JPH01130539U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH01130539U JPH01130539U JP2700588U JP2700588U JPH01130539U JP H01130539 U JPH01130539 U JP H01130539U JP 2700588 U JP2700588 U JP 2700588U JP 2700588 U JP2700588 U JP 2700588U JP H01130539 U JPH01130539 U JP H01130539U
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pusher
- boat
- held
- pusher unit
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- Prior art date
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- Granted
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- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 claims description 8
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 5
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
Description
第１図は本考案に係る半導体ウエーハ立替装置
の一実施例を示す正面図、第２図は第１図装置の
平面図、第３図は第１図装置の側面図、第４図は
第１図装置のプツシヤ部を示す拡大正面図、第５
図は第４図プツシヤ部の平面図、第６図は第４図
プツシヤ部の側面図、第７図は第１図装置のプツ
シヤ部の過負荷検知手段を示す拡大部分側面図、
第８図乃至第１０図は熱処理済みウエーハをボー
トからホルダへ移し替える要領を示す概略構成図
で、第８図はプツシヤの突出動作前の状態を示し
、第９図はプツシヤの初期突出動作状態を示し、
第１０図はホルダが下降端に保持された状態を示
す。第１１図はウエーハを整列収納したキヤリア
を示す斜視図、第１２図はウエーハを整列保持し
たボートを示す斜視図、第１３図は半導体ウエー
ハ立替装置の従来例を示す概略構成図である。 １……半導体ウエーハ、５……ボート、２６…
…ホルダ、２８……プツシヤ、３５……プツシヤ
単体、４３……過負荷検知手段。
の一実施例を示す正面図、第２図は第１図装置の
平面図、第３図は第１図装置の側面図、第４図は
第１図装置のプツシヤ部を示す拡大正面図、第５
図は第４図プツシヤ部の平面図、第６図は第４図
プツシヤ部の側面図、第７図は第１図装置のプツ
シヤ部の過負荷検知手段を示す拡大部分側面図、
第８図乃至第１０図は熱処理済みウエーハをボー
トからホルダへ移し替える要領を示す概略構成図
で、第８図はプツシヤの突出動作前の状態を示し
、第９図はプツシヤの初期突出動作状態を示し、
第１０図はホルダが下降端に保持された状態を示
す。第１１図はウエーハを整列収納したキヤリア
を示す斜視図、第１２図はウエーハを整列保持し
たボートを示す斜視図、第１３図は半導体ウエー
ハ立替装置の従来例を示す概略構成図である。 １……半導体ウエーハ、５……ボート、２６…
…ホルダ、２８……プツシヤ、３５……プツシヤ
単体、４３……過負荷検知手段。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 ボート上に整列保持した複数の半導体ウエーハ
を、プツシヤの突上げ動作により該ボートの上方
に配置されたホルダへ一括して移し替える装置に
おいて、 上記プツシヤを、二段突出動作可能に、かつ、
単独退入動作可能に分割した一対のプツシヤ単体
で構成し、各プツシヤ単体に、初期突出動作によ
り定位置に突出保持された上記プツシヤ単体の退
入動作を検出する過負荷検知手段を設けたことを
特徴とする半導体ウエーハ立替装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2700588U JPH0310672Y2 (ja) | 1988-02-29 | 1988-02-29 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2700588U JPH0310672Y2 (ja) | 1988-02-29 | 1988-02-29 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01130539U true JPH01130539U (ja) | 1989-09-05 |
| JPH0310672Y2 JPH0310672Y2 (ja) | 1991-03-15 |
Family
ID=31249135
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2700588U Expired JPH0310672Y2 (ja) | 1988-02-29 | 1988-02-29 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0310672Y2 (ja) |
-
1988
- 1988-02-29 JP JP2700588U patent/JPH0310672Y2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0310672Y2 (ja) | 1991-03-15 |
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