JPH01173416A - 薄膜磁気ヘッド - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は磁気記録再生装置に使用される薄膜磁気ヘッド
に係り、特に、コイル・電極の形成に電気メッキを材用
した薄膜磁気ヘッドに関する。

（従来技術とその問題点） テープレコーダ、磁気ディスク等の磁気記録再生装置に
おいては、薄膜磁気ヘッドを使用することによりトラッ
ク密度を上げ、記録密度を高めることか出来るが、その
反面コイルや電極などの幅を１０μｒｚ［（下と矧くす
る必要があり、そのため直流抵抗が大とならない様に前
記コイルや電極等の膜厚を厚くしなければならない。し
かし、厚い電極の膜を微柵に加工することは難かしいた
め、薄く電極の膜でパターン形成したのち、このパター
ンの厚さを電気メッキにより厚くすることが行なわれて
いるが、電気メッキを行うに際して、各コイルや電極等
にメッキ用電流を流すためのメッキ用引き出し線やメッ
キ用電極を形成する必要があった。

これらのメッキ用引き出し線やメッキ用電極はメッキプ
ロセスには必要ではあるが、磁気ヘッドとして使用する
際には不必要なものであり、メッキ工程が終了後、各ト
ラックを電気的に独立させるにはメッキ用引き出し線や
メッキ用電極をエツヂング技術等を利用して切断する必
要があり、その結果切断工程が余計に増える等の欠点が
あった。

また、構造的には、メッキ用引き出し線を切断するため
のスペースを必要とし、高密度記録用の薄膜磁気ヘッド
の製作を妨げる要因の１つとなっていた。

（問題点を解決するための手段） 本発明は上記問題点を解決するためになされたものであ
り、基板上に形成されたコイルまたはそのコイル引き出
し線等からなる第１の導体膜に、電気メッキにより第２
゛の導体膜を被着させてなる薄膜磁気ヘッドにおいて、
前記電気メッキ用引き出し電極を基板上に形成し、複数
の６ｒｉ記第１の導体膜をこの電気メッキ用引き出し電
極に半導体からなる同極のダイオードを介して接続する
ことにより第２の導体膜を被着可能ならしめたことを特
徴とする薄膜磁気ヘッドを提供しようとするものである
。

（実施例） 第１図（ａ）は本発明になる薄膜磁気ヘッド１０の平面
図、同図（ｂ）は同図（ａ）のＩ−Ｉ切断線に沿った断
面図、同図（Ｃ）は同図（ｂ）の要部Ｃ拡大図であり、
以下各図を用いて説明する。

上図において、１１は非磁性材からなる基板、１２はメ
ッキ用引き出し線であり、その上に絶縁ｐｌＡ１３を介
して磁性材からなる下コアが形成され、下コア１４の後
端１／１ａを中心にスパイラルコイル１５とコイル引き
出しａ１５ａが形成されている。１６は上コアであり、
下コア１４の後端部１４ａと磁気的に結合するように、
かつ、先端部において磁気キャップを形成するように下
コア１／Ｉと対向して設けられ磁気ヘッド部１７を構成
している。

１８は本発明の要部であるダイオードであり、メッキ引
き出し線１２とコイル引き出し８１５ａを電気的に接続
する様に絶縁ｖ１３中に埋設されている。

ダイオード１８はＰ型半導体１８ａとＮ型半導体１８ｂ
とを接合してなり、電流を一方行のみに流す礪能を有し
ている。１９はスパイラルコイル１５の他端部１５ｂか
らのリード線であり、絶縁ｐｌＱ２３に形成された図示
しないスルーホールに充填された導体を介して電気的に
接続されている。

第２図は複数の薄膜磁気ヘッドのスパイラルコイルとダ
イオード及びメッキ用引き出し線に関する電気的等価回
路である。同図から明らかな様に、各スパイラルコイル
１５．１５−１．１５−２は、それぞれ一方の引き出し
線１５ａ、　１５ａ−１，１，５ａ−２とメッキ用引き
出し４！１２との間に同極のダイオード１８．１８−１
．１８−２を介して並列に接続されている。従って、ス
パイラルコイル１５や引き出し１１１５ａをメッキによ
り厚く被膜するに際し、メッキ用引き出しａ１２を一つ
の電極どし、ダイオードの順方向に直流電流を流すこと
が出来るから、必要に応じてスパイラルコイル１５．１
５−１．１５−２の全であるいは一部にメッキを１４ｔ
ことが出来る。

磁気ヘッドして使用するに際しては、各スパイラルコイ
ル１５．１５−１．１５−２同志は極性の異なる２つの
ダイオードの直列（例えば１８と１８−１．１８と１８
−２等）を介して接続されたのと等価であるから、各ス
パイラルコイル１５゜１５−１．１５−２間は電気的に
絶縁状態にあるため、各スパイラルコイル１５．１５−
１゜１５−２．とメッキ用引き出し４！；！１２とを電
気的に切断する必要はなく、そのまま、磁気ヘッドとし
て使用出来る。

第３図（ａ）〜（ｆ）は本発明になる薄膜磁気ヘッド１
０の主要製造工程を示す説明図、第４図はウェハー全体
に形成されたメッキ用引き出し線の平面図であり、以下
各図を用いて製造方法の一実施例を説明する。

同図（ａ）に示す様に、絶縁非磁性材からなる２ｊ板１
１を用意し、この上にＮｉ、Ｃｕなどからなるメッキ引
き出し線１２を蒸着等の薄膜形成技術により形成したの
ち、その上にＳｉＯ２゜ＴｉＯ２，ＡＪｌｚＯｉなどの
絶縁膜１３を前記同様手段により形成する。

このとき、メッキ用引き出しＦ３１１２は、第４図に示
す様に、ウェハー２０上に例えば長方形の網目状等に形
成してもよい。２１はメッキ用電極端子である。

次に、同図（ｂ）に示す様に、パーマロイ、センダスト
、アモルファス、磁性体など軟磁性体膜を形成し、ウェ
ットまたはドライエツチングの手段により下コア１４を
形成する。

次に、同図（Ｉｃ）に示す様に、絶縁Ｗ１１３にメッキ
引ぎ出し４９１２に達するスルホール２２を設け、この
スルホール２２中に、ＣＶＤ、蒸着、スパッタリング等
の手段により、Ｎ型１８ｂ及びＰ型１８ａのアモルファ
スシリコンを順次積層し、ダイオード１８を形成する。

次に、同図（ｄ）に示す様に、Ｎｉ、Ｃｕなどの金属膜
を蒸着したのち、エツチング等の手段により、下コア１
４の一端部１４ａを中心として、スパイラルコイル１５
をコイル引き出しａ１５ａがダイオード１８と電気的に
接続する林に形成したのち、このコイル引き出し、？Ｑ
１５ａを一方の電極としてメッキを行い、スパイラルコ
イル１５に金属膜を被着し、スパイラルコイル１５の厚
さを厚くする。

次に、同図（ｅ）に示す様に、絶縁膜２３をスパイラル
コイル１５上に形成する。

次に、同図（ｆ）に示す様に、ｎｕ記上下コア１４同様
な方法で上コア１６を形成すると共に、図示しないスル
ーホールを介してスパイラルコイル１５の一端部１５ｂ
と電気的に接続するためのリード線１９を形成づること
により、第１図に示す本発明になる薄膜磁気ヘッド１０
を得ることが出来る。

第５図（ａ）は本発明の他の一実施例であるラダー型５
イルを有するＷＪｒｔＡ磁気ヘッド３０の要部を示ず平
面図、同図（ｂ）は同図（ａ）の■−■切断線に沿った
断面図、同図（Ｃ）は同図（ｂ）の要部拡大図であり、
以下各図を用いて説明でる。

３１は基板、３２はメッキ用引き出し線、３３は、第１
の絶縁膜３４にスルーホール３５をメッキ用引き出しｌ
６Ｊ３２に達する様に設け、このスルーホール３５にＮ
型３３１）及びＰ型３３ａのアモルファスシリコンを順
次積層することにより形成したダイオードである。３６
はダイオード３３上に設けたラダーフィルの下コイルで
あり、各下コイル３６は第２の絶縁層３７に形成された
スルーホール３８中に設けた導電体３９を介して上コイ
ル４０と接続され磁気コア４１をとりま（ようにラダー
コイルを形成している。

本実施例においては、下コイル３６の厚さをメッキによ
り厚くするために、メッキ用引き出し線３２を一方のメ
ッキ電極として用０ることが出来る。それ以外に、本実
施例では、下コイル３６と上コイル４０を接続するスル
ーホール３８中の導電体３９も前記同様、メッキ用引き
出し線３２を一方のメッキ電極として用いることにより
形成出来るという特長を有する。

導電体３９を形成したのち、前記同様、上コイル４０の
厚さをメッキ中により厚くすることが出来ることは古う
までもない。

また、磁気ヘッドとして使用するに際して、下コイル３
６同志は互に極性の異なる２つのダイオードを直列に接
続したものを介して接続された状態となっているため、
電気的に絶縁状態にあり、そのままヘッドとして使用す
ることが出来る。

（発明の効果） 上述の如く、本発明になる薄膜磁気ヘッドによれば、基
板上に形成されたコイルまたはそのコイル引き出し線等
からなる第１の導体膜に、電気メッキにより第２の導体
膜を被着させてなる薄膜磁気ヘッドにおいて、前記電気
メッキ用引き出し電極を基板上に形成し、複数の前記第
１の導体膜をこの電気メッキ用引き出し電極に半導体か
らなる同極のダイオードを介して接続することにより第
２の導体膜を被着可能ならしめた橘成により、メッキ工
程においては、メッキ用引き出し線を一方のメッキ電極
とすることにより第１の導体膜である複数コイル又はそ
の引き出し線に第２の導体膜の被着を可能とすると共に
ヘッドとして使用する際には、各コイル間は互に極性の
異なる２つのダイオードの直列接続を介して接続された
状態にあるから、電気的に絶縁状態にあり、そのますヘ
ッドとして用いることが出来るという特長を有する。

【図面の簡単な説明】

第１図（ａ）は本発明になる薄膜磁気ヘッドの平面図、
同図（ｂ）は同図（ａ）のＩ−Ｉ切断線に沿った断面図
、同図（Ｃ）は同図（１））の要部Ｃの拡大図、第２図
は複数の薄膜磁気ヘッドのスパイラルコイルとダイオー
ド及びメッキ用引き出し腺に関する電気的等価回路、第
３図（ａ）〜（ｆ）は本発明になる薄膜磁気ヘッドの主
要製造工程を示す説明図、第４図はウェハー全体に形成
されたメッキ用引き出し線の平面図、第５図（ａ）は本
発明の他の一実施例であるラダー型コイルを有する薄膜
磁気ヘッドの要部を示す平面図、同図（ｂ）は同図（ａ
）の■−■切断線に沿った断面図、同図（Ｃ）は同図（
ｂ）の要部拡大図である。 １０．３０・・・薄膜磁気ヘッド、 １１．３１・・・基板、 １２．３２・・・メッキ用引き出し線、１４・・・下コ
ア、１５・・・スパイラルコイル、 １５ａ・・・コイル引き出し線、１６・・・上コア、１
７・・・磁気ヘッド部、１８．３３・・・ダイオード、
１９・・・リードａ、３５．３８・・・スルーホール、
３６・・・下コイル、３９・・・導電体、４０・・・上
コイル。 ’ｊ７ｆ２．図

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 基板上に形成されたコイルまたはそのコイル引き出し線
   等からなる第１の導体膜に、電気メッキにより第２の導
   体膜を被着させてなる薄膜磁気ヘッドにおいて、 前記電気メッキ用引き出し電極を基板上に形成し複数の
   前記第１の導体膜をこの電気メッキ用引き出し電極に半
   導体からなる同極のダイオードを介して接続することに
   より第２の導体膜を被着可能ならしめたことを特徴とす
   る薄膜磁気ヘッド。