JPS6035317A - 薄膜磁気変換器ヘッドの製造方法 - Google Patents
薄膜磁気変換器ヘッドの製造方法Info
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- JPS6035317A JPS6035317A JP59005872A JP587284A JPS6035317A JP S6035317 A JPS6035317 A JP S6035317A JP 59005872 A JP59005872 A JP 59005872A JP 587284 A JP587284 A JP 587284A JP S6035317 A JPS6035317 A JP S6035317A
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- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/127—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
- G11B5/31—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive using thin films
- G11B5/3109—Details
- G11B5/313—Disposition of layers
- G11B5/3133—Disposition of layers including layers not usually being a part of the electromagnetic transducer structure and providing additional features, e.g. for improving heat radiation, reduction of power dissipation, adaptations for measurement or indication of gap depth or other properties of the structure
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/127—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
- G11B5/31—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive using thin films
- G11B5/3163—Fabrication methods or processes specially adapted for a particular head structure, e.g. using base layers for electroplating, using functional layers for masking, using energy or particle beams for shaping the structure or modifying the properties of the basic layers
- G11B5/3166—Testing or indicating in relation thereto, e.g. before the fabrication is completed
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- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Magnetic Heads (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は；薄膜磁気変換器ヘッドに関し、さらに具体的
には中間のテストが可能な改良変換器構造体に関する。
には中間のテストが可能な改良変換器構造体に関する。
現在の薄膜変換器ヘッドの設計ては、基板上に２層の磁
気材料がイ」着され、裏（後方）のギャップの所以外は
絶縁層がこれら透磁性の２層を分離しており、全体とし
ては磁極端部をなす変換器のギャップを通る閉磁路を有
するヨークが形成されている。実質的に平坦な、改良ら
せんコイルがヨークの２層を分離するｔ＠ 縁材ｆ、ｌ
ｌを通って延び、ヨークを形成する２層かららせんコイ
ルを絶標している。
気材料がイ」着され、裏（後方）のギャップの所以外は
絶縁層がこれら透磁性の２層を分離しており、全体とし
ては磁極端部をなす変換器のギャップを通る閉磁路を有
するヨークが形成されている。実質的に平坦な、改良ら
せんコイルがヨークの２層を分離するｔ＠ 縁材ｆ、ｌ
ｌを通って延び、ヨークを形成する２層かららせんコイ
ルを絶標している。
コイルの中心パッドはヨーク材料の第２層から形成され
るジャンパによって電気的に接続されている。この設計
の薄膜磁気変換器ヘッドは米国特許第４１９０８７２号
及び第４２１．９８５４号に開示されている。このヘッ
ドは十分に動作しているとは言え、製造過程での装置の
収率を危なくする様な成る製造上の制限を有する。先ず
装置は第２のパーマロイ層が付着さＪＬる迄はテストさ
れ得ず、付着さＪＬるとテストはより複雑と成り、故障
したコイルを再生処理する機械はもはやなくなる。
るジャンパによって電気的に接続されている。この設計
の薄膜磁気変換器ヘッドは米国特許第４１９０８７２号
及び第４２１．９８５４号に開示されている。このヘッ
ドは十分に動作しているとは言え、製造過程での装置の
収率を危なくする様な成る製造上の制限を有する。先ず
装置は第２のパーマロイ層が付着さＪＬる迄はテストさ
れ得ず、付着さＪＬるとテストはより複雑と成り、故障
したコイルを再生処理する機械はもはやなくなる。
最も固層１なテストは巻線が一巻分なくなる、即ち８巻
のコイルが７巻のコイルになる巻線の短絡である。巻き
数が増大すると、検出は段々困難になる。導体の巻線が
付着され、絶縁された後直ちにコイルをテストする事が
可能ならば、製造過程が簡単になり、テスト迄は完全に
処理されていた変換器を廃棄する事なく装置の大部分を
完全な仕様条件に迄再生処理する事が可能になる事は明
らかであろう。
のコイルが７巻のコイルになる巻線の短絡である。巻き
数が増大すると、検出は段々困難になる。導体の巻線が
付着され、絶縁された後直ちにコイルをテストする事が
可能ならば、製造過程が簡単になり、テスト迄は完全に
処理されていた変換器を廃棄する事なく装置の大部分を
完全な仕様条件に迄再生処理する事が可能になる事は明
らかであろう。
〔本発明の概要〕
本発明の改良された構造体・はコイル巻線材料の付着の
前にコイルの終端を製造する事によって形成される。コ
イル形成用の導電性の銅材料が付着される時はコイルの
連続性とコイルの巻線の分離が直ちにテストされる。製
造のこの段階におけるテストは単一の短絡した巻き部分
の同定、同様に欠陥の同定を容易にし、ここでコイルの
再生処理もしくは取り換えが可能になり良好な装置の収
率が増大される。この製造段階において下の絶縁体もし
くはパーマロイ素子に損傷を与える事なく銅のコイルを
除去する選択的食刻剤が使用される。
前にコイルの終端を製造する事によって形成される。コ
イル形成用の導電性の銅材料が付着される時はコイルの
連続性とコイルの巻線の分離が直ちにテストされる。製
造のこの段階におけるテストは単一の短絡した巻き部分
の同定、同様に欠陥の同定を容易にし、ここでコイルの
再生処理もしくは取り換えが可能になり良好な装置の収
率が増大される。この製造段階において下の絶縁体もし
くはパーマロイ素子に損傷を与える事なく銅のコイルを
除去する選択的食刻剤が使用される。
これによって導電性被覆、マスキング、銅の電着及びマ
スク除去が縁返し得る様になり、従来の処理段階に無駄
にする事なく他に欠陥のない完成装置を廃棄する必要な
く装置の使用を満足する巻線を形成する事が可能になる
。
スク除去が縁返し得る様になり、従来の処理段階に無駄
にする事なく他に欠陥のない完成装置を廃棄する必要な
く装置の使用を満足する巻線を形成する事が可能になる
。
第１図及び第２図に示された如く、薄膜変換器ヘッドが
セラミック基板１０上に形成されている。
セラミック基板１０上に形成されている。
】苅のパーマロイ極片１２及び１３がヨーク１４を形成
する。バック・ギャップ領域３２ではヨーク部材は互に
接触する。変換器ギャップ１６はギャップの材料１７の
厚さによって決定される。電気的端子条件１９が基板】
０上に形成される。連続コイルを、なす銅巻線２２がヨ
ーク１４の中を通り又端子条件１９上に延びていてヨー
ク１４からは絶縁層２３及び２４によって離され、電気
的接触をしている領域２７を除き端子条件】９からは絶
縁層２３によって分離されている。巻線２２の渦巻きは
広面積の端子条片１９から広面積の中心の端子パッド２
１迄延びている。第１図では拡大して示されているが、
極の先端領域における寸法Ａは代表的には２．５４ｃｍ
の一千分の一以下であり、変換器ヘッド組立体の他の寸
法も拡大された図面の寸法よりもこれに対応して小さい
。
する。バック・ギャップ領域３２ではヨーク部材は互に
接触する。変換器ギャップ１６はギャップの材料１７の
厚さによって決定される。電気的端子条件１９が基板】
０上に形成される。連続コイルを、なす銅巻線２２がヨ
ーク１４の中を通り又端子条件１９上に延びていてヨー
ク１４からは絶縁層２３及び２４によって離され、電気
的接触をしている領域２７を除き端子条件】９からは絶
縁層２３によって分離されている。巻線２２の渦巻きは
広面積の端子条片１９から広面積の中心の端子パッド２
１迄延びている。第１図では拡大して示されているが、
極の先端領域における寸法Ａは代表的には２．５４ｃｍ
の一千分の一以下であり、変換器ヘッド組立体の他の寸
法も拡大された図面の寸法よりもこれに対応して小さい
。
変換器ヘッドは通常の実施例ではスライダ素子の後端及
び背部の空気支持表面３ｏである非磁性セラミック支持
体１０上に形成される。最初の層は極の先端部１３及び
バック領域１５及び端子条件１９を含むヨーク層を形成
するための制限さ、１ｔた領域に付着される。バック領
域１５及び端子１９を含むヨーク層は、背部領域１８及
び極の先端１２を含み、空気支持表面３０に隣接する極
の先端領域の若干幅の広い部分を除き、上方ヨーク層１
４と同−形状及び１法を有する上方ヨーク層の下にある
。変換器ギャップ１６が電気的接触領域２７及びヨーク
のバック・ギャップ３２を除き全変換器表面の非導電性
、非磁性材料の薄層１７によって与え−られる。その厚
さはヨーク部分１２及び１３の極の先端領域間に適切な
寸法のギャップを与える様に制御される。次に第１の絶
縁層２３がヨークのバック・ギャップ領域３２及び電気
的接触領域２７を除いてヨークのバック領域層１５及び
端子条片１９からコイル２２を絶縁するために付着され
る。絶縁層２３は同様に極の先端領域１３からも除外さ
れる。部分的に製造さＪＬだ変換器組立体は表面を導電
性にするに十分な金属被膜が表面に付着され、次にフォ
シレジスト技法を使用してコイル２２の構造を画定する
マスクが付着され、露光された、非マスク領域上に銅を
電着する事によって連続したコイル２２をなす導電性層
が形成される。マスク及び下の金属被覆が除去される。
び背部の空気支持表面３ｏである非磁性セラミック支持
体１０上に形成される。最初の層は極の先端部１３及び
バック領域１５及び端子条件１９を含むヨーク層を形成
するための制限さ、１ｔた領域に付着される。バック領
域１５及び端子１９を含むヨーク層は、背部領域１８及
び極の先端１２を含み、空気支持表面３０に隣接する極
の先端領域の若干幅の広い部分を除き、上方ヨーク層１
４と同−形状及び１法を有する上方ヨーク層の下にある
。変換器ギャップ１６が電気的接触領域２７及びヨーク
のバック・ギャップ３２を除き全変換器表面の非導電性
、非磁性材料の薄層１７によって与え−られる。その厚
さはヨーク部分１２及び１３の極の先端領域間に適切な
寸法のギャップを与える様に制御される。次に第１の絶
縁層２３がヨークのバック・ギャップ領域３２及び電気
的接触領域２７を除いてヨークのバック領域層１５及び
端子条片１９からコイル２２を絶縁するために付着され
る。絶縁層２３は同様に極の先端領域１３からも除外さ
れる。部分的に製造さＪＬだ変換器組立体は表面を導電
性にするに十分な金属被膜が表面に付着され、次にフォ
シレジスト技法を使用してコイル２２の構造を画定する
マスクが付着され、露光された、非マスク領域上に銅を
電着する事によって連続したコイル２２をなす導電性層
が形成される。マスク及び下の金属被覆が除去される。
コイル２２はコイル中の巻き数が電気的に減少される様
な電気的短絡を生ずる事なく電気的接触領域２７から広
面積の表面３４迄連続した渦巻を形成しなくてはならな
い。
な電気的短絡を生ずる事なく電気的接触領域２７から広
面積の表面３４迄連続した渦巻を形成しなくてはならな
い。
この製造段階で、コイル２２は端子条片１９及びコイル
の端にある拡大された電気的接触領域３４を使用してテ
スト可能である。欠陥がある時、パーマロイ極片１３、
ギャップ材料１７もしくは絶縁体２３を傷つける事なく
銅のコイル層２２．３４だけを溶解する選択的食刻剤を
使用して欠陥コイルを再生処理する事が可能になる。こ
の様な機能を有する食刻剤はＰｈが８の、過硫酸アンモ
ニウムの２０％溶液である。欠陥銅層を除去した後、表
面はコイルの渦巻き及び広面積の電気的接触領域３４を
再び形成する様に、フオトレジスＩ〜材料が付着され、
選択的に露光され、現像され銅がめつきされ得る。
の端にある拡大された電気的接触領域３４を使用してテ
スト可能である。欠陥がある時、パーマロイ極片１３、
ギャップ材料１７もしくは絶縁体２３を傷つける事なく
銅のコイル層２２．３４だけを溶解する選択的食刻剤を
使用して欠陥コイルを再生処理する事が可能になる。こ
の様な機能を有する食刻剤はＰｈが８の、過硫酸アンモ
ニウムの２０％溶液である。欠陥銅層を除去した後、表
面はコイルの渦巻き及び広面積の電気的接触領域３４を
再び形成する様に、フオトレジスＩ〜材料が付着され、
選択的に露光され、現像され銅がめつきされ得る。
中間の電気テスト及び必要な再生処理が行なわれた後に
、残りの製造段階が遂行される。即ち絶縁層２４が付着
され、続いて最後のパーマロイ・ヨーク層１２．１８が
付着される。
、残りの製造段階が遂行される。即ち絶縁層２４が付着
され、続いて最後のパーマロイ・ヨーク層１２．１８が
付着される。
第１図は本発明を組み込んだ薄膜磁気変換器ヘッドの拡
大図平面図である。第２図は第１図の線２−２に沿った
さらに拡大部分断面図である。 １０・・・・セラミック基板、１２．１３・・・・パー
マロイ極片、１４・・・・ヨーク、１５・・・・バック
領域、１６・・・・変換器ギャップ、１８・・・・背部
領域、１９・・・・端子条片、２Ｊ・・・・中心パッド
、２２・・・・コイル巻線、２３．２４・・・・絶縁層
、２７・・・・電気的接触領域、３０・・・・空気支持
表面、３２・・・・ヨーク・バック・ギャップ領域、３
４・・・・表面の電気的接触領域。 出願人 インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・
コーポレーション 代理人 弁理士 山 本 仁 朗 （外１名） 第２図 第４図 第１頁の続き ０発 明 者 ラリ−・ニージン・デ ィビイ ０発 明 者 ジーン・アルヴイン・ ジョンソン アメリカ合衆国ミネソタ州９チェスター、ビスツ・ビュ
ー・コート・サウスウエスト３３１４番地アメリカ合衆
国ミネソタ州ロチェスター、フィフティーフイフス拳ス
トリート会ノースウェスト・ナンバー・ナインティトウ
３２幡地 手続補正書彷式） ％式％ １、事件の表ボ 昭和５９年 特許願 第５８７２号 ２、発明の名称 薄膜磁気変換器 ３、補正をする者 事件との関係 特許出願人 ゛レーション ４、代理人 ） ６、補正の対象 明細書全文 ７、補正の内容 別紙のとおり
大図平面図である。第２図は第１図の線２−２に沿った
さらに拡大部分断面図である。 １０・・・・セラミック基板、１２．１３・・・・パー
マロイ極片、１４・・・・ヨーク、１５・・・・バック
領域、１６・・・・変換器ギャップ、１８・・・・背部
領域、１９・・・・端子条片、２Ｊ・・・・中心パッド
、２２・・・・コイル巻線、２３．２４・・・・絶縁層
、２７・・・・電気的接触領域、３０・・・・空気支持
表面、３２・・・・ヨーク・バック・ギャップ領域、３
４・・・・表面の電気的接触領域。 出願人 インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・
コーポレーション 代理人 弁理士 山 本 仁 朗 （外１名） 第２図 第４図 第１頁の続き ０発 明 者 ラリ−・ニージン・デ ィビイ ０発 明 者 ジーン・アルヴイン・ ジョンソン アメリカ合衆国ミネソタ州９チェスター、ビスツ・ビュ
ー・コート・サウスウエスト３３１４番地アメリカ合衆
国ミネソタ州ロチェスター、フィフティーフイフス拳ス
トリート会ノースウェスト・ナンバー・ナインティトウ
３２幡地 手続補正書彷式） ％式％ １、事件の表ボ 昭和５９年 特許願 第５８７２号 ２、発明の名称 薄膜磁気変換器 ３、補正をする者 事件との関係 特許出願人 ゛レーション ４、代理人 ） ６、補正の対象 明細書全文 ７、補正の内容 別紙のとおり
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 磁気記録電体上に磁気遷移を記録し読み取るための薄膜
磁気変換器であって、 （１）基板上に磁性材料を付着して形成された極の先端
領域及びバック・ギャップ領域を含むヨーク構造体を形
成する２Ｍと、 （２）バック・ギャップ領域を除き上記極の先端領域に
変換器ギャップを形成する様に上記２層間に（＝Ｊ着さ
れた非磁気材料と、 （３）上記ヨーク構造体の２層間に少なく共夫々の一部
が存在する様に略らせん状の複数の巻回がらせん状の巻
口内に端子の端を有する要に伺着された平坦な導電性コ
イルと、 （４）」−記らせん状コイルの端子の端と電気的に接触
し、外部もしくは」二記平坦な導電性コイルに伸び、上
記平坦な導電性コイルのらせん状巻回のそれぞれの第２
の部分及び上記基板の間に４１着されでいる導電性部材
と、 （５）上記ヨーク構造体から上記導電性コイルを、上記
導電性部材から上記平坦な導電性コイルを電気的に絶縁
する絶縁材料とより成る薄ｌＢ４磁気変換器。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| US06/490,631 US4593334A (en) | 1983-05-02 | 1983-05-02 | Thin film transducer |
| US490631 | 1983-05-02 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6035317A true JPS6035317A (ja) | 1985-02-23 |
| JPH0241084B2 JPH0241084B2 (ja) | 1990-09-14 |
Family
ID=23948869
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59005872A Granted JPS6035317A (ja) | 1983-05-02 | 1984-01-18 | 薄膜磁気変換器ヘッドの製造方法 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4593334A (ja) |
| EP (1) | EP0126864B1 (ja) |
| JP (1) | JPS6035317A (ja) |
| DE (1) | DE3472319D1 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02199070A (ja) * | 1989-01-26 | 1990-08-07 | Nippon Steel Corp | 流し込み施工用耐火物 |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4814921A (en) * | 1984-10-17 | 1989-03-21 | Hitachi, Ltd. | Multilayered magnetic films and thin-film magnetic heads using the same as a pole |
| US4694368A (en) * | 1986-01-10 | 1987-09-15 | Read-Rite Corporation | Thin film magnetic head with three superimposed coils |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5584020A (en) * | 1978-12-21 | 1980-06-24 | Ibm | Thinnfilm magnetic head |
| JPS5814219U (ja) * | 1981-07-21 | 1983-01-28 | 松下電器産業株式会社 | 薄膜磁気ヘツド |
Family Cites Families (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4190872A (en) * | 1978-12-21 | 1980-02-26 | International Business Machines Corporation | Thin film inductive transducer |
| US4335410A (en) * | 1979-01-15 | 1982-06-15 | Magnex Corporation | Thin film magnetic transducer |
| JPS5814219B2 (ja) * | 1980-09-25 | 1983-03-17 | アロカ株式会社 | 体腔插入プロ−ブを用いた超音波診断装置のプロ−ブ位置検出器 |
| US4423451A (en) * | 1981-08-10 | 1983-12-27 | Sperry Corporation | Thin film magnetic head having disparate poles for pulse asymmetry compensation |
-
1983
- 1983-05-02 US US06/490,631 patent/US4593334A/en not_active Expired - Lifetime
-
1984
- 1984-01-18 JP JP59005872A patent/JPS6035317A/ja active Granted
- 1984-03-05 DE DE8484102330T patent/DE3472319D1/de not_active Expired
- 1984-03-05 EP EP84102330A patent/EP0126864B1/en not_active Expired
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5584020A (en) * | 1978-12-21 | 1980-06-24 | Ibm | Thinnfilm magnetic head |
| JPS5814219U (ja) * | 1981-07-21 | 1983-01-28 | 松下電器産業株式会社 | 薄膜磁気ヘツド |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02199070A (ja) * | 1989-01-26 | 1990-08-07 | Nippon Steel Corp | 流し込み施工用耐火物 |
| JPH0529631B2 (ja) * | 1989-01-26 | 1993-05-06 | Shinnippon Seitetsu Kk |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| DE3472319D1 (en) | 1988-07-28 |
| US4593334A (en) | 1986-06-03 |
| EP0126864A1 (en) | 1984-12-05 |
| EP0126864B1 (en) | 1988-06-22 |
| JPH0241084B2 (ja) | 1990-09-14 |
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