JPH0719965A - 光波長計 - Google Patents
光波長計Info
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- JPH0719965A JPH0719965A JP18690493A JP18690493A JPH0719965A JP H0719965 A JPH0719965 A JP H0719965A JP 18690493 A JP18690493 A JP 18690493A JP 18690493 A JP18690493 A JP 18690493A JP H0719965 A JPH0719965 A JP H0719965A
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- glass grating
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- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims abstract description 31
- 239000011521 glass Substances 0.000 claims description 52
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 12
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 238000010276 construction Methods 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J9/00—Measuring optical phase difference; Determining degree of coherence; Measuring optical wavelength
- G01J9/02—Measuring optical phase difference; Determining degree of coherence; Measuring optical wavelength by interferometric methods
Abstract
(57)【要約】
【目的】 基準光源や固定ミラーを用いず、光軸調整が
簡単でコンパクトな光波長計を提供する。 【構成】 被測定光源９から出力された波長が未知であ
る被測定光15はビームスプリッタ１により反射光15a と
通過光15b とに二分岐され、15a はミラー２で反射され
てビームスプリッタ１を再通過し、受光器７に入射され
る。又、15b はミラー３で反射後、１で反射されて７に
入射される。この時、入射される15a と15b とでは干渉
を生じるため、７からは干渉光の強度に応じた電気信号
16が出力され、波長計算部10に入力される。ここで、３
は移動ステージ4aに固定されており、これがガイドレー
ル4b上を直線運動すると、信号16は光強度変化に対応し
た電気信号となる。又、この信号の波長は15の波長に相
当するため、測長器８により4aの移動距離を検出し、そ
の電気信号16の波形数と4aの移動距離から15の波長が求
められる。
簡単でコンパクトな光波長計を提供する。 【構成】 被測定光源９から出力された波長が未知であ
る被測定光15はビームスプリッタ１により反射光15a と
通過光15b とに二分岐され、15a はミラー２で反射され
てビームスプリッタ１を再通過し、受光器７に入射され
る。又、15b はミラー３で反射後、１で反射されて７に
入射される。この時、入射される15a と15b とでは干渉
を生じるため、７からは干渉光の強度に応じた電気信号
16が出力され、波長計算部10に入力される。ここで、３
は移動ステージ4aに固定されており、これがガイドレー
ル4b上を直線運動すると、信号16は光強度変化に対応し
た電気信号となる。又、この信号の波長は15の波長に相
当するため、測長器８により4aの移動距離を検出し、そ
の電気信号16の波形数と4aの移動距離から15の波長が求
められる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、被測定光の波長を干
渉計を用いて測定する光波長計についてのものである。
渉計を用いて測定する光波長計についてのものである。
【０００２】
【従来の技術】つぎに、従来技術による光波長計の構成
と動作を図４と図５により説明する。図４の１はビーム
スプリッタ、２は固定ミラー、３は移動ミラー、４ａは
移動ステージ、４ｂはガイドレール、７ａ・７ｂは受光
器、９は被測定光源、１０は波長計算部、１１は基準光
源である。移動ステージ４ａとガイドレール４ｂとによ
って、移動ミラー３を光軸方向に移動させる線形移動機
構４が構成される。
と動作を図４と図５により説明する。図４の１はビーム
スプリッタ、２は固定ミラー、３は移動ミラー、４ａは
移動ステージ、４ｂはガイドレール、７ａ・７ｂは受光
器、９は被測定光源、１０は波長計算部、１１は基準光
源である。移動ステージ４ａとガイドレール４ｂとによ
って、移動ミラー３を光軸方向に移動させる線形移動機
構４が構成される。
【０００３】基準光源１１から出力された波長が既知の
基準光１３はビームスプリッタ１により反射光１３ａと
通過光１３ｂとに二分岐され、反射光１３ａは固定ミラ
ー２で反射されてビームスプリッタ１を再通過し、受光
器７ａに入射される。また、通過光１３ｂは移動ミラー
３で反射され、ビームスプリッタ１に再入力された後、
さらにビームスプリッタ１で反射されて受光器７ａに入
射される。
基準光１３はビームスプリッタ１により反射光１３ａと
通過光１３ｂとに二分岐され、反射光１３ａは固定ミラ
ー２で反射されてビームスプリッタ１を再通過し、受光
器７ａに入射される。また、通過光１３ｂは移動ミラー
３で反射され、ビームスプリッタ１に再入力された後、
さらにビームスプリッタ１で反射されて受光器７ａに入
射される。
【０００４】この時、受光器７ａに入射される反射光１
３ａと通過光１３ｂとでは干渉を生じるため、受光器７
ａからは干渉光の強度に応じた電気信号１４が出力さ
れ、波長計算部１０に入力される。
３ａと通過光１３ｂとでは干渉を生じるため、受光器７
ａからは干渉光の強度に応じた電気信号１４が出力さ
れ、波長計算部１０に入力される。
【０００５】同様に、被測定光源９から出力された波長
が未知の被測定光１５は固定ミラー１２で反射され、ビ
ームスプリッタ１に入射される。ビームスプリッタ１に
入射された被測定光１５は反射光１５ａと通過光１５ｂ
とに二分岐され、反射光１５ａは固定ミラー２で反射さ
れてビームスプリッタ１を再通過し、受光器７ｂに入射
される。また、通過光１５ｂは移動ミラー３で反射さ
れ、ビームスプリッタ１に再入力された後、さらにビー
ムスプリッタ１で反射されて受光器７ｂに入射される。
が未知の被測定光１５は固定ミラー１２で反射され、ビ
ームスプリッタ１に入射される。ビームスプリッタ１に
入射された被測定光１５は反射光１５ａと通過光１５ｂ
とに二分岐され、反射光１５ａは固定ミラー２で反射さ
れてビームスプリッタ１を再通過し、受光器７ｂに入射
される。また、通過光１５ｂは移動ミラー３で反射さ
れ、ビームスプリッタ１に再入力された後、さらにビー
ムスプリッタ１で反射されて受光器７ｂに入射される。
【０００６】この時、受光器７ｂに入射される反射光１
５ａと通過光１５ｂとでは干渉を生じるため、受光器７
ｂからも干渉光の強度に応じた電気信号１６が出力さ
れ、波長計算部１０に入力される。
５ａと通過光１５ｂとでは干渉を生じるため、受光器７
ｂからも干渉光の強度に応じた電気信号１６が出力さ
れ、波長計算部１０に入力される。
【０００７】ここで、移動ミラー３は移動ステージ４ａ
に固定されており、移動ステージ４ａがガイドレール４
ｂ上を矢印方向に直線運動すると、電気信号１４・１６
は干渉による周期的に繰り返す光強度変化に対応した電
気信号となる。
に固定されており、移動ステージ４ａがガイドレール４
ｂ上を矢印方向に直線運動すると、電気信号１４・１６
は干渉による周期的に繰り返す光強度変化に対応した電
気信号となる。
【０００８】この電気信号１４・１６の波長は基準光１
３及び被測定光１５の波長に相当するため、線形移動機
構４の移動距離を任意設定し、波長計算部１０内におい
てその移動距離内での電気信号１４・１６の波形数を計
数すると被測定光９の波長が（１）・（２）式のように
求められる。
３及び被測定光１５の波長に相当するため、線形移動機
構４の移動距離を任意設定し、波長計算部１０内におい
てその移動距離内での電気信号１４・１６の波形数を計
数すると被測定光９の波長が（１）・（２）式のように
求められる。
【０００９】 Ｌ＝λ1 ｋ＝ｎλ2 ・・・（１） λ1 ＝ｎλ2 ／ｋ ・・・（２） ここで、Ｌは任意設定移動距離、λ1 は被測定光１５の
波長、ｋは電気信号１６の波形数、ｎは電気信号１４の
波形数、λ2 は基準光１３の波長である。図５は図４の
波長計の動作を説明する波形図であり、縦軸は電流、横
軸は移動ステージの移動距離をそれぞれ示す。
波長、ｋは電気信号１６の波形数、ｎは電気信号１４の
波形数、λ2 は基準光１３の波長である。図５は図４の
波長計の動作を説明する波形図であり、縦軸は電流、横
軸は移動ステージの移動距離をそれぞれ示す。
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】しかし、図４に示す構
成の光波長計では、被測定光の波長を高確度に測定する
ために波長が既知の光源を用いなければならないが、現
有するこのような光源は共振器長が長いため、装置全体
が大型化するという問題がある。また、基準光および被
測定光の二光束をビームスプリッタに入射する光波長計
では、光軸調整が複雑であり、しかも基準光源は共振器
径も大口径であることから、ビームスプリッタに基準光
および被測定光の二光束を入射する方法としては、基準
光もしくは測定光の光路を固定ミラー１２等を用いて変
え、ビームスプリッタに入射しなければならず、さらに
調整が複雑化する。
成の光波長計では、被測定光の波長を高確度に測定する
ために波長が既知の光源を用いなければならないが、現
有するこのような光源は共振器長が長いため、装置全体
が大型化するという問題がある。また、基準光および被
測定光の二光束をビームスプリッタに入射する光波長計
では、光軸調整が複雑であり、しかも基準光源は共振器
径も大口径であることから、ビームスプリッタに基準光
および被測定光の二光束を入射する方法としては、基準
光もしくは測定光の光路を固定ミラー１２等を用いて変
え、ビームスプリッタに入射しなければならず、さらに
調整が複雑化する。
【００１１】この発明は、基準光源や光路変更用の固定
ミラーを用いず、光軸調整が簡単でコンパクトな光波長
計を提供することを目的とする。
ミラーを用いず、光軸調整が簡単でコンパクトな光波長
計を提供することを目的とする。
【００１２】
【課題を解決するための手段】この目的を達成するため
に、この発明は、被測定光源９からの光を二分岐して出
力するビームスプリッタ１と、このビームスプリッタ１
から出力される一方の光をビームスプリッタ１に再入力
する固定ミラー２と、ビームスプリッタ１で二分岐され
た他方の光をビームスプリッタ１に再入力する移動ミラ
ー３と、移動ステージ部４ａとガイドレール部４ｂとで
構成され、移動ミラー３を光軸方向に移動させる線形移
動機構４と、固定ミラー２からの再入力光と移動ミラー
３からの再入力光の合成により生じる干渉光を光電変換
する受光器７と、移動ステージ部４ａの移動距離を検出
する測長器８と、線形移動機構４の移動により生じる干
渉光波形数と測長器８により測定した移動ステージ部４
ａの移動距離から被測定光源９の波長を算出する波長計
算部１０とを備える光波長計において、測長器８は線形
移動機構４の移動方向に平行に配置され、ガラス格子が
移動方向に垂直となるよう配列された固定ガラス格子８
ａと、移動ステージ部４ａに固定ガラス格子８ａと平行
となるように配置される移動ガラス格子８ｂと、固定ガ
ラス格子８ａに光が垂直入射されるよう移動ステージ部
４ａに配置される光源８ｃと、固定ガラス格子８ａと移
動ガラス格子８ｂとに入射された光の通過光、または回
折光を受光する受光器８ｄと、移動ステージ４ａの移動
により生じる受光器８ｄからの波形数から移動ステージ
４ａの移動距離を算出する距離計算部８ｅとを備える。
また、線形移動機構４の移動方向に平行に配置され、ガ
ラス格子が移動方向に垂直となるよう配列された固定ガ
ラス格子１７ａと、移動ステージ部４ａに固定ガラス格
子１７ａと平行となるように設置される移動ガラス格子
１７ｂと、移動ガラス格子１７ｂに光が垂直入射される
よう移動ステージ部４ａに設置される光源１７ｃと、移
動ガラス格子１７ｂと固定ガラス格子１７ａにより回折
された光源１７ｃからの光を受光する受光器１７ｄと、
移動ステージ部の移動により生じる受光器１７ｄからの
波形数から移動ステージの移動距離を算出する距離計算
部１７ｅを備える測長器１７を、測長器８に変えて備え
る。
に、この発明は、被測定光源９からの光を二分岐して出
力するビームスプリッタ１と、このビームスプリッタ１
から出力される一方の光をビームスプリッタ１に再入力
する固定ミラー２と、ビームスプリッタ１で二分岐され
た他方の光をビームスプリッタ１に再入力する移動ミラ
ー３と、移動ステージ部４ａとガイドレール部４ｂとで
構成され、移動ミラー３を光軸方向に移動させる線形移
動機構４と、固定ミラー２からの再入力光と移動ミラー
３からの再入力光の合成により生じる干渉光を光電変換
する受光器７と、移動ステージ部４ａの移動距離を検出
する測長器８と、線形移動機構４の移動により生じる干
渉光波形数と測長器８により測定した移動ステージ部４
ａの移動距離から被測定光源９の波長を算出する波長計
算部１０とを備える光波長計において、測長器８は線形
移動機構４の移動方向に平行に配置され、ガラス格子が
移動方向に垂直となるよう配列された固定ガラス格子８
ａと、移動ステージ部４ａに固定ガラス格子８ａと平行
となるように配置される移動ガラス格子８ｂと、固定ガ
ラス格子８ａに光が垂直入射されるよう移動ステージ部
４ａに配置される光源８ｃと、固定ガラス格子８ａと移
動ガラス格子８ｂとに入射された光の通過光、または回
折光を受光する受光器８ｄと、移動ステージ４ａの移動
により生じる受光器８ｄからの波形数から移動ステージ
４ａの移動距離を算出する距離計算部８ｅとを備える。
また、線形移動機構４の移動方向に平行に配置され、ガ
ラス格子が移動方向に垂直となるよう配列された固定ガ
ラス格子１７ａと、移動ステージ部４ａに固定ガラス格
子１７ａと平行となるように設置される移動ガラス格子
１７ｂと、移動ガラス格子１７ｂに光が垂直入射される
よう移動ステージ部４ａに設置される光源１７ｃと、移
動ガラス格子１７ｂと固定ガラス格子１７ａにより回折
された光源１７ｃからの光を受光する受光器１７ｄと、
移動ステージ部の移動により生じる受光器１７ｄからの
波形数から移動ステージの移動距離を算出する距離計算
部１７ｅを備える測長器１７を、測長器８に変えて備え
る。
【００１３】
【作用】この発明は、測長器８の構成として固定ガラス
格子８ａと移動ガラス格子８ｂを設け、光源８ｃからの
光が移動ステージ部４ａの移動に伴い明暗を生じるの
で、この明暗を計数することにより移動ステージ部４ａ
の移動距離を求め、その移動ステージ部４ａの移動距離
内で発生する被測定光の干渉縞波形数より、被測定光源
の波長を計算する。
格子８ａと移動ガラス格子８ｂを設け、光源８ｃからの
光が移動ステージ部４ａの移動に伴い明暗を生じるの
で、この明暗を計数することにより移動ステージ部４ａ
の移動距離を求め、その移動ステージ部４ａの移動距離
内で発生する被測定光の干渉縞波形数より、被測定光源
の波長を計算する。
【００１４】また、測長器１７の構成は、固定ガラス格
子１７ａと移動ガラス格子１７ｂを設け、光源１７ｃか
らの光が固定ガラス格子１７ａと移動ガラス格子１７ｂ
で回折され、回折次数の異なる光の合波光が移動ステー
ジ部４ａの移動に伴い干渉縞を生じるので、この干渉縞
波形数から移動ステージ部４ａの移動距離を求め、その
移動ステージ部４ａの移動距離内で発生する被測定光の
干渉縞波形数より、被測定光源の波長を計算する。
子１７ａと移動ガラス格子１７ｂを設け、光源１７ｃか
らの光が固定ガラス格子１７ａと移動ガラス格子１７ｂ
で回折され、回折次数の異なる光の合波光が移動ステー
ジ部４ａの移動に伴い干渉縞を生じるので、この干渉縞
波形数から移動ステージ部４ａの移動距離を求め、その
移動ステージ部４ａの移動距離内で発生する被測定光の
干渉縞波形数より、被測定光源の波長を計算する。
【００１５】
【実施例】次に、この発明による光波長計の実施例を図
１〜図３を参照して説明する。図１はこの発明の実施例
の構成図であり、光波長計を上方より見た図である。図
２は光波長計内の線形移動機構を横方から見た図であ
る。図３はガラス格子を用いた測長器の構成図である。
１〜図３を参照して説明する。図１はこの発明の実施例
の構成図であり、光波長計を上方より見た図である。図
２は光波長計内の線形移動機構を横方から見た図であ
る。図３はガラス格子を用いた測長器の構成図である。
【００１６】図１の１はビームスプリッタ、２は固定ミ
ラー、３は移動ミラー、４ａは移動ステージ、４ｂはガ
イドレール、５はボールネジ機構部、６はモーター部、
７は受光器、８は測長器、９は被測定光源、１０は波長
計算部である。
ラー、３は移動ミラー、４ａは移動ステージ、４ｂはガ
イドレール、５はボールネジ機構部、６はモーター部、
７は受光器、８は測長器、９は被測定光源、１０は波長
計算部である。
【００１７】被測定光源９から出力された波長が未知で
ある被測定光１５はビームスプリッタ１により反射光１
５ａと通過光１５ｂに二分岐され、反射光１５ａは固定
ミラー２で反射されてビームスプリッタ１を通過し、受
光器７に入射される。また、通過光１５ｂは移動ミラー
３で反射され、さらにビームスプリッタ１で反射されて
受光器７に入射される。この時、受光器７に入射される
反射光１５ａと通過光１５ｂとでは干渉を生じるため、
受光器７からは干渉光の強度に応じた電気信号１６が出
力され、波長計算部１０に入力される。
ある被測定光１５はビームスプリッタ１により反射光１
５ａと通過光１５ｂに二分岐され、反射光１５ａは固定
ミラー２で反射されてビームスプリッタ１を通過し、受
光器７に入射される。また、通過光１５ｂは移動ミラー
３で反射され、さらにビームスプリッタ１で反射されて
受光器７に入射される。この時、受光器７に入射される
反射光１５ａと通過光１５ｂとでは干渉を生じるため、
受光器７からは干渉光の強度に応じた電気信号１６が出
力され、波長計算部１０に入力される。
【００１８】ここで、移動ミラー３は移動ステージ４ａ
に固定されており、モーター部６の回転運動を線形運動
にするボールネジ機構部５により、移動ステージ４ａが
ガイドレール４ｂ上を矢印方向に直線運動すると、電気
信号１６は干渉による周期的に繰り返す光強度変化に対
応した電気信号となる。また、この電気信号の波長は被
測定光１５の波長に相当する。
に固定されており、モーター部６の回転運動を線形運動
にするボールネジ機構部５により、移動ステージ４ａが
ガイドレール４ｂ上を矢印方向に直線運動すると、電気
信号１６は干渉による周期的に繰り返す光強度変化に対
応した電気信号となる。また、この電気信号の波長は被
測定光１５の波長に相当する。
【００１９】次に測長器８の構成を図３に示す。図３は
測長器８の斜視図であり、４ａは移動ステージ、８ａは
固定ガラス格子、８ｂは移動ガラス格子、８ｃは光源、
８ｄは受光器、８ｅは距離計算部、８ｆは光軸である。
測長器８の斜視図であり、４ａは移動ステージ、８ａは
固定ガラス格子、８ｂは移動ガラス格子、８ｃは光源、
８ｄは受光器、８ｅは距離計算部、８ｆは光軸である。
【００２０】図３で、移動ステージ４ａに固定された光
源８ｃからの光は光軸８ｆに垂直に配置された固定ガラ
ス格子８ａと移動ステージ４ａに固定された移動ガラス
格子８ｂの各スリットを通過し、移動ステージ４ａに固
定された受光器８ｄに入射する。ここで、移動ステージ
４ａが矢印方向に移動すると、受光器８ｄから出力され
る電気信号はガラス格子の１ピッチにつき１つの高低の
波形となる。距離計算部８ｅ内では受光器８ｄからの波
形数を計数した値とガラス格子８ａの１ピッチ間の距離
から移動ステージの移動距離計算し、波長計算部１０に
出力する。
源８ｃからの光は光軸８ｆに垂直に配置された固定ガラ
ス格子８ａと移動ステージ４ａに固定された移動ガラス
格子８ｂの各スリットを通過し、移動ステージ４ａに固
定された受光器８ｄに入射する。ここで、移動ステージ
４ａが矢印方向に移動すると、受光器８ｄから出力され
る電気信号はガラス格子の１ピッチにつき１つの高低の
波形となる。距離計算部８ｅ内では受光器８ｄからの波
形数を計数した値とガラス格子８ａの１ピッチ間の距離
から移動ステージの移動距離計算し、波長計算部１０に
出力する。
【００２１】波長計算部１０内では電気信号１６の波形
数と、距離計算部８ｅからの移動ステージ４ａの移動距
離から（３）式の処理を行うことで被測定光１５の波長
を求める。
数と、距離計算部８ｅからの移動ステージ４ａの移動距
離から（３）式の処理を行うことで被測定光１５の波長
を求める。
【００２２】 λ1 ＝Ｌ／ｋ ・・・（３） ここで、Ｌは線形移動機構の移動距離、λ1 は被測定光
１５の波長、ｋは電気信号１６の波数である。
１５の波長、ｋは電気信号１６の波数である。
【００２３】つぎに、他の構成の測長器１７を使用した
光波長計の上方構成図を図７に示す。図７の４ａは移動
ステージ、１７ａは固定ガラス格子、１７ｂは移動ガラ
ス格子、１７ｃは光源、１７ｄは受光器、１７ｅは距離
計算部である。固定ガラス格子１７ａ、移動ガラス格子
１７ｂ、光源１７ｃ、受光器１７ｄ、距離計算部１７ｅ
は、図１の８ａ〜８ｅに対応しており、配置が異なって
いる。
光波長計の上方構成図を図７に示す。図７の４ａは移動
ステージ、１７ａは固定ガラス格子、１７ｂは移動ガラ
ス格子、１７ｃは光源、１７ｄは受光器、１７ｅは距離
計算部である。固定ガラス格子１７ａ、移動ガラス格子
１７ｂ、光源１７ｃ、受光器１７ｄ、距離計算部１７ｅ
は、図１の８ａ〜８ｅに対応しており、配置が異なって
いる。
【００２４】次に、測長器１７の構成を図６に示す。図
６は測長器１７の斜視図であり、移動ステージ４ａに固
定された光源１７ｃからの光１７ｆは光軸と垂直に配置
され、光を通過させる材料で作られた移動ガラス格子１
７ｂを通過すると同時に、０次光と回折次数の高い高次
光に回折される。
６は測長器１７の斜視図であり、移動ステージ４ａに固
定された光源１７ｃからの光１７ｆは光軸と垂直に配置
され、光を通過させる材料で作られた移動ガラス格子１
７ｂを通過すると同時に、０次光と回折次数の高い高次
光に回折される。
【００２５】回折された０次光と高次光は、光を反射さ
せる材料で作られた固定ガラス格子１７ａで反射・回折
され、再び移動ガラス格子１７ｂにより通過・回折さ
れ、受光器に達する。この時、移動ステージ４ａが図６
の矢印方向に移動すると、高次光の位相は変化するが０
次光の位相は変化しないため、受光器１７ｄからは位相
差に相当した正弦波が出力される。
せる材料で作られた固定ガラス格子１７ａで反射・回折
され、再び移動ガラス格子１７ｂにより通過・回折さ
れ、受光器に達する。この時、移動ステージ４ａが図６
の矢印方向に移動すると、高次光の位相は変化するが０
次光の位相は変化しないため、受光器１７ｄからは位相
差に相当した正弦波が出力される。
【００２６】距離計算部１７ｅ内では、受光器１７ｄか
らの波形数を計数した値と光源１７ｃの波長から移動ス
テージ４ａの移動距離を計算し、波長計算部１０に出力
される。波長計算部１０内では、電気信号１６の波形数
と距離計算部１７ｅからの移動ステージ４ａの移動距離
から（３）式の処理を行い、未知光の波長を求める。
らの波形数を計数した値と光源１７ｃの波長から移動ス
テージ４ａの移動距離を計算し、波長計算部１０に出力
される。波長計算部１０内では、電気信号１６の波形数
と距離計算部１７ｅからの移動ステージ４ａの移動距離
から（３）式の処理を行い、未知光の波長を求める。
【００２７】
【発明の効果】この発明によれば、移動ステージの移動
距離Ｌを測長器を用いて求めるようにしたので、基準光
源や固定ミラーを用いることなく、光軸調整が簡単でコ
ンパクトな光波長計を実現することができる。
距離Ｌを測長器を用いて求めるようにしたので、基準光
源や固定ミラーを用いることなく、光軸調整が簡単でコ
ンパクトな光波長計を実現することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明の実施例による光波長計の実施例の構
成図である。
成図である。
【図２】この発明による光波長計の線形移動機構の横方
構成図である。
構成図である。
【図３】測長器８の構成図である。
【図４】従来技術による光波長計の構成図である。
【図５】図４の波長計の動作を説明する波形図である。
【図６】測長器１７の構成図である。
【図７】この発明による図６の測長器を備えた光波長計
の構成図である。
の構成図である。
１ ビームスプリッタ ２ 固定ミラー ３ 移動ミラー ４ａ 移動ステージ ４ｂ ガイドレール ５ ボールネジ機構部 ６ モーター部 ７ 受光器 ８ 測長器 ８ａ 固定ガラス格子 ８ｂ 移動ガラス格子 ８ｃ 光源 ８ｄ 受光器 ８ｅ 距離計算部 ８ｆ 光軸 ９ 被測定光源 １０ 波長計算部 １７ 測長器 １７ａ 固定ガラス格子 １７ｂ 移動ガラス格子 １７ｃ 光源 １７ｄ 受光器 １７ｅ 距離計算部 １７ｆ 光軸
Claims (2)
- 【請求項１】 被測定光源(9) からの光を二分岐して出
力するビームスプリッタ(1) と、 このビームスプリッタ(1) から出力される一方の光をビ
ームスプリッタ(1) に再入力する固定ミラー(2) と、 他方の光をビームスプリッタに再入力する移動ミラー
(3) と、 移動ステージ部(4a)とガイドレール部(4b)とで構成さ
れ、移動ミラー(3) を光軸方向に移動させる線形移動機
構(4) と、 固定ミラー(2) からの再入力光と移動ミラー(3) からの
再入力光の合成により生じる干渉光を光電変換する受光
器(7) と、 移動ステージ部(4a)の移動距離を検出する測長器(8)
と、 線形移動機構(4) の移動で生じる干渉光波形数と測長器
(8) により測定した前記移動ステージ部(4a)の移動距離
から被測定光源(9) の波長を算出する波長計算部(10)と
を備える光波長計において、 測長器(8) は線形移動機構(4) の移動方向に平行に配置
され、ガラス格子が移動方向に垂直となるよう配列され
た固定ガラス格子(8a)と、 移動ステージ部(4a)に固定ガラス格子(8a)と平行となる
ように配置される移動ガラス格子(8b)と、 固定ガラス格子(8a)に光が垂直入射されるよう移動ステ
ージ部(4a)に配置される光源(8c)と、 固定ガラス格子(8a)と移動ガラス格子(8b)とに入射され
た光の通過光を受光する受光器(8d)と、 移動ステージ部(4a)の移動により生じる受光器(8d)から
の波形数から移動ステージ(4a)の移動距離を算出する距
離計算部(8e)とを備えることを特徴とする光波長計。 - 【請求項２】 線形移動機構(4) の移動方向に平行に配
置され、ガラス格子が移動方向に垂直となるよう配列さ
れた固定ガラス格子(17a) と、 移動ステージ部(4a)に固定ガラス格子(17a) と平行とな
るように設置される移動ガラス格子(17b) と、 移動ガラス格子(17b) に光が垂直入射されるよう移動ス
テージ部(4a)に設置される光源(17c) と、 移動ガラス格子(17b) と固定ガラス格子(17a) により回
折された光源(17c) からの光を受光する受光器(17d)
と、 移動ステージ部の移動により生じる受光器(17d) からの
波形数から移動ステージの移動距離を算出する距離計算
部(17e) を備える測長器(17)を測長器(8) にかえて備え
ることを特徴とする光波長計。
Priority Applications (4)
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