquelle und zur Beleuchtung des ersten Gitters; einer mit einem dritten Gitter versehenen dritten Skala zur weiteren Behinderung des Beleuchtungslichts, welches durch das zweite und das erste Gitter behindert wurde; und mit einem lichtempfangenden Element zum Nachweis des Beleuchtungslichts, welches durch das erste bis dritte Gitter behindert wurde; wobei eine Befestigung an dem anderen der relativbeweglichen Teile erfolgt, und wobei eine Relativverschiebung zwischen den beiden Teilen mittels einer periodischen Änderung eines Nachweissignals von dem lichtempfangenden Element nachgewiesen wird, und
wobei eine Teilung P 2 des zweiten Gitters auf einen Wert gesetzt wird, die größer ist als eine Teilung P 1 des ersten Gitters, und eine Länge eines lichtdurchlässigen Abschnitts des zweiten Gitters auf einen Wert gesetzt wird, der kleiner ist als die Länge der Teilung P 1 des ersten Gitters.
Die weiteren Vorteile werden gemäß der vorliegenden Erfindung
mit einem optischen Kodierer des Reflexionstyps
erzielt, welcher
eine erste Skala des Reflexionstyps aufweist, welche an einem der relativbeweglichen Teile befestigt und mit einem ersten Gitter versehen ist;
eine Lichtquelle zur Aussendung eines nichtkollinierten Beleuchtungslichts; eine mit einem zweiten Gitter versehene zweite Skala zur teilweisen Abschirmung des Beleuchtungslichts von der Lichtquelle und zur Beleuchtung des ersten Gitters, und mehrere dritte Gitter, die eine voneinander verschiedene Phase aufweisen und von dem zweiten Gitter getrennt sind, um das Beleuchtungslicht weiter einzuschränken, welches durch das zweite und erste Gitter eingeschränkt wurde, und mehrere lichtempfangende Elemente zum Nachweis des Beleuchtungslichts, welches durch das erste und die jeweiligen dritten Gitter behindert wurde, wobei eine Befestigung an dem anderen der relativbeweglichen Teile erfolgt, und
wobei eine Relativverschiebung zwischen den beiden Teilen mittels einer periodischen Änderung von Nachweissignalen von den lichtempfangenden Elementen nachgewiesen wird.
eine erste Skala des Reflexionstyps aufweist, welche an einem der relativbeweglichen Teile befestigt und mit einem ersten Gitter versehen ist;
eine Lichtquelle zur Aussendung eines nichtkollinierten Beleuchtungslichts; eine mit einem zweiten Gitter versehene zweite Skala zur teilweisen Abschirmung des Beleuchtungslichts von der Lichtquelle und zur Beleuchtung des ersten Gitters, und mehrere dritte Gitter, die eine voneinander verschiedene Phase aufweisen und von dem zweiten Gitter getrennt sind, um das Beleuchtungslicht weiter einzuschränken, welches durch das zweite und erste Gitter eingeschränkt wurde, und mehrere lichtempfangende Elemente zum Nachweis des Beleuchtungslichts, welches durch das erste und die jeweiligen dritten Gitter behindert wurde, wobei eine Befestigung an dem anderen der relativbeweglichen Teile erfolgt, und
wobei eine Relativverschiebung zwischen den beiden Teilen mittels einer periodischen Änderung von Nachweissignalen von den lichtempfangenden Elementen nachgewiesen wird.
Gemäß der vorliegenden Erfindung wird bei dem optischen
Kodierer des Drei-Gitter-Systems, wie er voranstehend
beschrieben wurde, die Teilung P 2 des zweiten Gitters
zur Beleuchtung des ersten Gitters auf einen Wert gesetzt,
der größer ist als die Teilung P 1 des ersten Gitters,
und die Länge des lichtdurchlässigen Abschnitts (hellen
Abschnitts) wird auf einen Wert gesetzt, der kleiner
ist als die Länge der Teilung P 1 des ersten Gitters,
so daß die Inkohärenz zwischen dem Beleuchtungslicht,
das durch das zweite Gitter hindurchgelassen wird, verbessert
und das Signal-Rauschverhältnis des Nachweissignals
erhöht wird. Demzufolge wird die Signalverarbeitung
in einer späteren Stufe erleichtert, und es kann ein
Nachweis der Verschiebung mit hoher Genauigkeit durchgeführt
werden.
Im Einzelnen ist es vorzuziehen, wie in Fig. 1 gezeigt
ist, daß inkohärente sekundäre Lichtquellen, die so wenig
Gemeinsamkeiten miteinander aufweisen wie möglich, auf
hellen Abschnitten 14 B 1, 14 B 2, . . ., 14 Bn des zweiten
Gitters 14 gebildet werden. Mit anderen Worten sind im
Idealfall die sekundären Lichtquellen, die auf den voranstehend
genannten hellen Abschnitten 14 B 1, 14 B 2, . . .,
14 Bn gebildet werden, die sekundären Lichtquellen, die
nicht zueinander kohärent sind. Wenn jedoch das zweite
Gitter 14 durch Verwendung einer lichtemittierenden Diode
(LED) oder einer Lampe als Primärlichtquelle 18 beleuchtet
wird, ist es schwierig, wenn die Intervalle zwischen
den hellen Abschnitten 14 B klein sind, die sekundären
Lichtquellen inkohärent voneinander auszugestalten, und
wenn das erste Gitter 12 in eine Relativbewegung versetzt
wird, wird das Signal-Rauschverhältnis des Nachweissignals
des lichtempfangenden Elements 20 verschlechtert. Daher
wird gemäß der vorliegenden Erfindung die Teilung P 2
des zweiten Gitters auf einen Wert gesetzt, der größer
ist als die Teilung P 1 des ersten Gitters 12, und die
Länge des hellen Abschnitts 14 B des zweiten Gitters 14
wird auf einen Wert gesetzt, der kleiner ist als die
Länge der Teilung P 1 des ersten Gitters 12, so daß die
Intervalle zwischen den hellen Abschnitten 14 B vergrößert
werden, wodurch die Inkohärenz zwischen den sekundären
Lichtquellen verbessert wird.
Genauer gesagt werden, wenn die Teilung P 2 des zweiten
Gitters 14 größer ist als die Teilung P 1 des ersten Gitters
12, die Beugungseigenschaften (der Grad der Schrägbeleuchtung)
des das erste Gitter 12 beleuchtenden Lichtes vergrößert.
Weiterhin gelangt, wenn der helle Abschnitt
14 B des zweiten Gitters 14 klein ist, der helle Abschnitt
14 B eng an die Punktlichtquelle, wodurch die Lichtquelle
äußerst diffus wird. Dies führt dazu, daß es wünschenswert
ist, daß die Teilung P 2 des zweiten Gitters 14 gleich
der Länge der Teilung P 1 des ersten Gitters 12 oder kleiner
als diese ist. Das erste Gitter 12 wird durch das derart
stark diffuse Licht beleuchtet, wodurch die Signalkomponente
PP im Vergleich zur Gleichstromkomponente DC groß
wird, so daß insbesondere das Signal-Rauschverhältnis
verbessert wird.
Gemäß der vorliegenden Erfindung kann, wenn diese Beziehungen
durch nachstehend angegebene allgemeine Formeln
dargestellt werden, ein Gitterbild entsprechend dem geometrischen
System nachgewiesen werden.
P 2 ((u + v)/v) m 1 P 1 P 1 (1)
P 3 ((u + v)/u) n 1 P 1 (2)
Länge des hellen Abschnitts des zweiten Gitters = Länge
der Teilung P 1 des ersten Gitters (3)
u = v = d (beim reflektierenden Typ) (4)
oder
v = luP 1²/(λ u-lP 1²) bei einem Transmissionstyp) (5)
Hier ist m 1 eine positive ganze Zahl größer als 1, und
es wird bevorzugt, daß n 1 eine positive ganze Zahl größer
als 1 ist, also eine natürliche Zahl, und l ist eine
natürliche Zahl.
Weiterhin kann, wenn die voranstehenden Beziehungen durch
die nachstehend angegebenen allgemeinen Formeln gegeben
sind, ein Gitterbild entsprechend dem Beugungssystem
nachgewiesen werden.
P 2 ((u + v)/v) m 2 P 1/2 P 1 (6)
P 3 ((u + v)/u) n 2 P 1/2 (7)
Länge des hellen Abschnitts des zweiten Gitters = Länge
der Teilung P 1 des ersten Gitters (7)
u = v = d (beim reflektierenden Typ) (9)
oder
v = luP 1²/(λ u-lP 1²) bei einem Transmissionstyp) (10)
Hier ist m 2 eine positive ganze Zahl größer als 1, und
vorzugsweise ist n 2 eine positive ungerade Zahl größer
als 1.
Nach den vom Erfinder durchgeführten Versuchen lag der
optimale Bereich des Verhältnisses zwischen der Länge
eines lichtabschirmenden Abschnitts 14 A und der des lichtdurchlässigen
Abschnitts 14 B des zweiten Gitters 14 bei
3 : 1 bis 7 : 1.
Weiterhin ergaben sich gemäß den von dem Erfinder durchgeführten
Versuchen bei der Messung der Signal-Rauschverhältnisse,
ebenso wie bei dem Beispiel nach dem Stand
der Technik, bei 11 Proben mit dem in Fig. 1 dargestellten
geometrischen System Werte der Gitterteilung P 1 des ersten
Gitters 12 = 20 µm
(wobei die Länge des hellen Abschnitts
12 B = der Länge des dunklen Abschnitts 12 A = 12 µm betrug),
der Gitterteilung P 2 des zweiten Gitters 14 von 80 µm
(dies war doppelt so groß wie bei dem konventionellen
Verfahren, und die Länge des hellen Abschnitts 14 B betrug
20 µm und die Länge des dunklen Abschnitts 14 A betrug
60 µm), der Gitterteilung P 3 des dritten Gitters 16 von
40 µm (die Länge des hellen Abschnitts war = der Länge
des dunklen Abschnitts = 20 µm), und des Abstands u zwischen
den Gittern = v = 5 mm. Das Signal-Rauschverhältnis
betrug 25% im niedrigsten, 35% im höchsten Fall und
30,4% im Durchschnitt, so daß bestätigt wurde, daß das
Signal-Rauschverhältnis auf einen etwa doppelt so großen
Wert, verglichen mit dem Beispiel nach dem Stand der
Technik, erhöht wurde.
Bei dem Beugungssystem, welches in Fig. 2 dargestellt
ist, wurden im wesentlichen dieselben Werte wie bei dem
geometrischen System erhalten, wenn folgende Werte verwendet
wurden:
Die Gitterteilung P 1 des ersten Gitters
12 betrug 40 µm (die Länge des hellen Abschnitts 12 B
war = der Länge des dunklen Abschnitts 12 A = 20 µm),
die Gitterteilung P 2 des zweiten Gitters 14 betrug 80 µm
(dies war doppelt so groß wie bei dem konventionellen
Verfahren, und die Länge des hellen Abschnitts 14 B betrug
20 µm und die Länge des dunklen Abschnitts 14 A 60 µm),
die Gitterteilung P 3 des dritten Gitters 16 betrug 40 µm
(die Länge des hellen Abschnitts war = der Länge des
dunklen Abschnitts = 20 µm), und der Abstand der Gitter
u war = v = 5 mm.
Tatsächlich müssen gemäß der vorliegenden Erfindung die
Lichtquelle 18 und das zweite Gitter 14 nicht notwendigerweise
voneinander entfernt sein, und es kann, wie in
Fig. 3 gezeigt ist, eine feldförmige Lichtquelle 30 verwendet
werden, bei welcher die Lichtquellen und das zweite
Gitter miteinander integriert sind. In diesem Fall kann
der Aufbau vereinfacht werden.
Weiterhin müssen das dritte Gitter 16 und die lichtaufnehmenden
Elemente 20 nicht notwendigerweise voneinander
getrennt sein, und es kann, wie aus Fig. 4 hervorgeht,
ein feldförmiges lichtempfangendes Element 32 verwendet
werden, in welchem das dritte Gitter und die lichtempfangenden
Elemente miteinander vereinigt sind. Auch auf
diese Weise läßt sich der Aufbau vereinfachen.
Weiterhin können sowohl die feldförmige Lichtquelle 30
und das feldförmige lichtempfangende Element 32 zur selben
Zeit eingesetzt werden. In diesem Fall ergibt sich eine
weitere Vereinfachung des Aufbaus.
Wenn weiterhin der Reflexions-Kodierer durch Verwendung
des Drei-Gitter-Systems verwirklicht werden soll, wenn
nur das erste Gitter 12 auf einer ersten Skala des Reflexionstyps
erzeugt wird, und das zweite Gitter 14 und das dritte
Gitter 16 auf der zweiten (der dritten) Skala gemeinsam
verwendet werden, dann ist die Gitterteilung P 2 = P 3,
so daß P 2 und P 3 in ihren Werten in Bezug aufeinander
nicht geändert werden können. Demzufolge werden das zweite
Gitter 14 und das dritte Gitter 16 getrennt voneinander
auf der zweiten Skala in voneinander unterschiedlichen
Lagen hergestellt, und weiterhin werden mehrere dritte
Gitter 16 mit voneinander unterschiedlicher Phase hergestellt,
so daß mehrere Lichtempfangssignale erhalten
werden können, die sich in der Phase voneinander unterscheiden.
Mit der voranstehend beschriebenen Anordnung können selbst
bei einem Kodierer des Reflexionstyps die Gitterteilungen
P 2 und P 3 mit voneinander unterschiedlichen Werten gewählt
werden, so daß sich eine höhere Freiheit beim Entwurf
ergibt.
Weiterhin läßt sich ein Kodierer des Reflexionstyps eines
gewünschten Drei-Gitter-Systems verwirklichen, der Kodierer
kann eine geringe Größe aufweisen, verglichen mit dem
Transmissionstyp, und kann einfach auf dem zu messenden
Teil angebracht werden.
Die Erfindung wird nachstehend anhand zeichnerisch dargestellter
Ausführungsbeispiele näher erläutert, aus welchen
sich weitere Vorteile und Merkmale ergeben.
Es zeigen:
Fig. 1 eine schematische Ansicht eines Beispiels, bei
welchem die vorliegende Erfindung bei einem
optischen Kodierer des geometrischen Systems
eingesetzt wird;
Fig. 2 eine schematische Ansicht eines Beispiels, bei
welchem die vorliegende Erfindung bei einem
optischen Kodierer des Beugungssystems eingesetzt
wird;
Fig. 3 eine schematische Ansicht eines Beispiels, bei
welchem eine feldförmige Lichtquelle verwendet
wird;
Fig. 4 eine schematische Ansicht eines Beispiels, bei
welchem das feldförmige lichtempfangende Element
verwendet wird;
Fig. 5 eine Schnittansicht mit einer Darstellung der
Anordnung des wesentlichen Abschnitts einer
Ausführungsform des optischen Kodierers gemäß
der vorliegenden Erfindung;
Fig. 6 eine Schnittansicht entlang der Linie VI-VI
in Fig. 5 mit einer Darstellung der Form des
ersten Gitters der voranstehenden Ausführungsform;
Fig. 7 eine Schnittansicht entlang der Linie VII-VII
in Fig. 5 mit einer Darstellung der Anordnung
des zweiten und des dritten Gitters in der voranstehenden
Ausführungsform;
Fig. 8 und 9 Schnittansichten ähnlich Fig. 7 mit einer
weiteren Anordnung des zweiten und des dritten
Gitters bei der voranstehenden Ausführungsform;
Fig. 10 ein Schaltungsdiagramm mit einer Darstellung
der grundlegenden Anordnung einer Signalverarbeitungsschaltung
der vorstehenden Ausführungsform;
Fig. 11 eine schematische Ansicht der Anordnung eines
konventionellen optischen Kodierers des Drei-Gitter-Systems;
und
Fig. 12 ein Diagramm mit einer Darstellung der Definition
des Signal-Rauschverhältnisses eines Nachweissignals.
Nachstehend werden die Ausführungsformen der vorliegenden
Erfindung unter Bezug auf die beigefügten Zeichnungen
beschrieben.
Die erste Ausführungsform macht deutlich, daß die vorliegende
Erfindung bei dem optischen Kodierer des Reflexionstyps
des geometrischen Systems eingesetzt wird. Wie aus
Fig. 5 hervorgeht, weist der optische Kodierer des Reflexionstyps
gemäß der ersten Ausführungsform folgende Teile
auf:
Eine Hauptskala 40 aus Glas, die als erste Skala an der
Unterseite des Glases in der Figur hergestellt wird,
mit einem ersten Gitter 12 einer Teilung P 1, wobei die
Hauptskala an einem der relativbeweglichen Teile befestigt
ist;
eine aus einer LED oder einer Lampe bestehende Lichtquelle 42 zur Aussendung eines nichtkollimierten Beleuchtungslichts (Wellenlänge λ = 0,8 µm);
eine aus Glas bestehende Indexskala 44, welche eine zweite und eine dritte Skala darstellt, die zusammen verwendet werden, und die auf gegenüberliegenden Seiten der oberen Oberfläche des Glases hergestellt sind mit einem zweiten Gitter 14 einer Teilung P 2, zur teilweisen Abschirmung des Beleuchtungslichts von der Lichtquelle 42 und zur Beleuchtung des ersten Gitters 12 auf der Hauptskala 40, und mit einem dritten Gitter 16 einer Teilung P 3 zur weiteren Beschränkung des Beleuchtungslichts, welches durch das zweite und erste Gitter 14, 12 auf solche Weise behindert wurde, daß das dritte Gitter 16 vor dem zweiten Gitter 14 eingeschoben ist; und
lichtempfangende Elemente 48 zum Nachweis des Beleuchtungslichts, welches durch das erste bis dritte Gitter 12, 14 beziehungsweise 16 behindert wurde, wobei die lichtempfangenden Elemente gegenüberliegend dem dritten Gitter 16 unter Öffnungsteilen 46 befestigt sind, zwischen denen eine Öffnung 46 A zum Durchlassen des Beleuchtungslichts von der Lichtquelle 42 vorgesehen ist; wobei diese Teile sämtlich an dem anderen der relativbeweglichen Teile befestigt sind.
eine aus einer LED oder einer Lampe bestehende Lichtquelle 42 zur Aussendung eines nichtkollimierten Beleuchtungslichts (Wellenlänge λ = 0,8 µm);
eine aus Glas bestehende Indexskala 44, welche eine zweite und eine dritte Skala darstellt, die zusammen verwendet werden, und die auf gegenüberliegenden Seiten der oberen Oberfläche des Glases hergestellt sind mit einem zweiten Gitter 14 einer Teilung P 2, zur teilweisen Abschirmung des Beleuchtungslichts von der Lichtquelle 42 und zur Beleuchtung des ersten Gitters 12 auf der Hauptskala 40, und mit einem dritten Gitter 16 einer Teilung P 3 zur weiteren Beschränkung des Beleuchtungslichts, welches durch das zweite und erste Gitter 14, 12 auf solche Weise behindert wurde, daß das dritte Gitter 16 vor dem zweiten Gitter 14 eingeschoben ist; und
lichtempfangende Elemente 48 zum Nachweis des Beleuchtungslichts, welches durch das erste bis dritte Gitter 12, 14 beziehungsweise 16 behindert wurde, wobei die lichtempfangenden Elemente gegenüberliegend dem dritten Gitter 16 unter Öffnungsteilen 46 befestigt sind, zwischen denen eine Öffnung 46 A zum Durchlassen des Beleuchtungslichts von der Lichtquelle 42 vorgesehen ist; wobei diese Teile sämtlich an dem anderen der relativbeweglichen Teile befestigt sind.
Wie aus Fig. 6 hervorgeht, besteht das erste Gitter 12
aus einer longitudinalen streifenförmigen Abstufung der
Teilung P 1, welche auf der unteren Oberfläche der Hauptskala
40 vorgesehen ist.
Fig. 7 zeigt im Einzelnen, daß das zweite Gitter 14 und
das dritte Gitter 16 so angeordnet sind, daß das zweite
Gitter 14 der Teilung P 2 zur Bereitstellung mehrerer
linearer Lichtquellen im Zentrum der Indexskala 44 vorgesehen
ist, wobei die vier dritten Gitter 16 der Teilung
P 3 jeweils eine Phase A, eine Phase B, eine Phase oder
eine Phase aufweisen und gegeneinander um 90° phasenverschoben
sind, und zwar zur Diskriminierung bezüglich
der Richtung und zur elektrischen Aufteilung von Nachweissignalen,
und auf beiden Seiten des Gitters 14 vorgesehen
sind, und eine abgelagerte Chromoberfläche 50 umgibt
die beiden Gitter, um eine Störung durch etwa Störlicht
zu verhindern. Tatsächlich ist die Anordnung der Phase
A, Phase B, Phase und Phase nicht auf das in Fig. 7
dargestellte Beispiel beschränkt, und es können die
in den Fig. 8, 9 dargestellten sowie andere Anordnungen
vorgesehen werden.
Weiterhin können zwei Phasen eingesetzt werden, wenn
nur eine Diskriminierung bezüglich der Richtung erforderlich
ist und keine Phasenunterteilung.
In Fig. 10 ist ein Schaltkreis zur Verarbeitung von Ausgangssignalen
von den lichtempfindlichen Elementen 48
gezeigt, welcher zwei Phasennachweissignale a erzeugt,
die eine Phase A beziehungsweise eine Phase B aufweisen
und voneinander um 90° phasenverschoben sind. Dieser
Schaltkreis umfaßt:
Widerstände 52 A, 52 , 52 B und 52 und Operationsverstärker
54 A, 54 , 54 B und 54 zum Verstärken der Ausgangssignale
einer Phase A, einer Phase , einer Phase B und
einer Phase von den lichtempfangenden Elementen 48;
und
Widerstände 58 A, 58 , 58 B, 58 , 60 A, 60 B, 62 A und 62 B
und Operationsverstärker 64 A und 64 B zur differentiellen
Verstärkung eines Ausgangssignals einer Phase A und eines
Ausgangssignals einer Phase , oder eines Ausgangssignals
einer Phase B und eines Ausgangssignals einer Phase
, um ein Ausgangssignal einer Phase A oder ein Ausgangssignal
einer Phase B zu erzeugen.
Wenn das geometrische System bei dieser Ausführungsform
eingesetzt wird, so wird die Länge des dunklen Abschnitts
14 A des zweiten Gitters 14 zu 60 µm gewählt, die Länge
des hellen Abschnitts 14 B des zweiten Gitters 14 zu 20 µm,
und die Gitterteilung P 2 zu 80 µm. Die Länge des dunklen
Abschnitts 12 A des ersten Gitters 12 wird zu 10 µm gewählt,
die Länge des hellen Abschnitts 12 B des ersten
Gitters 12 zu 10 µm, die Gitterteilung P 1 zu 20 µm, die
Länge des dunklen Abschnitts des dritten Gitters 16 zu
20 µm, die Länge des hellen Abschnitts des dritten Gitters
16 zu 20 µm, und die Gitterteilung P 3 zu 40 µm. Der Abstand
der Gitter u = v = d wird gewählt zu 0,7 bis 6 mm,
wenn ein Brechungsindex von Glas korrigiert und in den
Wert für Luft umgewandelt wird.
Wenn das bei dieser ersten Ausführungsform erhaltene
Signal-Rauschverhältnis des Nachweissignals experimentell
untersucht wurde, wie voranstehend beschrieben wurde,
so ergab sich das Signal-Rauschverhältnis zu 30,4%,
so daß bestätigt wurde, daß das Signal-Rauschverhältnis
der ersten Ausführungsform verbessert wurde auf einen
etwa doppelt so großen Wert wie bei dem Beispiel nach
dem Stand der Technik, bei dem ansonsten eine Anordnung
wie bei der ersten Ausführungsform verwendet wurde.
Nachstehend wird die zweite Ausführungsform der vorliegenden
Erfindung erläutert, bei welcher die vorliegende
Erfindung bei dem optischen Kodierer des Reflexionstyps
des Beugungssystems eingesetzt wird.
Bei dieser zweiten Ausführungsform wird die Länge des
dunklen Abschnitts 14 A des zweiten Gitters 14 zu 60 µm
gewählt, die Länge des hellen Abschnitts 14 B des zweiten
Gitters 14 zu 20 µm, die Gitterteilung P 2 zu 80 µm, die
Länge des dunklen Abschnitts des ersten Gitters 12 zu
20 µm, die Länge des hellen Abschnitts des ersten Gitters
12 zu 20 µm, die Gitterteilung P 1 zu 40 µm, die Länge
des dunklen Abschnitts des dritten Gitters 16 zu 20 µm,
die Länge des hellen Abschnitts des dritten Gitters 16
zu 20 µm, und die Gitterteilung P 3 zu 40 µm. Der Abstand
der Gitter u = v = d betrug 0,5 mm oder mehr.
Andere Einzelheiten dieser Anordnung sind ähnlich wie
bei der ersten Ausführungsform, so daß auf eine Beschreibung
verzichtet wird.
Bei dieser zweiten Ausführungsform wurde, ähnlich wie
bei der ersten Ausführungsform, bestätigt, daß sich das
Signal-Rauschverhältnis auf einen Wert verbesserte, der
etwa doppelt so hoch lag wie bei dem korrespondierenden
Beispiel nach dem Stand der Technik.
Bei den vorstehend beschriebenen Ausführungsformen
wurde die vorliegende Erfindung bei einem optischen Kodierer
des Reflexionstyps mit einer aus Glas hergestellten
Hauptskala 40 angewendet, allerdings ist der Umfang der
vorliegenden Erfindung nicht hierauf beschränkt, und
es ist offensichtlich, daß die vorliegende Erfindung
bei einem optischen Kodierer des Reflexionstyps einsetzbar
ist, bei welchem die reflektierende Hauptskala aus
Metall hergestellt ist, und bei einem optischen Kodierer
des Transmissionstyps, bei welchem die durchlässige Hauptskala
aus Glas hergestellt ist, wobei das zweite Gitter
14 und das dritte Gitter 16 als zwei Skalen ausgebildet
sind, die auf beiden Seiten der Hauptskala (des ersten
Gitters 12) angeordnet sind, wie in den Fig. 1 bis 4
gezeigt ist.
Weiterhin wurde bei den voranstehend beschriebenen Ausführungsformen
die vorliegende Erfindung bei einem linearen
Kodierer angewendet, jedoch ist der Umfang der vorliegenden
Erfindung auch hierauf nicht beschränkt, und
es ist offensichtlich, daß die vorliegende Erfindung
ebenso bei einem Drehkodierer verwendbar ist.
Claims (10)
1. Optischer Kodierer mit:
einer mit einem ersten Gitter (12) versehenen ersten Skala, welche an einem von zwei relativbeweglichen Teilen befestigt ist;
einer Lichtquelle (18) zur Aussendung nicht kollimiertem Beleuchtungslichts; einer mit einem zweiten Gitter (14) versehenen zweiten Skala zur teilweisen Abschirmung des Beleuchtungslichts von der Lichtquelle und zur Beleuchtung des ersten Gitters; einer mit einem dritten Gitter (16) versehenen dritten Skala zur weiteren Behinderung des Beleuchtungslichts, welches durch das erste und zweite Gitter behindert wurde; und mit einem lichtempfangenden Element (20) zum Nachweis des Beleuchtungslichts, welches durch das erste bis dritte Gitter behindert wurde; wobei die letztgenannten Teile an den anderen der beiden relativbeweglichen Teile befestigt sind,
wobei eine Relativverschiebung zwischen den beiden Teilen aus einer periodischen Änderung eines Nachweissignals von dem lichtempfangenden Element bestimmt wird, dadurch gekennzeichnet, daß eine Teilung (P 2) des zweiten Gitters (14) mit einem Wert gewählt wird, welcher größer als eine Teilung (P 1) des ersten Gitters (12) ist, und daß eine Länge eines lichtdurchlässigen Abschnitts des zweiten Gitters mit einem solchen Wert Gewählt ist, daß dieser geringer ist als die Länge der Teilung (P 1) des ersten Gitters (12).
einer mit einem ersten Gitter (12) versehenen ersten Skala, welche an einem von zwei relativbeweglichen Teilen befestigt ist;
einer Lichtquelle (18) zur Aussendung nicht kollimiertem Beleuchtungslichts; einer mit einem zweiten Gitter (14) versehenen zweiten Skala zur teilweisen Abschirmung des Beleuchtungslichts von der Lichtquelle und zur Beleuchtung des ersten Gitters; einer mit einem dritten Gitter (16) versehenen dritten Skala zur weiteren Behinderung des Beleuchtungslichts, welches durch das erste und zweite Gitter behindert wurde; und mit einem lichtempfangenden Element (20) zum Nachweis des Beleuchtungslichts, welches durch das erste bis dritte Gitter behindert wurde; wobei die letztgenannten Teile an den anderen der beiden relativbeweglichen Teile befestigt sind,
wobei eine Relativverschiebung zwischen den beiden Teilen aus einer periodischen Änderung eines Nachweissignals von dem lichtempfangenden Element bestimmt wird, dadurch gekennzeichnet, daß eine Teilung (P 2) des zweiten Gitters (14) mit einem Wert gewählt wird, welcher größer als eine Teilung (P 1) des ersten Gitters (12) ist, und daß eine Länge eines lichtdurchlässigen Abschnitts des zweiten Gitters mit einem solchen Wert Gewählt ist, daß dieser geringer ist als die Länge der Teilung (P 1) des ersten Gitters (12).
2. Optischer Kodierer nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet,
daß die Lichtquelle (18) eine
lichtemittierende Diode oder eine Lampe ist.
3. Optischer Kodierer nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet,
daß die Teilung (P 2) des zweiten
Gitters (14), eine Teilung (P 3) des dritten Gitters (16),
ein Abstand u der Gitter zwischen dem ersten Gitter (12)
und dem zweiten Gitter sowie ein Abstand (v) der Gitter
zwischen dem ersten Gitter und dem dritten Gitter (16)
auf Werte gesetzt sind, welche weiterhin die nachstehend
angegebenen Beziehungen erfüllen, wodurch ein Gitterbild
entsprechend dem geometrischen System des Reflexionstyps
nachgewiesen wird:
P 2 ((u + v)/v) m 1 P 1 P 1
P 3 ((u + v)/u) n 1 P 1
u = vwobei m 1 und n 1 natürliche Zahlen mit m 1 < 1 und n 1 1 sind.
P 3 ((u + v)/u) n 1 P 1
u = vwobei m 1 und n 1 natürliche Zahlen mit m 1 < 1 und n 1 1 sind.
4. Optischer Kodierer nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet,
daß die Teilung (P 2) des zweiten
Gitters (14), eine Teilung (P 3) des dritten Gitters (16),
ein Abstand (u) der Gitter zwischen dem ersten Gitter
(12) und dem zweiten Gitter, sowie ein Abstand (v) der
Gitter zwischen dem ersten Gitter und dem dritten Gitter
auf Werte gesetzt sind, welche weiterhin die nachstehenden
Beziehungen erfüllen, wodurch ein Gitterbild gemäß dem
geometrischen System des Transmissionstyps nachgewiesen
wird,
P 2 ((u + v)/v) m 1 P 1 P 1
P 3 ((u + v)/u) n 1 P 1
v = luP 1²/(λ u-lP 1²)wobei m 1, n 1 und 1natürliche Zahlen mit m 1 < 1, n 1 1 und l 1 sind und λ eine effektive Wellenlänge der Lichtquelle ist.
P 3 ((u + v)/u) n 1 P 1
v = luP 1²/(λ u-lP 1²)wobei m 1, n 1 und 1natürliche Zahlen mit m 1 < 1, n 1 1 und l 1 sind und λ eine effektive Wellenlänge der Lichtquelle ist.
5. Optischer Kodierer nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet,
daß die Teilung (P 2) des
zweiten Gitters (14), eine Teilung (P 3) des dritten Gitters
(16), ein Abstand (u) der Gitter zwischen dem ersten
Gitter (12) und dem zweiten Gitter sowie ein Abstand
(v) der Gitter zwischen dem ersten Gitter und dem dritten
Gitter auf Werte gesetzt sind, die weiterhin die nachstehend
angegebenen Beziehungen erfüllen, wodurch ein
Gitterbild entsprechend dem Beugungssystem des Reflexionstyps
nachgewiesen wird:
P 2 ((u + v)/v) m 2 P 1/2 P 1
P 3 ((u + v)/u) n 2 P 1/2
u = vwobei m 2 eine natürliche Zahl mit m 2 < 1 und n 2 eine positive ungerade Zahl mit n 2 1 ist.
P 3 ((u + v)/u) n 2 P 1/2
u = vwobei m 2 eine natürliche Zahl mit m 2 < 1 und n 2 eine positive ungerade Zahl mit n 2 1 ist.
6. Optischer Kodierer nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet,
daß die Teilung (P 2) des zweiten
Gitters (14), eine Teilung (P 3) des dritten Gitters (16),
ein Abstand (u) der Gitter zwischen dem ersten Gitter
(12) und dem zweiten Gitter sowie ein Abstand (v) der
Gitter zwischen dem ersten Gitter und dem dritten Gitter
auf Werte gesetzt sind, die weiterhin die nachstehend
angegebenen Beziehungen erfüllen, wodurch ein Gitterbild
entsprechend dem Beugungssystem des Transmissionstyps
nachgewiesen wird:
P 2 ((u + v)/v) m 2 P 1/2 P 1
P 3 ((u + v)/u) n 2 P 1/2
v = luP 1²/(λ u-lP 1²)wobei m 2 eine natürliche Zahl ist mit m 2 < 1, n 2 eine positive ungerade Zahl mit n 2 1, l eine natürliche Zahl und λ eine effektive Wellenlänge der Lichtquelle.
P 3 ((u + v)/u) n 2 P 1/2
v = luP 1²/(λ u-lP 1²)wobei m 2 eine natürliche Zahl ist mit m 2 < 1, n 2 eine positive ungerade Zahl mit n 2 1, l eine natürliche Zahl und λ eine effektive Wellenlänge der Lichtquelle.
7. Optischer Kodierer nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet,
daß die Lichtquelle und das
zweite Gitter einstückig miteinander zur Ausbildung einer
feldförmigen Lichtquelle (30) ausgebildet sind.
8. Optischer Kodierer nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet,
daß das dritte Gitter und das
lichtempfangende Element einstückig miteinander zur Erzeugung
eines feldförmigen lichtempfangenden Elements
(32) ausgebildet sind.
9. Optischer Kodierer des Reflexionstyps, gekennzeichnet
durch:
eine reflektierende erste Skala (40), die an einem von relativbeweglichen Teilen befestigt und mit einem ersten Gitter (12) versehen ist;
eine Lichtquelle (42) zur Aussendung nichtkollimierten Beleuchtungslicht; eine mit einem zweiten Gitter (14) versehene zweite Skala (44) zur teilweisen Abschirmung des Beleuchtungslichts von der Lichtquelle und zur Beleuchtung des ersten Gitters und mehrere dritter Gitter (16), die eine voneinander unterschiedliche Phase aufweisen und getrennt von dem zweiten Gitter angeordnet sind, um das Beleuchtungslicht weiter zu behindern, welches durch das zweite und das erste Gitter behindert wurde; und mehrere lichtempfindliche Elemente zum Nachweis des Beleuchtungslichts, welches durch das erste bis dritte Gitter behindert wurde; wobei die voranstehend genannten Teile an dem anderen der relativbeweglichen Teile befestigt sind,
wobei eine Relativverschiebung zwischen den beiden Teilen aus einer periodischen Änderung von Nachweissignalen der lichtempfindlichen Elemente bestimmt wird.
eine reflektierende erste Skala (40), die an einem von relativbeweglichen Teilen befestigt und mit einem ersten Gitter (12) versehen ist;
eine Lichtquelle (42) zur Aussendung nichtkollimierten Beleuchtungslicht; eine mit einem zweiten Gitter (14) versehene zweite Skala (44) zur teilweisen Abschirmung des Beleuchtungslichts von der Lichtquelle und zur Beleuchtung des ersten Gitters und mehrere dritter Gitter (16), die eine voneinander unterschiedliche Phase aufweisen und getrennt von dem zweiten Gitter angeordnet sind, um das Beleuchtungslicht weiter zu behindern, welches durch das zweite und das erste Gitter behindert wurde; und mehrere lichtempfindliche Elemente zum Nachweis des Beleuchtungslichts, welches durch das erste bis dritte Gitter behindert wurde; wobei die voranstehend genannten Teile an dem anderen der relativbeweglichen Teile befestigt sind,
wobei eine Relativverschiebung zwischen den beiden Teilen aus einer periodischen Änderung von Nachweissignalen der lichtempfindlichen Elemente bestimmt wird.
10. Optischer Kodierer nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet,
daß eine Teilung (P 2) des zweiten
Gitters (14) auf einen Wert gesetzt ist, welcher größer
ist als eine Teilung (P 1) des ersten Gitters (12), und
daß die Länge des lichtdurchlässigen Abschnitts des zweiten
Gitters (14) auf einen Wert gesetzt ist, der geringer
ist als die Teilung (P 1) des ersten Gitters (12).
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2203188 | 1988-02-22 | ||
JP1988130027U JPH07888Y2 (ja) | 1988-02-22 | 1988-10-04 | 光学式変位検出器 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE3904898A1 true DE3904898A1 (de) | 1989-08-31 |
DE3904898C2 DE3904898C2 (de) | 1997-11-27 |
Family
ID=26359189
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE3904898A Expired - Fee Related DE3904898C2 (de) | 1988-02-22 | 1989-02-17 | Optischer Kodierer |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (2) | US5026164A (de) |
JP (1) | JPH07888Y2 (de) |
CN (1) | CN1015407B (de) |
DE (1) | DE3904898C2 (de) |
GB (1) | GB2216256B (de) |
IN (1) | IN171487B (de) |
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
FR2655142A1 (fr) * | 1989-11-24 | 1991-05-31 | Ricoh Kk | Procede et appareil de mesure de mouvement par des moyens optiques. |
DE4391632T1 (de) * | 1992-04-09 | 1994-05-05 | Mitutoyo Corp | X-Y-Tischvorrichtung |
DE19527287A1 (de) * | 1995-07-26 | 1997-01-30 | Zeiss Carl Jena Gmbh | Fotoelektrisches Weg- und Winkelmeßsystem zum Messen der Verschiebung zweier Objekte zueinander |
US6552810B1 (en) | 1999-02-04 | 2003-04-22 | Dr. Johannes Hiedenhein Gmbh | Optical measuring system |
US6794637B1 (en) | 1999-04-22 | 2004-09-21 | Dr. Johannas Heidenhain Gmbh | Optical device for measuring position |
DE19754595B4 (de) * | 1997-12-10 | 2011-06-01 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh | Lichtelektrische Positionsmeßeinrichtung |
EP2570780A3 (de) * | 2011-09-13 | 2017-01-11 | Dr. Johannes Heidenhain GmbH | Rotatorische Positionsmesseinrichtung |
Families Citing this family (41)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5204524A (en) * | 1991-03-22 | 1993-04-20 | Mitutoyo Corporation | Two-dimensional optical encoder with three gratings in each dimension |
US5198663A (en) * | 1991-04-03 | 1993-03-30 | Mitutoyo Corporation | Angular velocity sensor with displacement scale and sensor means |
DE4206544A1 (de) * | 1992-03-02 | 1993-09-09 | Lpkf Cad Cam Systeme In Thueri | Zweikoordinaten-wegmesssystem |
US5390022A (en) | 1992-04-07 | 1995-02-14 | Canon Kabushiki Kaisha | Displacement information detection apparatus for receiving a divergent light beam |
JPH06160114A (ja) * | 1992-11-26 | 1994-06-07 | Ono Sokki Co Ltd | エンコーダ |
JP3210111B2 (ja) * | 1992-12-24 | 2001-09-17 | キヤノン株式会社 | 変位検出装置 |
JPH06194123A (ja) * | 1992-12-24 | 1994-07-15 | Canon Inc | 変位検出装置 |
JP3005131B2 (ja) * | 1992-12-28 | 2000-01-31 | キヤノン株式会社 | 変位検出装置 |
US5652426A (en) * | 1993-04-19 | 1997-07-29 | Ricoh Company, Ltd. | Optical encoder having high resolution |
DE4323712C2 (de) * | 1993-07-15 | 1997-12-11 | Heidenhain Gmbh Dr Johannes | Lichtelektrische Längen- oder Winkelmeßeinrichtung |
JP2965444B2 (ja) * | 1993-10-01 | 1999-10-18 | 株式会社ミツトヨ | 定圧型測定機 |
JP3196459B2 (ja) * | 1993-10-29 | 2001-08-06 | キヤノン株式会社 | ロータリーエンコーダ |
JP3256628B2 (ja) * | 1994-05-23 | 2002-02-12 | 株式会社リコー | エンコーダ装置 |
JPH08178702A (ja) * | 1994-12-27 | 1996-07-12 | Canon Inc | 光学式センサ |
JP3808516B2 (ja) * | 1994-12-27 | 2006-08-16 | シグマテック株式会社 | 位置決め装置 |
JP3631551B2 (ja) * | 1996-01-23 | 2005-03-23 | 株式会社ミツトヨ | 光学式エンコーダ |
US5955727A (en) * | 1996-09-10 | 1999-09-21 | Harmonic Drive Systems, Inc. | Optical encoder having a shade layer made from photosensitive material |
JP3429961B2 (ja) * | 1996-11-05 | 2003-07-28 | 株式会社ミツトヨ | 光学式エンコーダ |
DE19726935B4 (de) * | 1997-06-25 | 2014-06-12 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh | Optische Positionsmeßeinrichtung |
US6279248B1 (en) | 1999-09-22 | 2001-08-28 | Central Purchasing, Inc. | Digital measuring system having a multi-row encoder disk |
JP4658452B2 (ja) * | 2003-02-07 | 2011-03-23 | オリンパス株式会社 | 光学式エンコーダ |
KR100821441B1 (ko) * | 2004-03-03 | 2008-04-11 | 미쓰비시덴키 가부시키가이샤 | 광학식 인코더 |
JP4880893B2 (ja) * | 2004-11-08 | 2012-02-22 | 株式会社ミツトヨ | 光電式エンコーダ |
EP1701138B1 (de) * | 2005-03-11 | 2016-02-17 | Mitutoyo Corporation | Fotoelektrischer Kodierer |
CN100346186C (zh) * | 2005-09-13 | 2007-10-31 | 浙江大学 | 多模干涉型光学逻辑编码器 |
JP5113000B2 (ja) * | 2008-09-19 | 2013-01-09 | 株式会社ミツトヨ | 光電式エンコーダ |
JP5562076B2 (ja) * | 2010-03-10 | 2014-07-30 | キヤノン株式会社 | 光学式エンコーダおよび変位計測装置 |
WO2011112760A2 (en) * | 2010-03-11 | 2011-09-15 | Stratasys, Inc. | Optical encoder |
US8997369B2 (en) | 2012-05-15 | 2015-04-07 | Mitutoyo Corporation | Fast rotary drive for a handheld micrometer |
US8739428B2 (en) | 2012-07-03 | 2014-06-03 | Mitutoyo Corporation | Constant force spring actuator for a handheld micrometer |
US9377282B2 (en) | 2013-09-03 | 2016-06-28 | Mitutoyo Corporation | Method for validating a workpiece measurement in a dimensional metrology hand tool |
CN111089612B (zh) * | 2014-09-24 | 2022-06-21 | 原相科技股份有限公司 | 光学传感器及光学感测系统 |
US9482509B2 (en) | 2014-12-12 | 2016-11-01 | Mitutoyo Corporation | Ergonomic micrometer including two modes of adjustment |
CN104783762A (zh) * | 2015-04-23 | 2015-07-22 | 天津大学 | 一种位置正弦波频率编码的成像光测量装置 |
US9689715B2 (en) * | 2015-05-19 | 2017-06-27 | Mitutoyo Corporation | Light source array used in an illumination portion of an optical encoder |
JP6664155B2 (ja) | 2015-06-11 | 2020-03-13 | 株式会社ミツトヨ | 光学式エンコーダ |
CN105547162A (zh) * | 2016-01-18 | 2016-05-04 | 梁磊 | 一种集成式称重卷尺测量工具及其测量方法 |
CN105973287B (zh) * | 2016-05-04 | 2018-07-06 | 广东工业大学 | 一种多轨绝对光栅尺图像编码解码方法 |
US11422292B1 (en) * | 2018-06-10 | 2022-08-23 | Apple Inc. | Super-blazed diffractive optical elements with sub-wavelength structures |
US11754767B1 (en) | 2020-03-05 | 2023-09-12 | Apple Inc. | Display with overlaid waveguide |
US20210348954A1 (en) * | 2020-05-08 | 2021-11-11 | Canon Kabushiki Kaisha | Optical encoder and control apparatus |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3812352A (en) * | 1972-08-28 | 1974-05-21 | Itek Corp | Encoder readout system |
US3842261A (en) * | 1973-12-20 | 1974-10-15 | Itek Corp | Optical encoder using diffraction imagery in a reflective mode |
EP0163362A1 (de) * | 1984-05-31 | 1985-12-04 | Dr. Johannes Heidenhain GmbH | Vorrichtung und Verfahren zum Messen von Verschiebungen |
Family Cites Families (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3768911A (en) * | 1971-08-17 | 1973-10-30 | Keuffel & Esser Co | Electro-optical incremental motion and position indicator |
US4049965A (en) * | 1975-03-06 | 1977-09-20 | National Research Development Corporation | Measurement apparatus |
GB1516536A (en) * | 1975-08-22 | 1978-07-05 | Ferranti Ltd | Measuring apparatus |
DE2826213B2 (de) * | 1978-06-15 | 1980-06-04 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut | Photoelektrisches inkrementales Längen- und Winkelmeßsystem |
FR2433949A1 (fr) * | 1978-08-25 | 1980-03-21 | Commissariat Energie Atomique | Substrat hydrophobe apte a liberer une substance chimique |
JPS57157115A (en) * | 1981-03-24 | 1982-09-28 | Mitsutoyo Mfg Co Ltd | Photoelectric type encoder |
JPS57157118A (en) * | 1981-03-24 | 1982-09-28 | Mitsutoyo Mfg Co Ltd | Photoelectric type displacement detecting device |
JPS6142416U (ja) * | 1985-07-04 | 1986-03-19 | 株式会社ミツトヨ | 光電型エンコ−ダ |
GB8615196D0 (en) * | 1986-06-21 | 1986-07-23 | Renishaw Plc | Opto-electronic scale reading apparatus |
GB2195179B (en) * | 1986-09-11 | 1991-05-15 | Synergy Computer Graphics | Registration system for a moving substrate |
-
1988
- 1988-10-04 JP JP1988130027U patent/JPH07888Y2/ja not_active Expired - Lifetime
-
1989
- 1989-02-08 IN IN118/CAL/89A patent/IN171487B/en unknown
- 1989-02-10 US US07/308,465 patent/US5026164A/en not_active Expired - Lifetime
- 1989-02-17 DE DE3904898A patent/DE3904898C2/de not_active Expired - Fee Related
- 1989-02-20 GB GB8903837A patent/GB2216256B/en not_active Expired - Fee Related
- 1989-02-22 CN CN89101853.0A patent/CN1015407B/zh not_active Expired
-
1990
- 1990-12-27 US US07/634,545 patent/US5067816A/en not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3812352A (en) * | 1972-08-28 | 1974-05-21 | Itek Corp | Encoder readout system |
US3842261A (en) * | 1973-12-20 | 1974-10-15 | Itek Corp | Optical encoder using diffraction imagery in a reflective mode |
EP0163362A1 (de) * | 1984-05-31 | 1985-12-04 | Dr. Johannes Heidenhain GmbH | Vorrichtung und Verfahren zum Messen von Verschiebungen |
Non-Patent Citations (3)
Title |
---|
Journal of the Optical Society of America, 1965, Bd. 55, Nr. 4, S. 373-381 * |
Society of Photooptical Instrumentation Engineers (SPIE), Bd. 136, 1st European Congress on Optics Applied to Metrology (1977) S. 325-331 * |
Wilhelm, Jörg, Dissertation: Dreigitterschrittgeber TV Hannover 1978, Kapitel 2.4.1 * |
Cited By (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5355220A (en) * | 1989-11-13 | 1994-10-11 | Ricoh Company, Ltd. | Optical movement measuring method and apparatus using interference fringes generated by overlapping spots of diffracted lights of different orders of diffraction from a line source |
FR2655142A1 (fr) * | 1989-11-24 | 1991-05-31 | Ricoh Kk | Procede et appareil de mesure de mouvement par des moyens optiques. |
DE4391632T1 (de) * | 1992-04-09 | 1994-05-05 | Mitutoyo Corp | X-Y-Tischvorrichtung |
DE4391632C2 (de) * | 1992-04-09 | 2002-05-02 | Mitutoyo Corp | X-Y-Tischvorrichtung |
DE19527287A1 (de) * | 1995-07-26 | 1997-01-30 | Zeiss Carl Jena Gmbh | Fotoelektrisches Weg- und Winkelmeßsystem zum Messen der Verschiebung zweier Objekte zueinander |
WO1997005457A1 (de) * | 1995-07-26 | 1997-02-13 | Carl Zeiss Jena Gmbh | Fotoelektrisches weg- und winkelmesssystem zum messen der verschiebung zweier objekte zueinander |
DE19527287C2 (de) * | 1995-07-26 | 2000-06-29 | Heidenhain Gmbh Dr Johannes | Fotoelektrisches Weg- und Winkelmeßsystem zum Messen der Verschiebung zweier Objekte zueinander |
DE19754595B4 (de) * | 1997-12-10 | 2011-06-01 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh | Lichtelektrische Positionsmeßeinrichtung |
US6552810B1 (en) | 1999-02-04 | 2003-04-22 | Dr. Johannes Hiedenhein Gmbh | Optical measuring system |
US6794637B1 (en) | 1999-04-22 | 2004-09-21 | Dr. Johannas Heidenhain Gmbh | Optical device for measuring position |
EP2570780A3 (de) * | 2011-09-13 | 2017-01-11 | Dr. Johannes Heidenhain GmbH | Rotatorische Positionsmesseinrichtung |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH07888Y2 (ja) | 1995-01-11 |
DE3904898C2 (de) | 1997-11-27 |
GB8903837D0 (en) | 1989-04-05 |
CN1036633A (zh) | 1989-10-25 |
GB2216256A (en) | 1989-10-04 |
GB2216256B (en) | 1992-08-19 |
US5026164A (en) | 1991-06-25 |
JPH01180615U (de) | 1989-12-26 |
CN1015407B (zh) | 1992-02-05 |
IN171487B (de) | 1992-10-31 |
US5067816A (en) | 1991-11-26 |
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