JPS63172132U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS63172132U JPS63172132U JP6447187U JP6447187U JPS63172132U JP S63172132 U JPS63172132 U JP S63172132U JP 6447187 U JP6447187 U JP 6447187U JP 6447187 U JP6447187 U JP 6447187U JP S63172132 U JPS63172132 U JP S63172132U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- boat
- carrier
- wafer
- semiconductor wafer
- wafers
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 5
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 claims 7
- 239000011295 pitch Substances 0.000 claims 2
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
Landscapes
- Warehouses Or Storage Devices (AREA)
- Pile Receivers (AREA)
- Sheets, Magazines, And Separation Thereof (AREA)
Description
第１図は本考案に係る半導体ウエーハ立替装置
の概略全体斜視図、第２図及び第３図は上記装置
の平面図及び正面図、第４図は第３図の回転ロー
ラの平面断面を示すＡ―Ａ矢視図、第５図は第２
図の回転ローラの要部の正面断面を示すＢ―Ｂ矢
視図、第６図ａ及び第７図ａは上記装置の動作を
説明するための上記装置の要部平面図、第６図ｂ
及び第７図ｂは回転ローラの要部正面断面図、第
８図は上記装置の平面図である。第９図及び第１
０図はキヤリアを示す正面図及び側面図、第１１
図及び第１２図はボートを示す正面図及び側面図
、第１３図は拡散装置を示す正面断面図、第１４
図及び第１５図はＢａｃｋ ｔｏ ｂａｃｋ方式
を説明するためのボートの要部拡大図、第１６図
乃至第１８図はＢａｃｋ ｔｏ ｂａｃｋ方式の
ウエーハ移し換えを説明するためのボートの要部
拡大図である。 １，１′……キヤリア、４……収納溝、３……
半導体ウエーハ、６……ボート、９……収納溝、
２１……半導体ウエーハ立替装置、２６，２８…
…ウエーハ取出し手段、３０……回転ローラ、３
１……ウエーハ分割溝、３１ａ……上部溝、３１
ｂ……下部溝。
の概略全体斜視図、第２図及び第３図は上記装置
の平面図及び正面図、第４図は第３図の回転ロー
ラの平面断面を示すＡ―Ａ矢視図、第５図は第２
図の回転ローラの要部の正面断面を示すＢ―Ｂ矢
視図、第６図ａ及び第７図ａは上記装置の動作を
説明するための上記装置の要部平面図、第６図ｂ
及び第７図ｂは回転ローラの要部正面断面図、第
８図は上記装置の平面図である。第９図及び第１
０図はキヤリアを示す正面図及び側面図、第１１
図及び第１２図はボートを示す正面図及び側面図
、第１３図は拡散装置を示す正面断面図、第１４
図及び第１５図はＢａｃｋ ｔｏ ｂａｃｋ方式
を説明するためのボートの要部拡大図、第１６図
乃至第１８図はＢａｃｋ ｔｏ ｂａｃｋ方式の
ウエーハ移し換えを説明するためのボートの要部
拡大図である。 １，１′……キヤリア、４……収納溝、３……
半導体ウエーハ、６……ボート、９……収納溝、
２１……半導体ウエーハ立替装置、２６，２８…
…ウエーハ取出し手段、３０……回転ローラ、３
１……ウエーハ分割溝、３１ａ……上部溝、３１
ｂ……下部溝。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 定ピツチで形成された半導体ウエーハ収納溝を
水平に配したキヤリヤとボートとを対向させて位
置決め配置し、キヤリヤ側及びボート側の夫々に
配設したウエーハ取出し手段によつてキヤリア又
はボート内に収容されている多数枚のウエーハを
一括して移送させるものにおいて、 上記キヤリアとボートを上下方向に相対移動可
能に配設すると共に、上記ウエーハの側端が嵌入
する深さ一定の下部溝と深さが円周方向で変化す
る上部溝とを対として隣接したウエーハ分割溝を
定ピツチで刻設した一対の円柱状の回転ローラを
、上記ウエーハの移送方向と同一方向に移動可能
に立設したことを特徴とする半導体ウエーハ立替
装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6447187U JPS63172132U (ja) | 1987-04-28 | 1987-04-28 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6447187U JPS63172132U (ja) | 1987-04-28 | 1987-04-28 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63172132U true JPS63172132U (ja) | 1988-11-09 |
Family
ID=30900661
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6447187U Pending JPS63172132U (ja) | 1987-04-28 | 1987-04-28 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63172132U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH04137613A (ja) * | 1990-09-28 | 1992-05-12 | Handotai Process Kenkyusho:Kk | 半導体装置の製造装置 |
-
1987
- 1987-04-28 JP JP6447187U patent/JPS63172132U/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH04137613A (ja) * | 1990-09-28 | 1992-05-12 | Handotai Process Kenkyusho:Kk | 半導体装置の製造装置 |