JPH01130538U - - Google Patents

Description

【図面の簡単な説明】

第１図乃至第１９図は本考案に係る半導体ウエ
ーハ立替装置の一実施例を説明するためのもので
、第１図はボートベースを示す平面図、第２図は
その正面図、第３図はその左側面図、第４図は半
導体ウエーハ立替装置の全体構成を示す平面図、
第５図はその全体の正面図、第６図はその全体の
右側面図、第７図は第４図装置のボートを示す側
面図、第８図及び第９図、第１０図及び第１１図
、第１２図及び第１３図はボートベースでのウエ
ーハローデイング状態を示す各部分側面図及び部
分平面図、第１４図及び第１５図、第１６図及び
第１７図、第１８図及び第１９図はボートベース
でのウエーハアンローデイング状態を示す各部分
側面図及び部分平面図である。第２０図はボート
上でのＢａｃｋ Ｔｏ Ｂａｃｋ方式によるウエ
ーハを示す側面図、第２１図はウエーハを整列収
納したキヤリアを示す斜視図、第２２図はウエー
ハを整列保持したボートを示す斜視図、第２３図
は従来の半導体ウエーハ立替装置の概略構成図、
第２４図はボートベース及びプツシヤを示す側面
図である。 １……半導体ウエーハ、３……キヤリア、５…
…ボート、１６……キヤリアベース、１８……ボ
ートベース、３５……ピン、５０……第１センサ
、５１……第２センサ、５３，５４……第３、第
４センサ。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 複数の半導体ウエーハを一枚ずつ定ピツチで整
   列収納し、キヤリアベース上に位置決め載置した
   キヤリアと、半導体ウエーハを二枚ずつその裏面
   同士を密着させて定ピツチで整列保持し、ボート
   ベース上に位置決め載置したボートとの間で、半
   導体ウエーハをその整列状態を変更させて移し替
   える装置であつて、 上記ボートベースは、ボート側方でウエーハ整
   列方向に沿つて平行移動可能に、且つ、ウエーハ
   整列方向と直交する方向に沿つて各半導体ウエー
   ハ間で突出退入可能に定ピツチで配設され、各半
   導体ウエーハ下部を支持して傾倒或いは起立させ
   る複数のピンと、任意の二つのピン間にこのピン
   に追従して平行移動可能に配設され、その平行移
   動で半導体ウエーハの有無を検出する第１センサ
   と、ボート側方でボート上でのウエーハ起立位置
   に固定配置され、ピンによるウエーハ起立動作で
   半導体ウエーハの有無を検出する第２センサと、
   ボート側方でウエーハ整列方向に沿う所定位置に
   固定配置され、ピンの原点位置及び突出退入位置
   を検出する第３及び第４センサとを具備したこと
   を特徴とする半導体ウエーハ立替装置。