JPH01174935U - - Google Patents

Description

【図面の簡単な説明】

第１図乃至第８図は本考案に係るウエーハ立替
装置の一実施例を説明するためのもので、第１図
はウエーハ立替装置の概略構成を示す平面図、第
２図乃至第４図はキヤリアベース部の具体的構造
例を示す平面図、正面図及び側面図、第５図乃至
第８図はウエーハ立替装置の各動作状態を示す各
平面図である。第９図はＢａｃｋ ｔｏ Ｂａｃ
ｋ方式でのウエーハを示す側面図、第１０図はキ
ヤリアの一例を示す斜視図、第１１図はボートの
一例を示す斜視図、第１２図は従来のウエーハ立
替え装置の概略構成を示す平面図、第１３図は第
１２図の正面図、第１４図及び第１５図は第１２
図及び第１３図のウエーハ立替装置の動作状態を
示す説明図である。 １，１′……半導体ウエーハ、２，２′……第
１、第２キヤリア、３……ボート、５……ホルダ
、１０……キヤリアベース部、１１……センサ。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 複数の半導体ウエーハを移送機構によりキヤリ
   アからホルダへ移し替えてホルダ内で上記半導体
   ウエーハを二枚ずつ裏面同士対向させて収納配置
   するものであつて、 複数の半導体ウエーハをその表面を一定方向に
   揃えて定ピツチで整列収納した第１のキヤリア、
   または複数の半導体ウエーハをその表面を前記第
   １のキヤリアと逆方向に揃えて定ピツチで整列収
   納した第２のキヤリアが位置決め載置されるキヤ
   リアベース部を、キヤリア内のウエーハ整列方向
   に沿つて移動可能に設け、且つ、第２のキヤリア
   が位置決め載置されたキヤリアベース部の移動時
   、その移動方向に向かう第２のキヤリア内で先頭
   位置にある半導体ウエーハを検出し、その検出信
   号に基づいてホルダへのウエーハ移し替え動作を
   開始するセンサを、上記キヤリアベース部のキヤ
   リア近傍の所定位置に配設したことを特徴とする
   ウエーハ立替装置。