JPH01130536U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH01130536U JPH01130536U JP2700288U JP2700288U JPH01130536U JP H01130536 U JPH01130536 U JP H01130536U JP 2700288 U JP2700288 U JP 2700288U JP 2700288 U JP2700288 U JP 2700288U JP H01130536 U JPH01130536 U JP H01130536U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pusher
- carrier
- pushers
- semiconductor wafers
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- Prior art date
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- Granted
Links
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 claims description 8
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 6
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
Description
第１図は本考案に係る半導体ウエーハ立替装置
の一実施例を示す正面図、第２図は第１図装置の
平面図、第３図は第１図装置の側面図、第４図は
第１図装置のプツシヤ部を示す拡大正面図、第５
図は第４図装置の平面図、第６図は第４図装置の
側面図、第７図は第１図装置のプツシヤ部の過負
荷検知手段を示す拡大部分側面図である。第８図
はウエーハを整列収納したキヤリアを示す斜視図
、第９図はウエーハを整列保持したボートを示す
斜視図、第１０図は半導体ウエーハ立替装置の従
来例を示す概略構成図である。 １……半導体ウエーハ、３……キヤリア、５…
…ボート、２６……ホルダ、２８……プツシヤ、
３５……プツシヤ単体、４３……過負荷検知手段
。
の一実施例を示す正面図、第２図は第１図装置の
平面図、第３図は第１図装置の側面図、第４図は
第１図装置のプツシヤ部を示す拡大正面図、第５
図は第４図装置の平面図、第６図は第４図装置の
側面図、第７図は第１図装置のプツシヤ部の過負
荷検知手段を示す拡大部分側面図である。第８図
はウエーハを整列収納したキヤリアを示す斜視図
、第９図はウエーハを整列保持したボートを示す
斜視図、第１０図は半導体ウエーハ立替装置の従
来例を示す概略構成図である。 １……半導体ウエーハ、３……キヤリア、５…
…ボート、２６……ホルダ、２８……プツシヤ、
３５……プツシヤ単体、４３……過負荷検知手段
。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 複数の半導体ウエーハを整列させて保持たキヤ
リア或いはボートからその上方に配置されたホル
ダへ、上記半導体ウエーハをプツシヤの突上げ動
作により一括して移し替える装置において、 上記プツシヤを一対のプツシヤ単体に単独退入
動作可能に分割し、そのプツシヤ単体の退入動作
を検出する過負荷検知手段を各プツシヤ単体に設
けたことを特徴とする半導体ウエーハ立替装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2700288U JPH0537475Y2 (ja) | 1988-02-29 | 1988-02-29 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2700288U JPH0537475Y2 (ja) | 1988-02-29 | 1988-02-29 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01130536U true JPH01130536U (ja) | 1989-09-05 |
| JPH0537475Y2 JPH0537475Y2 (ja) | 1993-09-22 |
Family
ID=31249129
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2700288U Expired - Lifetime JPH0537475Y2 (ja) | 1988-02-29 | 1988-02-29 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0537475Y2 (ja) |
-
1988
- 1988-02-29 JP JP2700288U patent/JPH0537475Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0537475Y2 (ja) | 1993-09-22 |
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