DE4422641C2 - Optisches Wellenmeßgerät - Google Patents
Optisches WellenmeßgerätInfo
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- G01J9/02—Measuring optical phase difference; Determining degree of coherence; Measuring optical wavelength by interferometric methods
Description
Die vorliegende Erfindung betrifft optische Wellenmeßgeräte,
und spezieller, optische Wellenmeßgeräte, die die zu mes
sende Lichtwellenlänge mit Hilfe eines Interferometers
bestimmen.
Ein Beispiel des Aufbaus eines konventionellen optischen
Wellenmeßgerätes wird unter Bezugnahme auf Fig. 6 erklärt.
In Fig. 6 sind ein Strahlenteiler 1, feststehende Spiegel 2
und 3, ein beweglicher Spiegel 4, ein beweglicher Tisch 5,
eine Führungsschiene 6, Lichtempfänger 7 und 8, eine Licht
quelle 9, eine Vorrichtung 10 zur Berechnung der Wellen
länge, und eine Referenzlichtquelle 11 dargestellt. Der
bewegliche Spiegel 4 ist auf dem beweglichen Tisch 5 ange
bracht. Der bewegliche Tisch 5 und die Führungsschiene 6
bilden einen linearen Bewegungsmechanismus 12, der den
beweglichen Spiegel 4 parallel zur Richtung einer optischen
Achse eines Lichtes bewegt, das in den beweglichen Spiegel 4
eingespeist wird. Die Wellenlänge des Lichtes, das von der
Lichtquelle 9 ausgestrahlt wird, soll gemessen werden.
Ein Referenzlicht LS mit bekannter Wellenlänge, das von der
Referenzlichtquelle 11 ausgestrahlt wird, wird in ein
reflektiertes Licht LR1 und ein durchtretendes Licht LP1
durch den Strahlenteiler 1 geteilt. Das reflektierte Licht
LR1 wird durch den feststehenden Spiegel 2 reflektiert,
tritt dann durch den Strahlenteiler 1, und wird anschließend
vom Lichtempfänger 7 empfangen. Das durchtretende Licht LP1
wird durch den beweglichen Spiegel 4 und den Strahlenteiler
1 reflektiert und wird dann durch den Lichtempfänger 7
empfangen. Wenn das reflektierte Licht LR1 und das durchtre
tende Licht LP1 vom Lichtempfänger 7 empfangen werden, wird,
da das reflektierte Licht LR1 und das durchtretende Licht
LP1 miteinander im Lichtempfänger 7 in Interferenz treten,
ein elektrisches Signal S₁ in Abhängigkeit von der Intensi
tät des Interferenzlichtes vom Lichtempfänger 7 zur Vorrich
tung 10 zur Berechnung der Wellenlänge übertragen.
Ein Licht LM unbekannter Wellenlänge aus der Lichtquelle 9,
die gemessen werden soll, wird durch den feststehenden
Spiegel 3 reflektiert, wobei es in ein reflektiertes Licht
LR2 und ein durchtretendes Licht LP2 durch den
Strahlenteiler 1 aufgeteilt wird. Das reflektierte Licht LR2
wird durch den feststehenden Spiegel 2 reflektiert, tritt
dann durch den Strahlenteiler 1, und wird anschließend vom
Lichtempfänger 8 empfangen. Das durchtretende Licht LP2 wird
durch den beweglichen Spiegel 4 und den Strahlenteiler 1
reflektiert, und wird dann vom Lichtempfänger 8 empfangen.
Wenn das reflektierte Licht LR2 und das durchtretende Licht
LP2 vom Lichtempfänger 8 empfangen werden, wird, da das
reflektierte Licht LR2 und das durchtretende Licht LP2 im
Lichtempfänger 8 miteinander in Interferenz treten, ein
elektrisches Signal S₂ in Abhängigkeit von der Intensität
des Interferenzlichtes vom Lichtempfänger 8 zur Vorrichtung
10 zur Berechnung der Wellenlänge übertragen.
Wenn der bewegliche Tisch 5 auf der Führungsschiene 6 in
linearer Bewegung in der Richtung, die durch einen Pfeil in
Fig. 6 angegeben wird, bewegt wird, bewegt sich der
bewegliche Spiegel 4 aufgrund der Bewegung des beweglichen
Tisches 5, und die elektrischen Signale S₁ und S₂ variieren
in Antwort auf die periodische Änderung der Intensität der
Interferenzlichter, die durch die Bewegung des beweglichen
Spiegels 4 verursacht werden. Da jede Wellenlänge der
elektrischen Signale S₁ und S₂ jeder Wellenlänge des
Referenzlichtes LS bzw. des Lichtes LM entspricht, wird,
wenn der Verfahrweg des linearen Bewegungsmechanismus 12
wahlweise eingestellt wird, die Wellenzahl der elektrischen
Signale S₁ und S₂ in der Vorrichtung 10 zur Berechnung der
Wellenlänge errechnet. Die Wellenlänge des Lichtes Lm kann
dann aufgrund der Formeln (1) und (2) erhalten werden.
L=λ1*k=n*λ2 (1)
λ1=n*λ2/k (2)
In den Formeln (1) und (2) ist L ein wahlweise eingestellter
Verfahrweg, λ1 und λ2 ist die Wellenlänge des Lichtes LM und
des Referenzlichtes LS, und n und k ist die Wellenzahl der
elektrischen Signale S₁ und S₂ Fig. 7 zeigt ein Beispiel
der Wellenformen der elektrischen Signale S₁ und S₂. In Fig.
7 stellt die vertikale Achse einen Strom dar und die
horizontale Achse den Verfahrweg des beweglichen Tisches 5.
Wie in Fig. 7 dargestellt, verändert sich der Strom der
elektrischen Signale S₁ und S₂ in Abhängigkeit vom
Verfahrweg L des Bewegungsmechanismus 12.
Im oben beschriebenen konventionellen optischen Wellenmeß
gerät muß eine Referenzlichtquelle 11, die das Referenzlicht
LS mit bekannter Wellenlänge ausstrahlt, verwendet werden,
um die Wellenlänge des zu bestimmenden Lichtes genau zu
messen. Da der Resonator der vorliegenden Referenzlicht
quelle 11 lang ist, besteht daher ein Nachteil darin, daß
das gesamte Gerät groß ist. Darüberhinaus ist die
Einstellung der optischen Achse im oben erwähnten
konventionellen optischen Wellenmeßgerät kompliziert, da
sowohl das Referenzlicht LS als auch das Licht LM beide in
den Strahlenteiler 1 eingespeist werden. Desweiteren, da der
Durchmesser des Resonators in der Referenzlichtquelle 11
ebenfalls groß ist, wenn sowohl die Referenzlichtquelle LS
als auch das Licht LM in den Strahlenteiler 1 eingespeist
werden, muß zusätzlich der optische Weg des Referenzlichtes
LS oder des Lichtes LM, unter Verwendung des feststehenden
Spiegels 3 oder ähnlichem verändert werden, um diese in den
Strahlenteiler 1 einzuspeisen. Dementsprechend wird die
Einstellung der optischen Achse weiter verkompliziert.
Konventionelle optische Wellenlängenmeßgeräte, die auf
dem Prinzip des Michelson-Interferometers beruhen und
Interferenzerscheinungen zwischen dem zu messenden Licht
unbekannter Wellenlänge und einem Bezugslicht bekannter
Wellenlänge als physikalisches Messungsprinzip verwenden,
sind beispielsweise aus der Offenlegung EP-A-0 478 785 und
der US-Patentschrift Nr. 4 165 183 bekannt. Im US-Patent Nr.
4 165 183 ist insbesondere ein Beispiel eine optische Bank
mit einem linear beweglichen Tisch offenbart, der eine
reflektierende Prismenkombination trägt, die entlang der
optischen Achse verfahren wird.
Beide konventionellen Vorrichtungen unterliegen jedoch
den obengenannten prinzipiellen Einschränkungen.
In Anbetracht der obengenannten Probleme ist es eine Aufgabe
der vorliegenden Erfindung, ein optisches Wellenmeßgerät zur
Verfügung zu stellen, bei dem es einfach ist, eine optische
Achse eines Lichtes von unbekannter Wellenlänge, die
gemessen werden soll, einzustellen, und das eine kompakte
Konstruktion aufweist, ohne Referenzlichtquelle oder ohne
feststehenden Spiegel zur Veränderung des optischen Weges.
Zur Lösung dieser Aufgabe stellt die vorliegende Erfindung
ein optisches Wellenmeßgerät zur Verfügung, mit:
einem Strahlenteiler zur Aufteilung eines Lichtes mit einer Wellenlänge, die gemessen werden soll, in ein erstes und ein zweites Licht;
einem feststehenden Spiegel zur Reflexion des ersten Lichtes, so daß dieses in den Strahlenteiler zurück einge speist wird;
einem beweglichen Spiegel zur Reflexion des zweiten Lichtes, so daß dieses in den Strahlenteiler zurück einge speist wird;
einem linearen Bewegungsmechanismus mit einem bewegli chen Tisch, auf dem der bewegliche Spiegel angebracht ist, wobei der Tisch zur Bewegung des beweglichen Spiegels paral lel zur Richtung einer optischen Achse eines Lichtes, das in den beweglichen Spiegel eingespeist wird, ausgebildet ist;
einem ersten Lichtempfänger zur Umwandlung eines Interferenzlichtes in ein elektrisches Signal, wobei das Interferenzlicht durch das Zusammenführen eines Lichtes über den Strahlenteiler und den feststehenden Spiegel mit einem Licht über den Strahlenteiler und den beweglichen Spiegel erzeugt wird;
einer Längenmeßvorrichtung zur Bestimmung des Verfahr weges des beweglichen Tisches; und
einer Vorrichtung zur Berechnung der zu messenden Lichtwellenlänge, wobei die Berechnung der Wellenlänge aufgrund der Wellenzahl des elektrischen Signals und des Verfahrweges erfolgt,
dadurch gekennzeichnet, daß die Längenmeßvorrichtung folgendes umfaßt: eine Lichtquelle, ein festes Glasgitter, ein bewegliches Glasgitter, einen zweiten Lichtempfänger und eine Vorrichtung zur Entfernungsberechnung.
einem Strahlenteiler zur Aufteilung eines Lichtes mit einer Wellenlänge, die gemessen werden soll, in ein erstes und ein zweites Licht;
einem feststehenden Spiegel zur Reflexion des ersten Lichtes, so daß dieses in den Strahlenteiler zurück einge speist wird;
einem beweglichen Spiegel zur Reflexion des zweiten Lichtes, so daß dieses in den Strahlenteiler zurück einge speist wird;
einem linearen Bewegungsmechanismus mit einem bewegli chen Tisch, auf dem der bewegliche Spiegel angebracht ist, wobei der Tisch zur Bewegung des beweglichen Spiegels paral lel zur Richtung einer optischen Achse eines Lichtes, das in den beweglichen Spiegel eingespeist wird, ausgebildet ist;
einem ersten Lichtempfänger zur Umwandlung eines Interferenzlichtes in ein elektrisches Signal, wobei das Interferenzlicht durch das Zusammenführen eines Lichtes über den Strahlenteiler und den feststehenden Spiegel mit einem Licht über den Strahlenteiler und den beweglichen Spiegel erzeugt wird;
einer Längenmeßvorrichtung zur Bestimmung des Verfahr weges des beweglichen Tisches; und
einer Vorrichtung zur Berechnung der zu messenden Lichtwellenlänge, wobei die Berechnung der Wellenlänge aufgrund der Wellenzahl des elektrischen Signals und des Verfahrweges erfolgt,
dadurch gekennzeichnet, daß die Längenmeßvorrichtung folgendes umfaßt: eine Lichtquelle, ein festes Glasgitter, ein bewegliches Glasgitter, einen zweiten Lichtempfänger und eine Vorrichtung zur Entfernungsberechnung.
Besonders vorteilhaft gestattet die vorliegende Erfindung
die leichte Einstellung, in einem optischen Wellenmeßgerät,
einer optische Achse eines Lichtes unbekannter Wellenlänge,
die gemessen werden soll. Desweiteren kann das erfindungs
gemäße Wellenmeßgerät eine kompakte Konstruktion aufweisen,
ohne Referenzlichtquelle und ohne feststehenden Spiegel zur
Veränderung des optischen Weges.
Weitere Aufgaben und Vorteile der vorliegenden Erfindung
ergeben sich aus der nachfolgenden Beschreibung unter Bezug
nahme auf die beigefügten detaillierten Figuren, wobei die
bevorzugten Ausführungsformen der vorliegenden Erfindung
deutlich werden und wobei:
Fig. 1 eine schematische Darstellung des Aufbaus eines
optischen Wellenmeßgerätes zeigt, basierend auf einer ersten
bevorzugten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung,
Fig. 2 eine Seitenansicht des Aufbaus eines linearen
Bewegungsmechanismus 23 aus Fig. 1 zeigt,
Fig. 3 eine schräge Teilansicht des Aufbaus einer
Längenmeßvorrichtung 25 zeigt,
Fig. 4 eine schematische Darstellung des Aufbaus eines
optischen Wellenmeßgerätes zeigt, basierend auf einer zwei
ten bevorzugten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung,
Fig. 5 eine vergrößerte, schräge Teilansicht des
Aufbaus der Längenmeßvorrichtung 40 zeigt,
Fig. 6 eine schematische Darstellung des Aufbaus eines
konventionellen optischen Wellenmeßgerätes zeigt, und
Fig. 7 ein Beispiel der Wellenformen der elektrischen
Signale S₁ und S₂ zeigt.
Anschließend wird eine erste bevorzugte Ausführungsform der
vorliegenden Erfindung anhand der Fig. 1 bis 3 erklärt. Fig.
1 zeigt einen Grundriß des Aufbaus eines optischen Wellen
meßgerätes, basierend auf der ersten bevorzugten Ausfüh
rungsform der vorliegenden Erfindung. Fig. 2 zeigt eine
Seitenansicht des Aufbaus eines linearen Bewegungsmechanis
mus 23, dargestellt in Fig. 1. In den Fig. 1 und 2 sind ein
Strahlenteiler 20, ein feststehender Spiegel 21, ein beweg
licher Spiegel 22, ein linearer Bewegungsmechanismus 23, ein erster
Lichtempfänger 24, eine Längenmeßvorrichtung 25, eine Licht
quelle 26 und eine Vorrichtung 27 zur Berechnung der Wellen
länge dargestellt. Der lineare Bewegungsmechanismus 23, der
den beweglichen Spiegel 22 parallel zur Richtung einer
optischen Achse des Lichtes mit einer Wellenlänge, die
bestimmt werden soll, bewegt, besteht aus einem beweglichen
Tisch 28, einer Führungsschiene 29, einem Kugelumlaufspin
delmechanismus 30 und einem Motor 31. Der bewegliche Spiegel
22 ist auf dem beweglichen Tisch 28 angebracht. Ein Ende des
Kugelumlaufspindelmechanismus 30 ist mit einer Welle des
Motors 31 verbunden. Das andere Ende des Kugelumlaufspindel
mechanismus 30 greift in einen herausragenden Abschnitt 28a
ein, der aus der linken Seite des beweglichen Tisches 28
herausragt. Der Eingriff wird mit Hilfe eines Gewindes um
den Kugelumlaufspindelmechanismus 30 herum und einer gewin
deten Öffnung am herausragenden Abschnitt 28a bewerkstel
ligt. Daher überführt der Kugelumlaufspindelmechanismus 30,
wenn sich der Motor 31 dreht, die Rotationsbewegung des
Motors 31 in die lineare Bewegung des beweglichen Tisches
28. Die Wellenlänge der Lichtquelle 26 soll bestimmt werden.
Fig. 3 zeigt eine vergrößerte, schräge Teilansicht des
Aufbaus der Längenmeßvorrichtung 25. In den Fig. 1 bis 3
besteht die Längenmeßvorrichtung 25 aus einem feststehenden
Glasgitter 32, einem beweglichen Glasgitter 33, einer Licht
quelle 34, einem zweiten Lichtempfänger 35 und einer Vorrichtung 36
zur Entfernungsberechnung. In Fig. 3 ist die Lichtquelle 34
auf dem beweglichen Tisch 28 angebracht, so daß eine
optische Achse (siehe gestrichelten Pfeil in Fig. 3) eines
Lichtes, das aus der Lichtquelle ausgestrahlt wird, vertikal
zu der Bewegungsrichtung des beweglichen Tisches 28
verläuft. Das bewegliche Glasgitter 33 und der zweite Lichtempfän
ger 35 sind vertikal zur optischen Achse des Lichtes, das
aus der Lichtquelle 34 ausgestrahlt wird, auf dem bewegli
chen Tisch 28 angebracht. Weiterhin ist das feststehende
Glasgitter 32 in vertikaler Richtung zur optischen Achse des
Lichtes, das aus der Lichtquelle 34 ausgestrahlt wird,
zwischen dem beweglichen Glasgitter 33 und der Lichtquelle
34 über dem beweglichen Tisch 28 angeordnet. Eine Vielzahl
von Schlitzen sind mit dem erforderlichen Abstand und
Position entlang der Längsrichtung im feststehenden
Glasgitter 32 angebracht. Das bewegliche Glasgitter 33
besitzt einen Schlitz der erforderlichen Größe.
Ein Licht LM1 aus der Lichtquelle 26, das eine unbekannte
Wellenlänge hat, die bestimmt werden soll, wird in ein
reflektiertes Licht LR3 und ein durchtretendes Licht LP3
durch den Lichtstrahlenteiler 20 aufgeteilt. Das reflektierte
Licht LR3 wird durch den feststehenden Spiegel 21
reflektiert, tritt dann durch den Lichtstrahlenteiler 20 und
wird anschließend vom ersten Lichtempfänger 24 empfangen. Das
durchtretende Licht LP3 wird durch den beweglichen Spiegel
22 und den Lichtstrahlenteiler 20 reflektiert, und wird dann
vom ersten Lichtempfänger 24 empfangen. Wenn das reflektierte Licht
LR3 und das durchtretende Licht LP3 vom ersten Lichtempfänger 24
empfangen werden, wird, da das reflektierte Licht LR3 und
das durchtretende Licht LP3 miteinander im Lichtempfänger 24
in Interferenz treten, ein elektrisches Signal S₃ in
Abhängigkeit von der Intensität des Interferenzlichtes vom ersten
Lichtempfänger 24 zur Vorrichtung 27 zur Berechnung der
Wellenlänge übertragen.
Wenn sich der bewegliche Tisch 28 auf der Führungsschiene 29
in linearer Bewegung in die Richtung, die durch den Pfeil in
Fig. 1 angegeben ist, durch die Rotation des Kugelumlauf
spindelmechanismus 30 unter Verwendung des Motors 31 bewegt,
wobei sich der bewegliche Spiegel 22 aufgrund der Bewegung
des beweglichen Tisches 28 bewegt, ändert sich das elektri
sche Signal S₃ in Abhängigkeit von der periodischen Änderung
der Intensität des Interferenzlichtes, verursacht durch die
Bewegung des beweglichen Spiegels 22. Die Wellenlänge des
elektrischen Signals S₃ entspricht der Wellenlänge des
Lichtes LM1.
In Fig. 3 tritt das Licht, das von der Lichtquelle 34 ausge
strahlt wird, durch einen der Schlitze im feststehenden
Glasgitter 32 und den Schlitz im beweglichen Glasgitter 33
und wird dann durch den ersten Lichtempfänger 35 empfangen. Wenn
sich der bewegliche Tisch 28 in die Richtung bewegt, die in
Fig. 3 durch den Pfeil markiert ist, entspricht die Periode
des elektrischen Signals S₄ vom Lichtempfänger 35 einem
Schlitzabstand im feststehenden Glasgitter 32. Die Vorrich
tung zur Entfernungsberechnung 36 berechnet den Verfahrweg L
des beweglichen Tisches 28, aufgrund des gezählten Wertes
der Wellenzahl des elektrischen Signals S₄ und des Abstandes
zwischen benachbarten Schlitzen im feststehenden Glasgitter
32, und überträgt das berechnete Ergebnis an die Vorrichtung
27 zur Berechnung der Wellenlänge. Die Vorrichtung 27 zur
Berechnung der Wellenlänge errechnet die Wellenlänge des
Lichtes LM1, aufgrund des gezählten Wertes der Wellenzahl k
des elektrischen Signals S₃ und des Verfahrweges L, der von
der Vorrichtung zur Entfernungsberechnung 36 übertragen
wird, unter Verwendung der Formel (3).
λ1=L/k (3)
In der Formel (3) ist L der Verfahrweg des linearen
Bewegungsmechanismus 23, λ1 ist die Wellenlänge des Lichtes
LM1 und k ist die Wellenzahl des elektrischen Signals S₃.
Als nächstes wird eine zweite bevorzugte Ausführungsform der
vorliegenden Erfindung unter Bezugnahme auf die Fig. 4 und 5
erklärt. Fig. 4 zeigt eine Grundrißansicht des Aufbaus eines
optischen Wellenmeßgerätes, basierend auf der weiteren
bevorzugten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung. Fig.
5 zeigt eine vergrößerte, schräge Teilansicht des Aufbaus
der Längenmeßvorrichtung 40, dargestellt in Fig. 4. In den
Fig. 4 und 5 sind Teile dieser zweiten Ausführungsform, die
denen der ersten Ausführungsform der Fig. 1 bis 3 gleich
sind, mit gleichen Bezugszeichen gekennzeichnet. Erklärungen
bezüglich solcher Teile werden nicht wiederholt. In den Fig.
4 und 5 besteht die Längenmeßvorrichtung 40 aus einem fest
stehenden Glasgitter 41, einem beweglichen Glasgitter 42,
einer Lichtquelle 43, einem Lichtempfänger 44 und einer Vor
richtung 45 zur Entfernungsberechnung. In Fig. 5 ist die
Lichtquelle 43 auf dem beweglichen Tisch 28 angebracht, so
daß eine optische Achse eines Lichtes, das davon ausge
strahlt wird, vertikal zur Bewegungsrichtung des beweglichen
Tisches 28 verläuft. Das bewegliche Glasgitter 42 ist senk
recht zur optischen Achse eines Lichtes, das von der Licht
quelle 43 auf dem beweglichen Tisch ausgestrahlt wird,
angebracht. Weiterhin ist das feststehende Glasgitter 41 in
vertikaler Richtung in Bezug zur optischen Achse des
Lichtes, das von der Lichtquelle 43 ausgestrahlt wird,
hinter dem beweglichen Glasgitter 42 über dem beweglichen
Tisch 28 angebracht. Eine Vielzahl von Streifen, die aus
lichtundurchlässigem Material bestehen, sind mit erforderli
chem Abstand entlang der Längsrichtung auf dem feststehenden
Glasgitter 41 und dem beweglichen Glasgitter 42 angeordnet.
Die streifenfreie Fläche der Oberfläche des feststehenden
Glasgitters 41 kann das Licht reflektieren. Die streifen
freie Fläche der Oberfläche des beweglichen Glasgitters 42
erlaubt, daß das Licht durchtritt.
Ein Licht LM1 unbekannter Wellenlänge aus der Lichtquelle
26, die gemessen werden soll, wird durch den Strahlenteiler
20 in ein reflektiertes Licht LR3 und in ein durchtretendes
Licht LP3 aufgeteilt. Das reflektierte Licht LR3 wird durch
den feststehenden Spiegel 21 reflektiert, tritt dann durch
den Strahlenteiler 20, und wird anschließend durch den ersten
Lichtempfänger 24 empfangen. Das durchtretende Licht LP3
wird durch den beweglichen Spiegel 22 und den Strahlungstei
ler 20 reflektiert, und wird dann durch den ersten Lichtempfänger
24 empfangen. Wenn das reflektierte Licht LR3 und das durch
tretende Licht LP3 vom ersten Lichtempfänger 24 empfangen werden,
wird, da das reflektierte Licht LR3 und das durchtretende
Licht LP3 miteinander im ersten Lichtempfänger 24 in Interferenz
treten, ein elektrisches Signal S₃ in Abhängigkeit zur
Intensität des Interferenzlichtes vom ersten Lichtempfänger 24 zur
Vorrichtung 27 zur Berechnung der Wellenlänge übertragen.
Wenn sich der bewegliche Tisch 28 auf der Führungsschiene 29
in linearer Bewegung, wie durch den Pfeil in Fig. 4
dargestellt, durch die Rotation des Kugelumlaufspindel
mechanismus 30 unter Verwendung des Motors 31 bewegt, wobei
sich der bewegliche Spiegel 22 aufgrund der Bewegung des
beweglichen Tisches 28 bewegt, ändert sich das elektrische
Signal S₃ in Abhängigkeit zur periodischen Änderung der
Intensität des Interferenzlichtes, verursacht durch Bewegung
des beweglichen Spiegels 22. Die Wellenlänge des elektri
schen Signals S₃ entspricht der Wellenlänge des Lichtes LM1.
In Fig. 5 wird, gerade wenn das Licht, das von der Licht
quelle 43 ausgestrahlt wird, durch das bewegliche Glasgitter
42 aus transparentem Material durchtritt, das Licht durch
das bewegliche Glasgitter 42 gebrochen und daher werden
Lichtanteile von null oder höher-gradigen Beugungsgraden
erzeugt. Als nächstes werden die gebeugten Lichtanteile von
null-gradigem oder höherem Grad reflektiert und gebeugt
durch das feststehende Glasgitter 41 aus reflektierendem
Material, wobei sie wiederum durch das bewegliche Glasgitter
42 treten und erneut durch dieses gebeugt werden, und dann
vom zweiten Lichtempfänger 44 empfangen werden. Wenn sich der
bewegliche Tisch 28 in der Richtung, die durch den Pfeil in
Fig. 5 angegeben ist, bewegt, ändert sich die Phase des
Lichtanteils von höherem Grad, jedoch ändert sich die Phase
des Lichtes von Null Grad nicht. Daher wird ein elektrisches
Signal mit einer Sinuswellenform entsprechend der
Phasendifferenz zwischen den Lichtanteilen von Null Grad
oder höheren Graden vom zweiten Lichtempfänger 44 ausgegeben. Die
Vorrichtung 45 zur Entfernungsberechnung errechnet den
Verfahrweg L des beweglichen Tisches 28, aufgrund des
gezählten Wertes der Wellenzahl des elektrischen Signals S₅
und der Wellenlänge des Lichtes, das aus der Lichtquelle 43
ausgestrahlt wird, und überträgt das berechnete Ergebnis an
die Vorrichtung 27 zur Berechnung der Wellenlänge. Die
Vorrichtung 27 zur Berechnung der Wellenlänge errechnet die
unbekannte Wellenlänge des Lichtes LM1, aufgrund des
gezählten Wertes der Wellenzahl k des elektrischen Signals
S₃ und des Verfahrweges L, wie erhalten von der Vorrichtung
45 zur Entfernungsberechnung, unter Verwendung der oben
erwähnten Formel (3).
Claims (3)
1. Optisches Wellenmeßgerät mit:
einem Strahlenteiler zur Aufteilung eines Lichtes mit einer Wellenlänge, die gemessen werden soll, in ein erstes und ein zweites Licht;
einem feststehenden Spiegel zur Reflexion des ersten Lichtes, so daß dieses in den Strahlenteiler zurück einge speist wird;
einem beweglichen Spiegel zur Reflexion des zweiten Lichtes, so daß dieses in den Strahlenteiler zurück einge speist wird;
einem linearen Bewegungsmechanismus mit einem bewegli chen Tisch, auf dem der bewegliche Spiegel angebracht ist, wobei der Tisch zur Bewegung des beweglichen Spiegels paral lel zur Richtung einer optischen Achse eines Lichtes, das in den beweglichen Spiegel eingespeist wird, ausgebildet ist;
einem ersten Lichtempfänger zur Umwandlung eines Interferenzlichtes in ein elektrisches Signal, wobei das Interferenzlicht durch das Zusammenführen eines Lichtes über den Strahlenteiler und den feststehenden Spiegel mit einem Licht über den Strahlenteiler und den beweglichen Spiegel erzeugt wird;
einer Längenmeßvorrichtung zur Bestimmung des Verfahr weges des beweglichen Tisches; und
einer Vorrichtung zur Berechnung der zu messenden Lichtwellenlänge, wobei die Berechnung der Wellenlänge aufgrund der Wellenzahl des elektrischen Signals und des Verfahrweges erfolgt,
dadurch gekennzeichnet, daß die Längenmeßvorrichtung folgendes umfaßt: eine Lichtquelle, ein festes Glasgitter, ein bewegliches Glasgitter, einen zweiten Lichtempfänger und eine Vorrichtung zur Entfernungsberechnung.
einem Strahlenteiler zur Aufteilung eines Lichtes mit einer Wellenlänge, die gemessen werden soll, in ein erstes und ein zweites Licht;
einem feststehenden Spiegel zur Reflexion des ersten Lichtes, so daß dieses in den Strahlenteiler zurück einge speist wird;
einem beweglichen Spiegel zur Reflexion des zweiten Lichtes, so daß dieses in den Strahlenteiler zurück einge speist wird;
einem linearen Bewegungsmechanismus mit einem bewegli chen Tisch, auf dem der bewegliche Spiegel angebracht ist, wobei der Tisch zur Bewegung des beweglichen Spiegels paral lel zur Richtung einer optischen Achse eines Lichtes, das in den beweglichen Spiegel eingespeist wird, ausgebildet ist;
einem ersten Lichtempfänger zur Umwandlung eines Interferenzlichtes in ein elektrisches Signal, wobei das Interferenzlicht durch das Zusammenführen eines Lichtes über den Strahlenteiler und den feststehenden Spiegel mit einem Licht über den Strahlenteiler und den beweglichen Spiegel erzeugt wird;
einer Längenmeßvorrichtung zur Bestimmung des Verfahr weges des beweglichen Tisches; und
einer Vorrichtung zur Berechnung der zu messenden Lichtwellenlänge, wobei die Berechnung der Wellenlänge aufgrund der Wellenzahl des elektrischen Signals und des Verfahrweges erfolgt,
dadurch gekennzeichnet, daß die Längenmeßvorrichtung folgendes umfaßt: eine Lichtquelle, ein festes Glasgitter, ein bewegliches Glasgitter, einen zweiten Lichtempfänger und eine Vorrichtung zur Entfernungsberechnung.
2. Optisches Wellenmeßgerät nach Anspruch 1, dadurch
gekennzeichnet, daß
die Lichtquelle derart auf dem beweglichen Tisch angebracht ist, daß eine optische Achse eines Lichtes daraus in vertikaler Richtung zur Bewegungsrichtung des beweglichen Tisches verläuft;
das bewegliche Glasgitter, in das das Licht eingespeist wird, vertikal zur optischen Achse auf dem beweglichen Tisch angebracht ist;
das feststehende Glasgitter, vertikal zur optischen Achse, zwischen der Lichtquelle und dem beweglichen Glasgitter, über dem beweglichen Tisch angeordnet ist, wobei eine Vielzahl der Glasgitter an der Tischoberfläche in vertikaler Richtung in Bezug auf die Bewegungsrichtung mit erforderlichem Abstand angeordnet ist,
der zweite Lichtempfänger das aus der Lichtquelle ausgestrahlte und durch das feststehende Glasgitter und das bewegliche Glasgitter durchtretende Licht empfängt, und ein elektrisches Signal in Abhängigkeit von der Bewegung des beweglichen Tisches erzeugt; und
die Vorrichtung zur Entfernungsberechnung den Verfahrweg des beweglichen Tisches, aufgrund der Wellenzahl des elektrischen Signals errechnet.
die Lichtquelle derart auf dem beweglichen Tisch angebracht ist, daß eine optische Achse eines Lichtes daraus in vertikaler Richtung zur Bewegungsrichtung des beweglichen Tisches verläuft;
das bewegliche Glasgitter, in das das Licht eingespeist wird, vertikal zur optischen Achse auf dem beweglichen Tisch angebracht ist;
das feststehende Glasgitter, vertikal zur optischen Achse, zwischen der Lichtquelle und dem beweglichen Glasgitter, über dem beweglichen Tisch angeordnet ist, wobei eine Vielzahl der Glasgitter an der Tischoberfläche in vertikaler Richtung in Bezug auf die Bewegungsrichtung mit erforderlichem Abstand angeordnet ist,
der zweite Lichtempfänger das aus der Lichtquelle ausgestrahlte und durch das feststehende Glasgitter und das bewegliche Glasgitter durchtretende Licht empfängt, und ein elektrisches Signal in Abhängigkeit von der Bewegung des beweglichen Tisches erzeugt; und
die Vorrichtung zur Entfernungsberechnung den Verfahrweg des beweglichen Tisches, aufgrund der Wellenzahl des elektrischen Signals errechnet.
3. Optisches Wellenmeßgerät nach Anspruch 1, dadurch
gekennzeichnet, daß
die Lichtquelle, derart auf dem beweglichen Tisch angebracht ist, daß eine optische Achse eines Lichtes daraus in vertikaler Richtung zur Bewegungsrichtung des beweglichen Tisches verläuft;
das feststehende Glasgitter, vertikal in Bezug auf die optische Achse, über dem beweglichen Tisch angeordnet ist, wobei eine Vielzahl der Glasgitter an der Tischoberfläche in vertikaler Richtung in Bezug auf die Bewegungsrichtung mit erforderlichem Abstand angeordnet ist;
das bewegliche Glasgitter in vertikaler Richtung zur optischen Achse zwischen der Lichtquelle und dem fest stehenden Glasgitter auf dem beweglichen Tisch angebracht ist, in das das Licht eingespeist wird;
der zweite Lichtempfänger das Licht, das von der Lichtquelle ausgestrahlt wird und durch das feststehende Glasgitter und durch das bewegliche Glasgitter gebeugt wird, empfängt, und ein elektrisches Signal in Abhängigkeit zur Bewegung des beweglichen Tisches übermittelt; und
die Vorrichtung zur Entfernungsberechnung den Verfahrweg des beweglichen Tisches, aufgrund der Wellenzahl des elektrischen Signals errechnet.
die Lichtquelle, derart auf dem beweglichen Tisch angebracht ist, daß eine optische Achse eines Lichtes daraus in vertikaler Richtung zur Bewegungsrichtung des beweglichen Tisches verläuft;
das feststehende Glasgitter, vertikal in Bezug auf die optische Achse, über dem beweglichen Tisch angeordnet ist, wobei eine Vielzahl der Glasgitter an der Tischoberfläche in vertikaler Richtung in Bezug auf die Bewegungsrichtung mit erforderlichem Abstand angeordnet ist;
das bewegliche Glasgitter in vertikaler Richtung zur optischen Achse zwischen der Lichtquelle und dem fest stehenden Glasgitter auf dem beweglichen Tisch angebracht ist, in das das Licht eingespeist wird;
der zweite Lichtempfänger das Licht, das von der Lichtquelle ausgestrahlt wird und durch das feststehende Glasgitter und durch das bewegliche Glasgitter gebeugt wird, empfängt, und ein elektrisches Signal in Abhängigkeit zur Bewegung des beweglichen Tisches übermittelt; und
die Vorrichtung zur Entfernungsberechnung den Verfahrweg des beweglichen Tisches, aufgrund der Wellenzahl des elektrischen Signals errechnet.
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