JPH01153520A - 超電導材の製造方法 - Google Patents
超電導材の製造方法Info
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- JPH01153520A JPH01153520A JP62309482A JP30948287A JPH01153520A JP H01153520 A JPH01153520 A JP H01153520A JP 62309482 A JP62309482 A JP 62309482A JP 30948287 A JP30948287 A JP 30948287A JP H01153520 A JPH01153520 A JP H01153520A
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Classifications
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02E—REDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
- Y02E40/00—Technologies for an efficient electrical power generation, transmission or distribution
- Y02E40/60—Superconducting electric elements or equipment; Power systems integrating superconducting elements or equipment
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- Inorganic Compounds Of Heavy Metals (AREA)
- Superconductor Devices And Manufacturing Methods Thereof (AREA)
- Superconductors And Manufacturing Methods Therefor (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明は、基材の表面上に超電導物質からなる皮膜が
形成された超電導材の製造方法に関するものである。
形成された超電導材の製造方法に関するものである。
（従来の技術〕
超電導材料は、既に高エネルギ粒子加速器、医療診断用
ＭＨＩ−ＣＴおよび物性研究装置などにおいて、超電導
マグネットの形で実用化されている。このような超電導
材料の応用分野は広く、今後、例えば、発電機、エネル
ギーの貯蔵や変換、リニアモーターカー、資源回収用磁
気分離装置、核融合炉、送電ケーブルおよび磁気シール
ド材等に対する超電導材料の応用が期待されており、更
に、超高速度コンピューター、赤外線検出器、および、
低雑音の増幅器やミキサー等に対する、ジョセフソン効
果を利用した超電導素子の応用が期待されている。これ
らが本格的に実用化されたときの産業的および社会的イ
ンパクトの大きさは計り知れないものがある。
ＭＨＩ−ＣＴおよび物性研究装置などにおいて、超電導
マグネットの形で実用化されている。このような超電導
材料の応用分野は広く、今後、例えば、発電機、エネル
ギーの貯蔵や変換、リニアモーターカー、資源回収用磁
気分離装置、核融合炉、送電ケーブルおよび磁気シール
ド材等に対する超電導材料の応用が期待されており、更
に、超高速度コンピューター、赤外線検出器、および、
低雑音の増幅器やミキサー等に対する、ジョセフソン効
果を利用した超電導素子の応用が期待されている。これ
らが本格的に実用化されたときの産業的および社会的イ
ンパクトの大きさは計り知れないものがある。
これまでに開発された代表的な超電導材料としてはＮｂ
−Ｔｉ合金があり、これは、現在９Ｔまでの磁界発生用
線材として、広く使用されている。 Ｎｂ−Ｔｉ合金の
Ｔｃ （超電導状態が存在する臨界温度）は、９にであ
る。
−Ｔｉ合金があり、これは、現在９Ｔまでの磁界発生用
線材として、広く使用されている。 Ｎｂ−Ｔｉ合金の
Ｔｃ （超電導状態が存在する臨界温度）は、９にであ
る。
このＮｂ −Ｔｉ合金よりも格段に高いＴｃを有する超
電導材料として、化合物系の超電導材料が開発され、現
在、Ｎｂ３Ｓｎ （Ｔｃ ： １８Ｋ ）およびＶ３Ｇ
ａ （Ｔｃ ：１５Ｋ＞が線材化され、実用に供されて
いる。更に、Ｎｂ、Ｇｅによれば、２３にのＴｃが得ら
れている。
電導材料として、化合物系の超電導材料が開発され、現
在、Ｎｂ３Ｓｎ （Ｔｃ ： １８Ｋ ）およびＶ３Ｇ
ａ （Ｔｃ ：１５Ｋ＞が線材化され、実用に供されて
いる。更に、Ｎｂ、Ｇｅによれば、２３にのＴｃが得ら
れている。
このように、長年にわたって高Ｔｃの超電導材料を得る
ための努力がなされてきたが、従来の合金系および化合
物系の超電導材料においては、現状ではＴｃ２３Ｋが大
きな壁になっている。即ち、Ｔｃが２３に以下の超電導
材料の冷却には、高価な液体ヘリウムを必要とするため
、これが超電導材料の広範な応用を阻害している。
ための努力がなされてきたが、従来の合金系および化合
物系の超電導材料においては、現状ではＴｃ２３Ｋが大
きな壁になっている。即ち、Ｔｃが２３に以下の超電導
材料の冷却には、高価な液体ヘリウムを必要とするため
、これが超電導材料の広範な応用を阻害している。
このＴｃの壁を大幅に打破する超電導物質に関し、１９
８６年にＩＢＭチェーリンヒ研究所のＭｕｌｌｅｒ氏等
が、Ｂａ−Ｌａ−Ｃｕ−０系の複合酸化物で超電導の徴
候が認められたことを発表して以来、複合酸化物超電導
物質の開発競争に拍車がかかった。即ち、１９８６年代
の超電導物質のＴｃは４０に級であったが、翌年（１９
８７年）の初めには、早くも液体窒素の温度である７７
Ｋを超えるＴｃををするＹ −Ｂａ−Ｃｕ−０系のＣｕ
、０ア基を含む複合酸化物超電導物質が開発され、その
Ｔｃは約９３Ｋに達した。
８６年にＩＢＭチェーリンヒ研究所のＭｕｌｌｅｒ氏等
が、Ｂａ−Ｌａ−Ｃｕ−０系の複合酸化物で超電導の徴
候が認められたことを発表して以来、複合酸化物超電導
物質の開発競争に拍車がかかった。即ち、１９８６年代
の超電導物質のＴｃは４０に級であったが、翌年（１９
８７年）の初めには、早くも液体窒素の温度である７７
Ｋを超えるＴｃををするＹ −Ｂａ−Ｃｕ−０系のＣｕ
、０ア基を含む複合酸化物超電導物質が開発され、その
Ｔｃは約９３Ｋに達した。
更に、その後も精力的に超電導物質の開発が続けられて
おり、最近、安定性等に問題はあるものの、室温で超電
導現象を示す超電導物質の開発も報告されている。
おり、最近、安定性等に問題はあるものの、室温で超電
導現象を示す超電導物質の開発も報告されている。
上述のように、液体窒素温度（７７Ｋ）で使用可能なＣ
ｕＨＯ，基を含む複合酸化物超電導物質が開発されたこ
とによって一超電導材料の前述した応用分野への実用化
の期待度が、−段と高められてきた。
ｕＨＯ，基を含む複合酸化物超電導物質が開発されたこ
とによって一超電導材料の前述した応用分野への実用化
の期待度が、−段と高められてきた。
超電導材料の実用化に当って必要なことは、超電導物質
の線材化、皮膜化等、その加工技術の開発である。
の線材化、皮膜化等、その加工技術の開発である。
このような加工技術のうち一超電導材料の皮膜化に関し
ては、スパッタリング法、電子ビーム蒸着法によって、
基材の表面上に複合酸化物超電導皮膜を形成する方法が
試みられており、最近ではレーザ蒸着法またはプラズマ
溶射法による皮膜の形成が研究されている。
ては、スパッタリング法、電子ビーム蒸着法によって、
基材の表面上に複合酸化物超電導皮膜を形成する方法が
試みられており、最近ではレーザ蒸着法またはプラズマ
溶射法による皮膜の形成が研究されている。
しかしながら、レーザ蒸着法またはプラズマ溶射法によ
って、基材の表面上にＣｕｇＯ，基を含む複合酸化物超
電導物質の皮膜を形成した場合に、レーザ蒸着まま、ま
たはプラズマ溶射ままでは、皮膜成分中の酸素量が不足
し、所望の超電導特性を有する皮膜を形成することがで
きない問題がある。
って、基材の表面上にＣｕｇＯ，基を含む複合酸化物超
電導物質の皮膜を形成した場合に、レーザ蒸着まま、ま
たはプラズマ溶射ままでは、皮膜成分中の酸素量が不足
し、所望の超電導特性を有する皮膜を形成することがで
きない問題がある。
そこで、レーザ蒸着法またはプラズマ溶射法によって、
基材の表面上にＣｕｘＯｙ基を含む複合酸化物超電導物
質の皮膜を形成し、このようにして得られたレーザ蒸着
まま、またはプラズマ溶射ままの超電導素材に対し、酸
素含有雰囲気中において、所定温度まで加熱した後、そ
の温度で所定時間保持し次いで所定速度で冷却すること
からなる熱処理を施し、これによって、前記皮膜に所望
の超電導特性を付与する試みがなされている。
基材の表面上にＣｕｘＯｙ基を含む複合酸化物超電導物
質の皮膜を形成し、このようにして得られたレーザ蒸着
まま、またはプラズマ溶射ままの超電導素材に対し、酸
素含有雰囲気中において、所定温度まで加熱した後、そ
の温度で所定時間保持し次いで所定速度で冷却すること
からなる熱処理を施し、これによって、前記皮膜に所望
の超電導特性を付与する試みがなされている。
しかしながら、超電導素材に、上述した加熱。
保持、冷却からなる熱処理を施すためには、長時間を要
し且つ大規模な設備が必要とされ、処理効率が悪く、加
熱温度によっては皮膜の一部が溶解する等の問題が生ず
る。
し且つ大規模な設備が必要とされ、処理効率が悪く、加
熱温度によっては皮膜の一部が溶解する等の問題が生ず
る。
従って、この発明の目的は、基材の表面上にＣｌｌＸ０
．基を含む複合酸化物超電導物質の皮膜が形成された超
電導材を製造するに当り、皮膜成分中の不足する酸素を
効率的に補給し、かくして、超電導特性の優れた皮膜を
有する超電導材を製造するための方法を提供することに
ある。
．基を含む複合酸化物超電導物質の皮膜が形成された超
電導材を製造するに当り、皮膜成分中の不足する酸素を
効率的に補給し、かくして、超電導特性の優れた皮膜を
有する超電導材を製造するための方法を提供することに
ある。
この発明は、基材の表面上に、ＣｕうＯｙ基を含む複合
酸化物超電導物質の皮膜を形成し、次いで、このように
して得られた超電導素材の皮膜から所定間隔をあけ、前
記超電導素材の両側に位置させて１対の放電用電極を設
け、前記１対の放電用電極間に電圧を印加してアーク放
電を行なわせることにより、アーク放電域内に存在する
酸素を励起させ、または、前記アーク放電に加えて、前
記超電導素材にバイアス電圧を印加し、前記超電導素材
に正の極性を付与し、これらによって、前記アーク放電
域内に存在する酸素を前記超電導素材の前記皮膜中に浸
透させ、かくして、前記皮膜に優れた超電導特性を付与
することに特徴を有するものである。
酸化物超電導物質の皮膜を形成し、次いで、このように
して得られた超電導素材の皮膜から所定間隔をあけ、前
記超電導素材の両側に位置させて１対の放電用電極を設
け、前記１対の放電用電極間に電圧を印加してアーク放
電を行なわせることにより、アーク放電域内に存在する
酸素を励起させ、または、前記アーク放電に加えて、前
記超電導素材にバイアス電圧を印加し、前記超電導素材
に正の極性を付与し、これらによって、前記アーク放電
域内に存在する酸素を前記超電導素材の前記皮膜中に浸
透させ、かくして、前記皮膜に優れた超電導特性を付与
することに特徴を有するものである。
この発明における超電導素材は、例えば、第４図に示す
レーザ蒸着装置または第５図に示すプラズマ溶射装置に
よってｉＪｌ製される。
レーザ蒸着装置または第５図に示すプラズマ溶射装置に
よってｉＪｌ製される。
第４図に示すレーザ蒸着装置は、真空容器４と、真空容
器４内に設けられた蒸着源５と、蒸着源５に向けてレー
ザａを発射させるためのレーザ発生装置（図示せず）と
からなっている。６は基材２の加熱用ヒータである。蒸
着源５としてＣｕｘＯｙ基を含む複合酸化物焼結体を使
用し、蒸着源５の上方に基材２を配置する。次いで、真
空容器４内を所定の真空度に減圧し、そして、レーザａ
を蒸着源５に照射して、蒸着源５から蒸発した粒子を、
ヒータ６で加熱されている基材２の表面上に付着させる
。かくして、基材２の表面上にＣｕ、Ｏ，基を含む複合
酸化物超電導物質の皮膜３が形成された超電導素材１が
調製される。
器４内に設けられた蒸着源５と、蒸着源５に向けてレー
ザａを発射させるためのレーザ発生装置（図示せず）と
からなっている。６は基材２の加熱用ヒータである。蒸
着源５としてＣｕｘＯｙ基を含む複合酸化物焼結体を使
用し、蒸着源５の上方に基材２を配置する。次いで、真
空容器４内を所定の真空度に減圧し、そして、レーザａ
を蒸着源５に照射して、蒸着源５から蒸発した粒子を、
ヒータ６で加熱されている基材２の表面上に付着させる
。かくして、基材２の表面上にＣｕ、Ｏ，基を含む複合
酸化物超電導物質の皮膜３が形成された超電導素材１が
調製される。
第５図に示すプラズマ溶射装置は、真空容器４と、真空
容器４内に設けられた溶射ノズル７と、溶射ノズル７に
設けられたタングステン電極８と、溶射ノズル７とタン
グステン電極８との間に接続された電源９とからなって
いる。真空容器４内に溶射ノズル７と対向して基材２を
配置する。次いで、真空容器４内を所定の真空度に減圧
し、溶射ノズル７内に、アルゴン、ヘリウム等の作動ガ
スおよびＣｕｘＯｙ基を含む複合酸化物超電導物質の粉
末をそれぞれ供給し、そして、電源９を作動させて、溶
射ノズル７からタングステン電極８に向けてプラズマジ
ェットを発生させる。かくして、基材２の表面上にＣｕ
、Ｏ，基を含む複合酸化物超電導物質の皮膜３が形成さ
れた超電導素材ｌが調製される。
容器４内に設けられた溶射ノズル７と、溶射ノズル７に
設けられたタングステン電極８と、溶射ノズル７とタン
グステン電極８との間に接続された電源９とからなって
いる。真空容器４内に溶射ノズル７と対向して基材２を
配置する。次いで、真空容器４内を所定の真空度に減圧
し、溶射ノズル７内に、アルゴン、ヘリウム等の作動ガ
スおよびＣｕｘＯｙ基を含む複合酸化物超電導物質の粉
末をそれぞれ供給し、そして、電源９を作動させて、溶
射ノズル７からタングステン電極８に向けてプラズマジ
ェットを発生させる。かくして、基材２の表面上にＣｕ
、Ｏ，基を含む複合酸化物超電導物質の皮膜３が形成さ
れた超電導素材ｌが調製される。
次いで、上述のようにして調製された超電導素材１を第
１図に示す酸素含有雰囲気の容器１０内に配置する。そ
して、第１図に示すように、超電導素材１の皮膜３から
所定間隔をあけ、超電導素材１の両側に位置させて、１
対の放電用電極１１゜１１′を配設する。放電用電極１
１．１１’間に導線１２を接続し、導線１２の途中に電
源１３を設ける。
１図に示す酸素含有雰囲気の容器１０内に配置する。そ
して、第１図に示すように、超電導素材１の皮膜３から
所定間隔をあけ、超電導素材１の両側に位置させて、１
対の放電用電極１１゜１１′を配設する。放電用電極１
１．１１’間に導線１２を接続し、導線１２の途中に電
源１３を設ける。
容器１０内の圧力を例えば２００Ｔｏｒｒに保持し、電
［１３によって放電用電極１１．１１’間に電圧を印加
する。この結果、放電用電極１１．１１’においてアー
ク放電が発生し、アーク放電域内に存在する雰囲気中の
酸素が励起される。励起された酸素は、超電導素材１の
皮膜３中に浸透し、皮膜３の成分中に不足する酸素が効
率的に補給される。
［１３によって放電用電極１１．１１’間に電圧を印加
する。この結果、放電用電極１１．１１’においてアー
ク放電が発生し、アーク放電域内に存在する雰囲気中の
酸素が励起される。励起された酸素は、超電導素材１の
皮膜３中に浸透し、皮膜３の成分中に不足する酸素が効
率的に補給される。
かくして、基材２の表面上に超電導特性の優れたＣｕつ
０．基を含む複合酸化物超電導物質の皮膜３が形成され
た超電導材が製造される。
０．基を含む複合酸化物超電導物質の皮膜３が形成され
た超電導材が製造される。
超電導素材１がある程度以上の幅を有している場合には
、放電用電極１１．１１’を超電導素材１の幅方向に移
動させながら放電させる。かくすることにより、超電導
素材１の皮膜３の全面にわたり、均一に酸素の補給が行
なわれる。
、放電用電極１１．１１’を超電導素材１の幅方向に移
動させながら放電させる。かくすることにより、超電導
素材１の皮膜３の全面にわたり、均一に酸素の補給が行
なわれる。
第２図に示すように、１対の放電用電極１１゜１１′を
間に挟むように、超電導素材１の皮膜３に向けて酸素含
有ガスを噴射するためのガス噴出管１４を設け、ガス噴
出管１４から 放電用電極１１゜１１’間を通し、超電
導用素材１の皮膜３に向けて酸素含有ガスを噴射せしめ
れば、皮膜成分中に対する酸素の補給をより効果的に行
なうことができる。なお、ガス噴出管１４からの酸素含
有ガスの噴射は、プラズマジェットによって行なっても
よい。
間に挟むように、超電導素材１の皮膜３に向けて酸素含
有ガスを噴射するためのガス噴出管１４を設け、ガス噴
出管１４から 放電用電極１１゜１１’間を通し、超電
導用素材１の皮膜３に向けて酸素含有ガスを噴射せしめ
れば、皮膜成分中に対する酸素の補給をより効果的に行
なうことができる。なお、ガス噴出管１４からの酸素含
有ガスの噴射は、プラズマジェットによって行なっても
よい。
第３図は、この発明の他の実施態様を示す容器１０の断
面図である。この実施態様においては、前述したように
、容器１０内に配置された放電用電極１１．１１’間に
おいてアーク放電を発生させるほか、超電導素材ｌにバ
イアス電圧を印加する。
面図である。この実施態様においては、前述したように
、容器１０内に配置された放電用電極１１．１１’間に
おいてアーク放電を発生させるほか、超電導素材ｌにバ
イアス電圧を印加する。
このために、第３図に示すように、超電導゛外素材１は
別の電源１５の正極側に導線１６によって接続されてい
る。電源１５の負極側は、導線１６’によって接地され
ている。
別の電源１５の正極側に導線１６によって接続されてい
る。電源１５の負極側は、導線１６’によって接地され
ている。
この結果、超電導素材１に正の極性が付与されるので、
アーク放電域内に存在する負の極性を有する酸素イオン
は、超電導素材１の皮膜３に電気的に吸着され、皮膜３
中に対する酸素の浸透が促進される。
アーク放電域内に存在する負の極性を有する酸素イオン
は、超電導素材１の皮膜３に電気的に吸着され、皮膜３
中に対する酸素の浸透が促進される。
次に、この発明を実施例により説明する。
〔実施例１〕
蒸着源としての複合酸化物焼結体として、Ｙ＋、 Ｊａ
ｏ、 ６ｃｕｏｘの成分組成を有する、直径２０議■、
厚さ１０ｍ−の円盤状の複合酸化物焼結体を使用し、被
蒸着体としての基材として、１辺の長さが１５鶴で厚さ
が１ｍの、イツトリウム安定化ジルコニア（ＹＳＺ）か
らなる四角形状の板を使用し、第３図に示したレーザ蒸
着装置により下記条件で基材の表面上に超電導物質の皮
膜を形成した。
ｏ、 ６ｃｕｏｘの成分組成を有する、直径２０議■、
厚さ１０ｍ−の円盤状の複合酸化物焼結体を使用し、被
蒸着体としての基材として、１辺の長さが１５鶴で厚さ
が１ｍの、イツトリウム安定化ジルコニア（ＹＳＺ）か
らなる四角形状の板を使用し、第３図に示したレーザ蒸
着装置により下記条件で基材の表面上に超電導物質の皮
膜を形成した。
（ａｌ 真空容器の真空度： １０−”Ｔｏｒｒ （
酸素雰囲気）（ｂｌ 基材の加熱温度ニア００℃ ｔｅｌ レーザビームの種類：炭酸ガスレーザ＋ｄ＋
レーザビームの出カニ３００Ｗ＋ｅ＋ レーザビ
ームの照射時間＝５分かくして、基材の表面上にＹｏ、
Ｊａｏ、 ｂｃｕ（Ｏｙからなる成分組成を有する厚
さ２μｍの皮膜が形成された超電導素材を調製した。
酸素雰囲気）（ｂｌ 基材の加熱温度ニア００℃ ｔｅｌ レーザビームの種類：炭酸ガスレーザ＋ｄ＋
レーザビームの出カニ３００Ｗ＋ｅ＋ レーザビ
ームの照射時間＝５分かくして、基材の表面上にＹｏ、
Ｊａｏ、 ｂｃｕ（Ｏｙからなる成分組成を有する厚
さ２μｍの皮膜が形成された超電導素材を調製した。
次いで、この超電導素材に対し、第１図に示した装置に
より下記条件でアーク放電を施して、その皮膜成分中に
酸素を補給し、本発明超電導材点ｌを製造した。
より下記条件でアーク放電を施して、その皮膜成分中に
酸素を補給し、本発明超電導材点ｌを製造した。
（ａｌ 容器内の雰囲気：Ｏ，：８０％、＾ｒ；２０
％＋１＋１ 容器内の圧カニ ２００Ｔｏｒｒｆｃ）
放電用電源の出カニ８ＫＷ ｆｄｌ 放電時間＝１０分 〔実施例２〕 実施例１により調製された超電導素材に対し、第３図に
示した装置により、実施例１に述べたアーク放電に加え
て、超電導素材に３００ｖのバイアス電圧を印加するこ
とによりその皮膜成分中に酸素を補給し、本発明超電導
材１１ｈ２を製造した。
％＋１＋１ 容器内の圧カニ ２００Ｔｏｒｒｆｃ）
放電用電源の出カニ８ＫＷ ｆｄｌ 放電時間＝１０分 〔実施例２〕 実施例１により調製された超電導素材に対し、第３図に
示した装置により、実施例１に述べたアーク放電に加え
て、超電導素材に３００ｖのバイアス電圧を印加するこ
とによりその皮膜成分中に酸素を補給し、本発明超電導
材１１ｈ２を製造した。
上記により製造された本発明超電導材！ｌｈ１． Ｎａ
２、および、比較のための実施例１により調製された蒸
着ままの超電導素材（以下、比較用超電導材という）の
、Ｔｃ （超電導臨界温度）および７７ＫにおけるＪｃ
（ｔｌａｌ電界密度）を、四端子抵抗測定法によって調
べた。
２、および、比較のための実施例１により調製された蒸
着ままの超電導素材（以下、比較用超電導材という）の
、Ｔｃ （超電導臨界温度）および７７ＫにおけるＪｃ
（ｔｌａｌ電界密度）を、四端子抵抗測定法によって調
べた。
この結果を、第１表に示す。
第 １ 表
第１表から明らかなように、本発明超電導材は比較用超
電導材に比べてＴｃに優れており、特に、７７Ｋにおけ
るＪｃは、比較用超電導材の場合には得られないのに対
し、本発明超電導材の場合には高い値を示した。また、
本発明超電導材の場合には７７にでマイスナー効果が確
認された。
電導材に比べてＴｃに優れており、特に、７７Ｋにおけ
るＪｃは、比較用超電導材の場合には得られないのに対
し、本発明超電導材の場合には高い値を示した。また、
本発明超電導材の場合には７７にでマイスナー効果が確
認された。
以上述べたように、この発明によれば、基材の表面上に
ＣｕｘＯｙ基を含む複合酸化物超電導物質の皮膜が形成
された超電導材を製造するに当り、皮膜成分中に不足す
る酸素が効果的に補給され、かくして、超電導特性の優
れた皮膜を有する超電導材を製造することができる工業
上有用な効果がもたらされる。
ＣｕｘＯｙ基を含む複合酸化物超電導物質の皮膜が形成
された超電導材を製造するに当り、皮膜成分中に不足す
る酸素が効果的に補給され、かくして、超電導特性の優
れた皮膜を有する超電導材を製造することができる工業
上有用な効果がもたらされる。
第１図および第２図はこの発明の方法によって超電導素
材の皮膜成分中に酸素を補給する一実施態様を示す概略
断面図、第３図はその他の実施態様を示す概略断面図、
第４図はこの発明の方法に使用される超電導素材を製造
するためのレーザ蒸着装置を示す概略断面図、第５図は
同じく超電導素材を製造するためのプラズマ溶射装置を
示す概略断面図である。図面において、 １・・・超電導素材、 ２・・・基材、３・・・皮
ｎり、 ４・・・真空容器、５・・・蒸着源
、 ６・・・ヒータ、７・・・溶射ノズル、
８・・・タングステン電極、９・・・電源、
１０・・・容器、１１．１１’・・・放電用電
極、 １２・・・導線 １３・・・電源、１４・・
・ガス噴出管、 Ｉ５・・・バイアス電圧印加用電源、 １６・・・導線。 第１図 第２図 第３図 第 ４ 図 第５図
材の皮膜成分中に酸素を補給する一実施態様を示す概略
断面図、第３図はその他の実施態様を示す概略断面図、
第４図はこの発明の方法に使用される超電導素材を製造
するためのレーザ蒸着装置を示す概略断面図、第５図は
同じく超電導素材を製造するためのプラズマ溶射装置を
示す概略断面図である。図面において、 １・・・超電導素材、 ２・・・基材、３・・・皮
ｎり、 ４・・・真空容器、５・・・蒸着源
、 ６・・・ヒータ、７・・・溶射ノズル、
８・・・タングステン電極、９・・・電源、
１０・・・容器、１１．１１’・・・放電用電
極、 １２・・・導線 １３・・・電源、１４・・
・ガス噴出管、 Ｉ５・・・バイアス電圧印加用電源、 １６・・・導線。 第１図 第２図 第３図 第 ４ 図 第５図
Claims (2)
- （１）基材の表面上に、Ｃｕ＿ｘＯ＿ｙ基を含む複合酸
化物超電導物質の皮膜を形成し、次いで、このようにし
て得られた超電導素材の皮膜から所定間隔をあけ、前記
超電導素材の両側に位置させて１対の放電用電極を設け
、前記１対の放電用電極間に電圧を印加してアーク放電
を行なわせることにより、アーク放電域内に存在する酸
素を励起させて、前記酸素を前記超電導素材の前記皮膜
中に浸透させ一かくして、皮膜成分中に酸素を補給し、
前記皮膜に優れた超電導特性を付与することを特徴とす
る一超電導材の製造方法。 - （２）基材の表面上に、Ｃｕ＿ｘＯ＿ｙ基を含む複合酸
化物超電導物質の皮膜を形成し、次いで、このようにし
て得られた超電導素材の皮膜から所定間隔をあけ、前記
超電導素材の両側に位置させて１対の放電用電極を設け
、前記１対の放電用電極間に電圧を印加してアーク放電
を行なわせることにより、アーク放電域内に存在する酸
素を励起させて、前記酸素を前記超電導素材の前記皮膜
中に浸透させ、且つ、前記超電導素材にバイアス電圧を
印加し、前記超電導素材に正の極性を付与することによ
って、前記酸素の前記皮膜中への浸透を促進し、かくし
て、皮膜成分中に酸素を補給し、前記皮膜に優れた超電
導特性を付与することを特徴とする、超電導材の製造方
法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62309482A JPH01153520A (ja) | 1987-12-09 | 1987-12-09 | 超電導材の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62309482A JPH01153520A (ja) | 1987-12-09 | 1987-12-09 | 超電導材の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01153520A true JPH01153520A (ja) | 1989-06-15 |
| JPH0531494B2 JPH0531494B2 (ja) | 1993-05-12 |
Family
ID=17993518
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62309482A Granted JPH01153520A (ja) | 1987-12-09 | 1987-12-09 | 超電導材の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01153520A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0360404A (ja) * | 1989-04-24 | 1991-03-15 | Nippon Steel Corp | 酸化物超電導体の製造方法 |
-
1987
- 1987-12-09 JP JP62309482A patent/JPH01153520A/ja active Granted
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0360404A (ja) * | 1989-04-24 | 1991-03-15 | Nippon Steel Corp | 酸化物超電導体の製造方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0531494B2 (ja) | 1993-05-12 |
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