DE2107135A1 - Verfahren und Einrichtung zur berührungslosen Messung an rotierenden Werkstücken - Google Patents

Verfahren und Einrichtung zur berührungslosen Messung an rotierenden Werkstücken

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DE2107135A1 DE19712107135 DE2107135A DE2107135A1 DE 2107135 A1 DE2107135 A1 DE 2107135A1 DE 19712107135 DE19712107135 DE 19712107135 DE 2107135 A DE2107135 A DE 2107135A DE 2107135 A1 DE2107135 A1 DE 2107135A1
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Fromund Dipl.-Phys. 6330 Wetzlar Hock
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Ernst Leitz Wetzlar GmbH
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Description

  • Verfahren und Einrichtung zur berührungslosen Messung an rotierenden Werk stücken Die Erfindung betrifft ein Verfahren sowie Einrichtungen zur berührungslosen Messung an rotierenden Werkstücken.
  • Insbesondere solien die Umfangsgeschwindigkeit, die Wi.nkelgeschwindigkeit und daraus der momentane Radius des Werkstücks bestimmt werden.
  • Es sind verschiedene Anordnungen bekannt, mit denen auf optischem Wege ohne mechanische Antastung die genaue Begrenzung zweier gegenüberliegender reflektierender Oberflächen ermittelt und daraus der Durchmesser des Werkstücks bestimmt werden kann. Bei der Rotation des Werkstücks können dabei auch Unterschiede im Radius beobachtet werden, ohne daß sich daraus jedoch der AbsolutbetragX des Radius an einer bestimmten Stelle ergibt.
  • Zur Messung von Geschwindigkeiten ist es bekannt, das Objekt bei Reflexion des auftreffenden Lichtstrahls Dopplerfrequenzverschiebungen bewirken zu lassen. Die Frequenz des reflektierten Lichtes wird proportional zur Geschwindigkeitskomponente des Werkstücks in Richtung des analysierten Lichtes dopplerverschoben und in einem dem Michelson-Interferometer ähnlichen Gerät der unverschobenen Frequenz des Meßstrahles überlagert. Aus der ich ergebenden Schwebungsfrequenz kann die Geschwindigkeitskompouente bestinnut werden.
  • Der Erfindung lag die Aufgabe zugrunde, ein neues Verfahren zur berührungslosen Radienmessung an rotierenden Werkstück ken anzugeben. Dabei soll unter Verwendung einer monochromatischen, kohärenten Strahlung die Geschwindigkeit möglichst ohne dem Michelson-Interferometer ähnliche optische Aufbauten erfolgen und es soll in die Lichtquelle zurückkehrendes Licht vermieden werden.
  • Diese Aufgabe wird durch ein Verfahren gelöst, das sich dadurch auszeichnet, daß die Umfangsgeschwindigkeit u des zu vermessenden Werkstücks aus der durch Wechselwirkung zwischen der kohärenten Strahlung und dem rotierenden Werkstück resultierenden Frequenzverschiebung | der Strahlungswellenlänge X gemessen wird, daß gleichzeitig die Winkelgeschwindigkeit 0 des Werkstücks gemessen wird, und daß anschließend der Quotient u/e als dem Radius r proportionale Größe bestimmt und erforderlichenfalls angezeigt wird.
  • Besondere Vorteile bietet das neue Verfahren, wenn zur Messung der Umfangsgeschwindigkeit u die Meßstrahlung tangential am Werkstück streifend vorbeigeruhrt wird, dabei durch Beugung und Streuung an der bewegten Werkstückoberfläche Strahlungsanteile aus der ursprünglichen Richtung abgelenkt und in ihrer Frequenz um |##d| verschoben werden, diese vom Werkstück beeinflußten Strahlungsanteile und solche, die nicht beeinflußt wurden, mit Hilfe optischer Mittel in eine übereinstimmende Richtung gebracht und aus der übrigen Strahlung isoliert werden, die isolierten Strahlungsanteile an einem photoelektrischen Wandler zur Schwebung gebracht werden und aus der Schwebungsfrequenz die Umfangsgeschwindigkeit bestimmt wird.
  • Es ist jedoch auch möglich, daß zur Messung der Umfangsgeschwindigkeit u nur die vom Werkstück beeinflußten StrKllungsanteile verwendet werden und die der Umfangsgeschwindigkeit proportionale Frequenzverschiebung |##D| mit Hilfe eines optischen Resonators bzw. eines Zweistrahlinterferoineters mit hohem Gangunterschied und zumindest einem foto elektrischen Wandler in ein Meßsignal umgewandelt wird.
  • Die Messung der lDinkelgeschwilldigkeit te erfolgt geeigneterweise unter Vorwendung modtlliertor Licht strahlen.
  • Der Quotientenbildung u/ können auch Zeitintervalle für die Umfangs und/oder Winkelgeschwindigkeitsmessung zugrun -degelegt werden, die sich von der Zeit eines Umlaufs des Werkstücks; unterscheiden.
  • Weitere Vorteile ergeben sich, wenn ein Teil der Strahlung hinter der Meßstelle als Steuergröße zur Nachsteuerung der Relativlage zwischen Werkstück und beleuchtender Strahlung verwendet wird.
  • Eine Einrichtung zur Durchführung des neuen Verfahrens kann so aufgebaut sein, daß eine Quelle zur Erzeugung eines mit seiner optischen Achse das Werkstück tangential berührenden Meßstrahls mit geringer optischer Frequenzbandbreite der spektralen Eomponente(n) vorgesehen ist, daß in Lichtrichtung gesehen hinter dem Werkstück eine Streuscheibe angeordnet ist, daß hinter dieser Streuscheibe ein sammelndes optisches Glied angeordnet ist, dessen optische Achse mit der Richtung der Achse des am Werkstück gebeugten Strahlungsanteils übereinstimmt, daß im Brennpunkt der achsenparallel in dieses sammelnde Glied einfallenden Strahlen eine Lochblende angeordnet ist, daß hinter der Lochblende ein Nachweisgerät für die durohtretende Strahlung vorgesehen ist, daß mit der Drehachse des Werkstücks ein Signalgeber für die Winkelgeschwindigkeit gekoppelt ist, und daß dem Nachweisgerät und dem Signalgeber eine gemeinsame Rechenstufe sowie ein Anzeigegerät nachgeordnet sind.
  • Die Streuscheibe ist dabei in vorteilhafter Weise als Phasengitter ausgebildet. Als sammelndes optisches Glied kann insbesondere ein Linsen- bzw. Spiegelobjektiv vorgesehen sein, in dessen Brennebene unter Fortfall der Lochblende ein dem ausgewählten Lichtrichtungsbereich entsprechend begrenztes fotoempfindliches Flächenelement angeordnet ist.
  • Das Nachweisgerät kann entweder ein Signalgeber für amplitudenproportionale Signale oder ein Signalgeber für die Größe auftretender Frequenzänderungen in der Strahlung sein.
  • Besonders zweckmäßig ist es, die den Meßstrahl zur Werkstuckantastung erzeugenden Bauelemente und die die Signalerzeugung bewirkenden Bauelemente als feste Baueinheit auszubilden und diese Baueinheit bezüglich der Relativlage zwischen Werkstück und beleuchtender Strahlung justierbar zu machen.
  • Als mitdrehendes Teil des Signalgebers für die Winkelgeschwindigkeit kann besonders ein Phasen- oder ein Amplitudengitter vorgesehen sein.
  • Der Rechenstufe kann auch mindestens ein frequenzbeeinflussendes Bauteil vorgeschaltet seine Besondere Vorteile bietet die Einrichtung, wenn der Rechenstufe ein die Relativlage zwischen dem Werkstück und einem dieses bearbeitenden Werkseug beeinflussender Regelkreis nachgeordnet ist.
  • Im Prinzip können für die Bestimmung der Umfangsgeschwindigkeit die verschiedensten optischen Anordnungen mit doppierverschobenem Licht Yerw-eTIdung finden. Diese können sowohl mit vom rotierenden Werkstück zurtickreflektiertem Licht arbeiten, als auch mit am Werkstück streifend vorbeigegangenem Licht. Die letztgenannte Art ist dabei besonders vorteilhaft, weil sie ohne interferometerähnliche optische Einrichtungen au skomnt und dadurch Rückkopplungen auf die Lichtquelle unmöglich sind.
  • Durch das Vorbeistreichen an der Werkstückkante entstehen Beugungssäume, deren Lichtrichtung etwas gegenüber der ursprünglichen Lichtrichtung geneigt ist. Lenkt man aus dem die Hauptintensltät enthaltenden, am Werkstück vorbeigegangenen Beleuchtungsstrahlenbündel mit Hilfe einer Streuscheibe, eines Beugungsgitters oder eines teildurchlässigen Spiegels einen dem abgebeugten Strahl etwa intensitätsgleichen Teil in die gleiche Richtung wie den abgebeugten Strahl, so werden beide Strahlenanteile selbst bei Parat ltelversatz in der Brennebene eines Objektivs wieder vereinigt. Da gleiche Punkte in der Brennebene auch gleichen Richtungen vor dem Objektiv entsprechen, selektiert das Objektiv in seiner Brennebene wohldefinierte Beugungsrichtungen, wodurch das Signal- zu Rausch-Verhältnis s im Signal verbessert wird. Die beiden gegeneinander frequenzverschobenen Strahlungsanteile können als Schwebungennachgewiesen werden.
  • Wirkt die Werstücksoberfläche stark depolarisierend, so kann durch einen zusätzlichen Analysator die Interferenzfähigkeit zwischen gebeugtem umd ursprünglichen Licht verbeasert werden.
  • Da die Frequenzen des Schwebungssignals im allgemeinen höher sind und in einem nichtganzzahligen Verhältnis zu den Frequenzen der Winkelgeschwindigkeitssignale stehen körsuen., ist es vorteilhaft, durch Frequenzmultiplika tions- bzw. Frequenzdivisionseinrichtungen bei der Anwendung von Schwebungsverfahren leicht handhabbare Frequenzverhältnisse herzustellen, um die Radiusauswertung zu erleichtern.
  • Baut man alle Baugruppen, wie- Strahlerzeugung, Llchtverreinigung und fotoelektrische Wandler zu einer festen Einheit zusatnmen, so läßt sich diese Einheit stets an die Peripherie des Werkstücks nachführen. Diese Nachführung kann unter Verwendung des sich aus einer Messung des auf einen fotoelektrischen Empfänger gelangten Lichtflusses ergebenden Signalpegels geregelt werden.
  • Bei Anwendung der neuen Einrichtung bei Werkzeugmaschinen können die Ausgangssignale als Regel signale für die Nachstellung des Werkzeuges oder des Werkstückes benutzt werden.
  • In der Zeichnung ist ein Ausführungsbeispiel der neuen Einrichtung schematisch dargestellt. Es zeigen: Fig, 1 den Strahlengang für die berührungslose Messung der Umfangsgeschwindigkeit, Fig. 2 die prinzipielle Anordnung zur Erzeugung von Signalen für die Winkelgeschwindigkeit1 Fig. 3 die Auswerteelektronik als Blockdiagramm und Fig. 4 u. 5 Beispiele für Werkstückformen, deren Radien sich mit der neuen Einrichtung bestimmen lassen.
  • In Fig. 1 erzeugt ein Laser 1 ein monochromatisches, kohärentes Meßstrahlenbündel, das mittels einer Linse 2 aufgeweitet wird, Die optische Achse 3 des Meßstrahlenbündels berührt das Werkstück 4 tangential an der Stelle 5. Durch eine Zylinderlinse 6 wird das Meßstrahlenbündel auf eine die Beruhrungsstelle 5 elithalUe.nde Mantellinie parallel zur Drehachse des Werkstücks 4 fokussiert. Diese Mantellinie wirkt als beugende Kante. Der Stelle 5 ist eine Linse 7 derart nachgeordnet, daß ihre optische Achse mit der Richtung des ersten Beugungsmaximums zusammenfällt. Die Linse 7 bildet die achsenparallel einfallenden Strahlen in eine in ihrer Brennebene stehende Lochblende 8 ab. Ferner ist der Stelle 5 eine Streuscheibe 9 nachgeschaltet, die so ausgelegt ist, daß sie einen Teil der Meßstrahlung, der nicht in Wechselwirkung mit der Mantellinie des Werkstücks getreten ist, ebenfalls in die Richtung des ersten Beugungsmaximums streut. Durch geeignete Wkhl der Streuscheibe, beispielsweise als geblaztes Phasengitter mit schwacher Sägezahnstruktur, kann erreicht werden, daß der Hauptanteil des Lichtes ungebeugt hindurchgeht und nur ein geringer Teil in Richtung der optischen Achse der Linse 7 geht. Dadurch können die Intensitäten der an der Manteilinie des Werkstücks gebeugten Strahlungsanteile und der durch die Streuscheibe in die gleiche Richtung gelenkten Anteile vergleichbar gemacht werden. Die beiden einander überlagerten Strahlungsanteile werden von einem der Blende 8 zugeordneten fotoelektrischen Empfänger 10 in elektrische Signale umgesetzt. Am Ausgang 11 des Empfängers 10 treten bei bewegtem Werkstück Schwei?ungen auf.
  • Wenn das Werkstück 4 nicht rotiert, besitzen die von der Linse 7 erfaßten, gebeugten bzw. gestreuten Strahlungsanteile die Laserlichtfrequenz #L und das.nachgewiese.ne Signal ist nicht moduliert. Rotiert das Werkstück jedoch, so wird die Frequenz des an der Mantellinie gebeugten Lichtes entsprechend der mit dem Kosinus des Beugung winkels multiplizierten Tangentialkomponente der Umfangsgeschwindigkeit des Werkstücks in der Frequenz um |##D| dopplerverschoben. Das von dem photoelektrischen Empfänger 10 erzeugte Signal ist dann mit der Frequenz btb #D moduliert. Die Modulationsfrequenz (Schwebung) lä.13t sich mit bekannten Einrichtungen leicht messen, so dal? bei bekanntem Radius und Begungswinkel die Umfangsgeschwindigkeit des Werkstücks bestimmt werden kann. Für den Betrieb der beschriebenen Anordnung ist lediglich vorauszusetzen, daß die F'requenzbandbreite AvL des Meßstrahls klein gegenüber der Frequenzverschiebung AvD ist. Diese Bedingung ist bei Verwendung von Lasern als Lichtquelle aber bis zu verhältnismäßig geringen Umfangsgeschwindigkeiten erfüllt, Neben der Bestimmung der Frequenzverschiebung i!VD aus der Schwebungsfrequenz ist es auch möglich, ##D direkt zu bestimmen. Dazu kann beispielsweise in einem Interferometer, das an die Stelle des photoelektrischen Empfängers 10 zu stellen ist, die Verschiebung der Streifenlage bei rotierendem Werkstück gegenüber der bei ruhendem Werkstück beobachtet werden Die Streuscheibe 9 kann. dabei entfallen.
  • Man kann mit der Drehachse des Werkstücks für die Winkelgeschwindigkeit koppeln, wie dies in Fig. 2 dargestellt ist. Der Signalgeber besteht hier aus einer auf einer transparenten Scheibe aufgebrachten Winkelteilung 14, einer Lichtquelle 15 mit Kondensor 16 und einem photoelektrischen Empfänger 17. Bei Rotation des Werkstücks 4 moduliert die Winkelteilung 14 den Lichtstrom zwischen Kondensor 16 und photoelektrischem Empfänger 17 mit der Rotation-Frequenz #R, die bei bekannter Winkelteilung an Ausgang 13 des Empfängers 17 ein der Winlcelgeschwin digkeit direkt proportionales Signal liefert. Die Winkelgeschwindigkeit # und die Umfangsgeschwindigkeit u hängen bekanntlich über R = u/ mit dem Werkstückradius R zusanlmein.
  • Fig. 3 zeigt schematisch die zur Weite'rverarbeiturig der an den Ausgängen 11 und 13 der photoelektrischen Empfänger 10 und 17 auftretenden Signale und zur Ermittlung des Werkstückradius notwendigen elektronischen Gerätestufen.
  • In einem bandfilter 18 wird zunächst die Schwebungsfrequenz ##D #D ausgesiebt und nach Bedarf in einem Frequenzuntersetzer 19 um den Faktor m herabgesetzt. Das der Winkelgeschwindigkeit proportionale Signal des Ausgangs 13 wird in einem Frequenzvervielfacher 20 mit dem Faktor n multipliziert.
  • In einer nachfolgenden Rechenstufe 21 wird mittels eines der bekannten Verfahren zur Frequenzverhältnisbestimmung, (die sich entweder auf Momentanwerte über Phasenmeßtechniken oder auf Mittelwerte über viele Perioden über Zähltechniken beziehen könnten,) der diesem Verhältnis entsprechende Wert des Werkstückradius ermittelt und an einem Gerät 22 angezeigt Zür Ermittlung der Umfangsgeschwindigkeit und der Winkelgeschwindigkeit genügt bereits eine kleine Drehung des Werkstück. Man kann sich daher auf Icurze Meßintervalle beschränken und erhält auf diese Weise den momentanen, vom McßstrKhl berührten Radius. Zur Radius-Bestimmung mit der neuen Anordnung sind daher nicht nur runde Werkstücke geeignet, sondern beispielsweise auch solche mit einer oder mehreren Längsnuten (Fig. 4). Bei Beschränkung auf kurze Meßintervalle kann die Radius-Bestimmung durch die Rechenstufe 21 in die Meßpausen gelegt werden.
  • Fig. 5 zeigt als weiters Beispiel für ein Meßobjekt einen Nocken, bei dem durch entsprechende Auswahl der Meßintervalle der Krümmungsradius des Grundkreises R und der der Nockenspitze Rt bestimmt werden können.
  • Außer zur Anzeige des gemessenen Radius kbnnen die entsprechenden Signalwerte auch als Steuersignale eines Regelkreises für die Werkstücksbearbeitung verwertet werden.

Claims (15)

  1. A u s p r ü c h e
    Verfahren zur berührungslosen Radienmessung an rot;renden Werkstücken unter Verwendung einer monochromatischen, kohärenten Strahlung, dadurch gekennzeichnet, daß a) die Umfangsgeschwindigkeit u dz des zu vermessendes Werkstücks aus der durch Wechselwirkung zwischen der kohärenten Strahlung und dem rotierenden Werkstück resultierenden Frequenzverschiebung |##D| der Strahlungswellenlänge X gemessen wird daß b) gleichzeitig die Winkelgeschwindigkeit # des Werkstücks gemessen wird, und der c) anschließend der Quotient u/# als dem Radius r proportionale Große bestimmt und erforderlichenfalls angezeigt wird.
  2. 2. Verfahren nach Anspruch t, dadurch gekennzeichnet, daß zur Messung der Umfangsgeschwindigkeit u die Meßstraliiung tangential am Werkstück streifend vorbeigeführt wird, daß dabei durch Beugung und Streuung an der bewegten Werkstückoberfläche Strahlungsanteile aus der ursprünglichen Richtung abgelenkt und ihrer Frequenz um |##D| verschoben werden, daß diese vom Werkstück beeinflußten Strahlung anteile und solche, die nicht beeinflußt wurden, mit Hilfe optischer Mittel in eine übereinstimmende Richtung gebracht und aus der übrigen Strahlung isoliert werden, daß die isolierten Strahlungsanteile an einem photoelektrischen Wandler zur Schwebung gebracht werden und daß aus der Schttebungsfrequenz die Umfangsgeschwindigkeit bestimmt wird.
  3. 3. Verfahren nach Anspruch 1 und 2, dadurch gekennzeichnet, daß zur Messung der Umfangsgeschwindigkeit u nur die vom Werkstück beeinflußten Strahlungsanteile verwendet werden und die der Umfangsgeschwindigkeit proportionale Frequenzverschiebung |##D| mit Hilfe eines optischen Resonators bzw. eines Zweistrahlinterferometers mit hohem Gangunterschied und zumindest einem fotoelektrischen Wandler in ein Meßsignal umgewandelt wird.
  4. 4. Verfahren nach Anspruch 1, dadr' g keunzeichnot daß die Messung der Winkelgeschwindigkeit Ç unter Verwendung moduliert er Lichtstrahlen erfolgt.
  5. 5. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Quotientenbildung u/o) Zeitintervalle für die Umfangs-und/oder Wiukelgeschwindigkeitsmessung zugrundegelegt werden, die sich von der Zeit eines Umlaufs des Werkstücks unterscheiden.
  6. 6. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß ein Teil der Strahlung hinter der Meßstelle als Steuergröße zur Nachsteuerung der Relativlage zwischen Werkstück und beleuchtender Strahlung verwendet wird.
  7. 7. Einrichtung zur Durchführung des Verfahrens nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß a) eine Quelle (1) zur Erzeugung eines mit seiner optischen Achse das Werkstück (4) tangential berührenden Meßstrahls (3) mit geringer optischer Frequenzbandbreite der spektralen Komponente(n) vorgesehen ist, daß b) in Lichtrichtung gesehen hinter dem Werkstück eine Streuscheibe (9) angeordnet ist, daß c) hinter dieser Streuscheibe (9) ein sammelndes optisches Glied (7) angeordnet ist, dessen optische Achse mit der Richtung der Achse des am Werkstück gebeugten Strahlungsanteils übereinstimmt.
    d) im Brennpunkt der achsenparallel in dieses sammelnde Glied (7) einfallenden Strahlen eine Lochblende (8) angeordnet ist, daß e) hinter der Lochblende (8) ein Nachweisgerät (10) fiu' die durchtretende Strahlung vorgesehen ist, daß f) mit der Drehachse (12) des Werkstücks (4) ein Signalgeber (17) für die Winkelgeschwindigkeit gekoppelt ist, daß g) dem Nachweisgerät (10) und dem Signalgeber (17) eine gemeinsame Rechenstufe (21) sowie ein Anzeigegerät (22) nachgeordnet ist.
  8. 8. Einrichtung nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß die Streuscheibe (9) als Phasengitter ausgebildet ist.
  9. 9. Einrichtung nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß als sammelndes optisches Glied (7) ein Linsen- bzw. Spiegeiobjektiv vorgesehen ist, in dessen Brennebene unter Fortfall der Lochblende (8) ein dem ausgewählten Lichtrichtungsbereich entsprechend begrenztes fotoempfindliches Flächenelement angeordnet ist.
  10. 10o Einrichtung nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß - das Nachweisgerät (10) ein Signalgeber für amplitudenproportionale Signale ist.
  11. 11. B-inrichtung nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß das Nachweisgerät (10) ein Signalgeber für die Größe auftretenden Frequenzänderungen in der Strahlung ist.
  12. 12. Einrichtung nach einem der Ansprüche 7 - 11, dadurch gekennzeichnet, daß die den MeßsI;rahl zur Werkstückantastung erzeugenden Bauelemente und die die SLgnalerzeugung bewirkenden Bauelemente eine feste Baueinheit bilden und diese Baueinhei t bezüglich der Rela-tivlage zwischen Werkstück und beleuchtender Strahlung j tLSii erbar ist.
  13. 13. Einrichtung nach einem der Ansprüche 7 - 12, dadurch gekennzeichnet, daß als mibdrehendes Teil des Signalgebers für die Winkelgeschwindigkeit ein Phasen- oder ein Amplitudengitter vorgesehen ist.
  14. 14. Einrichtung nach einem der Ansprüche 7 - 13, dadurch gekennzei,chnet, daß der Rechenstufe (21) mindestens ein frequenzbeeinflussendes Bauteil (18 - .90) vorgeschaltet ist.
  15. 15. Einrichtung nach einem der Ansprüche 7 - 14, dadurch gekennzeichnet, daß der Rechenstufe (21) ein die Relativlage zwischen dem Werkstück (4) und einem dieses bearbeitenden Werkzeug beeinflussender Regelkreis nachgeordnet ist.
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