JPH07122623A - ペレット剥離方法及びペレット剥離装置 - Google Patents
ペレット剥離方法及びペレット剥離装置Info
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- JPH07122623A JPH07122623A JP26918393A JP26918393A JPH07122623A JP H07122623 A JPH07122623 A JP H07122623A JP 26918393 A JP26918393 A JP 26918393A JP 26918393 A JP26918393 A JP 26918393A JP H07122623 A JPH07122623 A JP H07122623A
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- peeling
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 粘着シートに貼付されたペレットを、確実に
且つ安定な姿勢状態で剥離させることのできるペレット
剥離方法及びペレット剥離装置を提案する。 【構成】 粘着シート２に貼付されたダイシング済みの
ペレット１を、そのペレット１の所定方向の一端から他
端に向かって徐々に剥離させ、その他端は粘着シートに
粘着したままにする。粘着シート２に貼付されたダイシ
ング済みのペレット１に対し、そのペレット１の所定方
向に沿って配列された複数の突き上げ部材４（４ａ〜４
ｅ）を有し、その複数の突き上げ部材４（４ａ〜４ｅ）
を粘着シート２の裏側から、その粘着シート２を貫通し
てペレット１を突き上げるように移動させことによっ
て、ペレット１を粘着シート２から剥離させるようにし
たペレット剥離装置において、複数の突き上げ部材４
（４ａ〜４ｅ）は、一端の突き上げ部材４ａから他端の
突き上げ部材４ｅに向かって順次ペレット１を突き上げ
得るように異なる高さに設定する。
且つ安定な姿勢状態で剥離させることのできるペレット
剥離方法及びペレット剥離装置を提案する。 【構成】 粘着シート２に貼付されたダイシング済みの
ペレット１を、そのペレット１の所定方向の一端から他
端に向かって徐々に剥離させ、その他端は粘着シートに
粘着したままにする。粘着シート２に貼付されたダイシ
ング済みのペレット１に対し、そのペレット１の所定方
向に沿って配列された複数の突き上げ部材４（４ａ〜４
ｅ）を有し、その複数の突き上げ部材４（４ａ〜４ｅ）
を粘着シート２の裏側から、その粘着シート２を貫通し
てペレット１を突き上げるように移動させことによっ
て、ペレット１を粘着シート２から剥離させるようにし
たペレット剥離装置において、複数の突き上げ部材４
（４ａ〜４ｅ）は、一端の突き上げ部材４ａから他端の
突き上げ部材４ｅに向かって順次ペレット１を突き上げ
得るように異なる高さに設定する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、粘着シートに貼付され
たダイシング済みのペレットを、粘着シートから剥離す
るペレット剥離方法及びペレット剥離装置に関する。
たダイシング済みのペレットを、粘着シートから剥離す
るペレット剥離方法及びペレット剥離装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来の半導体組み立て工程では、ペレッ
トのピックアップは吸着コレット方式が一般的である。
ＣＣＤ撮像素子の場合は、その表面のセンサー部の保護
のため、粘着シートに貼付されたダイシング済みのペレ
ットを、粘着シートをその裏側から貫通させた複数のニ
ードルで突き上げてから、そのペレットの両側をサイド
チャックで挟持して持ち上げる（ピックアップする）よ
うにしたサイドチャック方式を採用している。
トのピックアップは吸着コレット方式が一般的である。
ＣＣＤ撮像素子の場合は、その表面のセンサー部の保護
のため、粘着シートに貼付されたダイシング済みのペレ
ットを、粘着シートをその裏側から貫通させた複数のニ
ードルで突き上げてから、そのペレットの両側をサイド
チャックで挟持して持ち上げる（ピックアップする）よ
うにしたサイドチャック方式を採用している。
【０００３】以下に、ニードル及びそのホルダーの側面
図及び平面図を示す図５を参照して、サイドチャック方
式のペレット剥離方法及びペレット剥離装置の従来例を
説明する。図示を省略するも、ダイシング済みの複数の
細長のペレット（ＣＣＤラインセンサー）が所定間隔を
置いて、互い平行になるように粘着シートに貼付された
ものが台の上に載置される。その台の下側に、ニードル
ホルダー５に千鳥状に直立された高さの同じ複数のニー
ドル４′を配し、その複数のニードル４′をその台に穿
設された透孔を通じて、粘着シートをその裏側から貫通
させてペレットを同時に突き上げ、しかる後、そのペレ
ットの両側をサイドチャックで挟持して持ち上げる。
図及び平面図を示す図５を参照して、サイドチャック方
式のペレット剥離方法及びペレット剥離装置の従来例を
説明する。図示を省略するも、ダイシング済みの複数の
細長のペレット（ＣＣＤラインセンサー）が所定間隔を
置いて、互い平行になるように粘着シートに貼付された
ものが台の上に載置される。その台の下側に、ニードル
ホルダー５に千鳥状に直立された高さの同じ複数のニー
ドル４′を配し、その複数のニードル４′をその台に穿
設された透孔を通じて、粘着シートをその裏側から貫通
させてペレットを同時に突き上げ、しかる後、そのペレ
ットの両側をサイドチャックで挟持して持ち上げる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】そのペレットが、極め
て細く且つ極めて長いＣＣＤリニアセンサーの場合は、
同じ高さの複数のニードル４′でペレットを同時に突き
上げると、そのペレットが粘着シートから剥離するとき
に不安定な姿勢をとるため、その後サイドチャックによ
ってそのペレットの両側を挟持して持ち上げようとする
とき、そのペレットが飛んだり、折れたり、取り残され
たり、そのセンサー部を損傷したりする問題があった。
て細く且つ極めて長いＣＣＤリニアセンサーの場合は、
同じ高さの複数のニードル４′でペレットを同時に突き
上げると、そのペレットが粘着シートから剥離するとき
に不安定な姿勢をとるため、その後サイドチャックによ
ってそのペレットの両側を挟持して持ち上げようとする
とき、そのペレットが飛んだり、折れたり、取り残され
たり、そのセンサー部を損傷したりする問題があった。
【０００５】又、比較的太い複数のニードル４′が千鳥
状に、しかも、２本ずつのニードル４′が近接してニー
ドルホルダー５の植立されている場合は、図４に示す如
く、粘着シート２上に貼付された所望のペレット１を突
き上げようとする場合、その両側のペレット１までも持
ち上ってしまうため、その両側のペレットが邪魔になっ
て、一対のチャック部６ａ、６ｂからなるサイドチャッ
ク６によって、所望のペレット１を挟持し得ない場合も
あった。
状に、しかも、２本ずつのニードル４′が近接してニー
ドルホルダー５の植立されている場合は、図４に示す如
く、粘着シート２上に貼付された所望のペレット１を突
き上げようとする場合、その両側のペレット１までも持
ち上ってしまうため、その両側のペレットが邪魔になっ
て、一対のチャック部６ａ、６ｂからなるサイドチャッ
ク６によって、所望のペレット１を挟持し得ない場合も
あった。
【０００６】かかる点に鑑み、本発明は、粘着シートに
貼付されたペレットを、確実に且つ安定な姿勢状態で剥
離させることのできるペレット剥離方法及びペレット剥
離装置を提案しようとするものである。
貼付されたペレットを、確実に且つ安定な姿勢状態で剥
離させることのできるペレット剥離方法及びペレット剥
離装置を提案しようとするものである。
【０００７】
【課題を解決するための手段及び作用】本発明方法は、
粘着シート２に貼付されたダイシング済みのペレット１
を、そのペレット１の所定方向（例えば、長手方向）の
一端から他端に向かって徐々に剥離させ、その他端は粘
着シート２に粘着されたままにするものである。
粘着シート２に貼付されたダイシング済みのペレット１
を、そのペレット１の所定方向（例えば、長手方向）の
一端から他端に向かって徐々に剥離させ、その他端は粘
着シート２に粘着されたままにするものである。
【０００８】本発明装置は、粘着シート２に貼付された
ダイシング済みのペレット１に対し、そのペレット１の
所定方向（例えば、長手方向）に沿って配列された複数
の突き上げ部材４（４ａ〜４ｅ）を有し、その複数の突
き上げ部材４（４ａ〜４ｅ）を粘着シート２の裏側か
ら、その粘着シート２を貫通してペレット１を突き上げ
るように移動させことによって、ペレット１を粘着シー
ト２から剥離させるようにしたペレット剥離装置におい
て、複数の突き上げ部材４（４ａ〜４ｅ）は、一端の突
き上げ部材４ａから他端の突き上げ部材４ｅに向かって
順次ペレット１を突き上げ得るように異なる高さに設定
されてなるものである。
ダイシング済みのペレット１に対し、そのペレット１の
所定方向（例えば、長手方向）に沿って配列された複数
の突き上げ部材４（４ａ〜４ｅ）を有し、その複数の突
き上げ部材４（４ａ〜４ｅ）を粘着シート２の裏側か
ら、その粘着シート２を貫通してペレット１を突き上げ
るように移動させことによって、ペレット１を粘着シー
ト２から剥離させるようにしたペレット剥離装置におい
て、複数の突き上げ部材４（４ａ〜４ｅ）は、一端の突
き上げ部材４ａから他端の突き上げ部材４ｅに向かって
順次ペレット１を突き上げ得るように異なる高さに設定
されてなるものである。
【０００９】かかる本発明装置によれば、複数の突き上
げ部材４（４ａ〜４ｅ）を粘着シート２の裏側から、そ
の粘着シート２を貫通してペレット１を突き上げるよう
に移動させると、複数の突き上げ部材４ａ〜４ｅが順次
ペレット１を突き上げられ、ペレット１が確実に且つ安
定な姿勢状態で粘着シート２から剥離される。
げ部材４（４ａ〜４ｅ）を粘着シート２の裏側から、そ
の粘着シート２を貫通してペレット１を突き上げるよう
に移動させると、複数の突き上げ部材４ａ〜４ｅが順次
ペレット１を突き上げられ、ペレット１が確実に且つ安
定な姿勢状態で粘着シート２から剥離される。
【００１０】
【実施例】以下に、ペレット剥離装置の断面図（Ａ）、
（Ｂ）を示す図１及びニードル及びそのホルダーの平面
図を示す図２を参照して、本発明の実施例を詳細に説明
しよう。尚、図１（Ａ）、（Ｂ）は、ペレット剥離装置
の横断面図及び縦断面図である。
（Ｂ）を示す図１及びニードル及びそのホルダーの平面
図を示す図２を参照して、本発明の実施例を詳細に説明
しよう。尚、図１（Ａ）、（Ｂ）は、ペレット剥離装置
の横断面図及び縦断面図である。
【００１１】１はダイシング済みの細長の直方体状のペ
レット（ＣＣＤラインセンサー）で、その上面がセンサ
ー部となるように、図４に示す如く互いに平行になるよ
うに粘着シート２の粘着層２ａ上に貼付されている。
尚、２ｂは粘着シート２のベースシートである。そし
て、この複数のペレット１が貼付された粘着シート２が
台３の水平な平面の上に載置される。
レット（ＣＣＤラインセンサー）で、その上面がセンサ
ー部となるように、図４に示す如く互いに平行になるよ
うに粘着シート２の粘着層２ａ上に貼付されている。
尚、２ｂは粘着シート２のベースシートである。そし
て、この複数のペレット１が貼付された粘着シート２が
台３の水平な平面の上に載置される。
【００１２】この台３の下方には、複数のニードル４
（４ａ〜４ｅ）が一直線上に等間隔に、且つ、粘着シー
ト２と略直角になるように、ニードルホルダー５の粘着
シート２と略平行な平面上に、等間隔に一直線上に、且
つ、粘着シート２と略直角になるように植立された複数
のニードル４（４ａ〜４ｅ）が設けられる。このニード
ル４ａ〜４ｂは、その高さがニードル４ａからニードル
４ｅに向かうにつれて徐々にその高さが一定長さずつ低
くなるように設定されている。
（４ａ〜４ｅ）が一直線上に等間隔に、且つ、粘着シー
ト２と略直角になるように、ニードルホルダー５の粘着
シート２と略平行な平面上に、等間隔に一直線上に、且
つ、粘着シート２と略直角になるように植立された複数
のニードル４（４ａ〜４ｅ）が設けられる。このニード
ル４ａ〜４ｂは、その高さがニードル４ａからニードル
４ｅに向かうにつれて徐々にその高さが一定長さずつ低
くなるように設定されている。
【００１３】このニードルホルダー５に植立された複数
のニードル４（４ａ〜４ｅ）は、粘着シート２に対し略
直角に上下に一体的に移動可能とされる。そして、台３
には、その複数のニードル４ａ〜４ｅが貫通し得る透孔
３ａが穿設されている。この台３は、複数の透孔３ａを
除いて密閉され、その内部が真空ポンプによって真空排
気されて、粘着シート２が台３上に真空吸着される。
のニードル４（４ａ〜４ｅ）は、粘着シート２に対し略
直角に上下に一体的に移動可能とされる。そして、台３
には、その複数のニードル４ａ〜４ｅが貫通し得る透孔
３ａが穿設されている。この台３は、複数の透孔３ａを
除いて密閉され、その内部が真空ポンプによって真空排
気されて、粘着シート２が台３上に真空吸着される。
【００１４】６は、一対のチャック部６ａ、６ｂからな
るサイドチャックで、粘着シート２上のペレット１の上
方に位置している。
るサイドチャックで、粘着シート２上のペレット１の上
方に位置している。
【００１５】次に、このペレット剥離装置の動作を説明
する。ニードルホルダー５を徐々に上昇させると、ニー
ドル４ａ、４ｂ、４ｃ、４ｄ、４ｅがこの順に、台３の
透孔３ａ及び粘着シート２を貫通して、粘着シート２上
に貼付された破線で示すペレット１を突き上げ、終に
は、全部のニードル４ａ〜４ｅがペレット１の下面に接
触し、実線で示すようにペレット１の一端のみが粘着シ
ート２に粘着し、粘着シート２に対し傾斜した状態で、
ニードル４ａ〜４ｅの上昇を停止する。このときペレッ
ト１の両側面の中央部は他のペレット１より上方に位置
している。そして、このペレット１の両側面の中央部
を、サイドチャック６の両チャック部６ａ、６ｂが挟持
して、そのペレット１持ち上げる。かくして、ペレット
１は剥離シート２から完全に剥離される。
する。ニードルホルダー５を徐々に上昇させると、ニー
ドル４ａ、４ｂ、４ｃ、４ｄ、４ｅがこの順に、台３の
透孔３ａ及び粘着シート２を貫通して、粘着シート２上
に貼付された破線で示すペレット１を突き上げ、終に
は、全部のニードル４ａ〜４ｅがペレット１の下面に接
触し、実線で示すようにペレット１の一端のみが粘着シ
ート２に粘着し、粘着シート２に対し傾斜した状態で、
ニードル４ａ〜４ｅの上昇を停止する。このときペレッ
ト１の両側面の中央部は他のペレット１より上方に位置
している。そして、このペレット１の両側面の中央部
を、サイドチャック６の両チャック部６ａ、６ｂが挟持
して、そのペレット１持ち上げる。かくして、ペレット
１は剥離シート２から完全に剥離される。
【００１６】次に、複数のニードル４ａ〜４ｅの高さ
（高さの違い）をどのように設定するかを図３及び図４
を参照して検討する。粘着シート２上に貼付されたペレ
ット１の長さをＬ、高さをｈとする。そして、サイドチ
ャック６の一対のチャック部６ａ、６ｂの下端位置６′
が、ニードル４ａ〜ｅによって突き上げられている実線
にて示すペレット１の高さｈの略半分の位置に来るもの
とする。又、その下端位置６′は粘着シート２に貼付さ
れているペレット１の上面よりｍだけ上にあるものとす
る。又、ペレット１のニードル４ａ〜４ｅによって突き
上げられているときの粘着テープ２に対する角度をθ°
とする。かくすると、この下端位置６′の粘着シート２
からの高さＨは、次式のように表される。
（高さの違い）をどのように設定するかを図３及び図４
を参照して検討する。粘着シート２上に貼付されたペレ
ット１の長さをＬ、高さをｈとする。そして、サイドチ
ャック６の一対のチャック部６ａ、６ｂの下端位置６′
が、ニードル４ａ〜ｅによって突き上げられている実線
にて示すペレット１の高さｈの略半分の位置に来るもの
とする。又、その下端位置６′は粘着シート２に貼付さ
れているペレット１の上面よりｍだけ上にあるものとす
る。又、ペレット１のニードル４ａ〜４ｅによって突き
上げられているときの粘着テープ２に対する角度をθ°
とする。かくすると、この下端位置６′の粘着シート２
からの高さＨは、次式のように表される。
【００１７】Ｈ＝ｈ＋ｍ＝ｈ／２＋（Ｌ／２）tan θ°
【００１８】この式で、Ｌ＝３３（ｍｍ）、ｈ＝５８５
（μｍ）、ｍ＝１００（μｍ）、と置くと、θ＝１．３
６°となる。従って、この角度θを用いて、ニードル４
ａ〜４ｅ間の間隔から、ニードル４ａ〜４ｅの高さ（高
さの違い）を設定することができる。ニードル４ａ〜４
ｅ間の間隔を６ｍｍとすれば、隣接するニードル間の高
さの違いは、１４２（μｍ）となる。尚、ペレット１の
幅ｗは３８０（μｍ）、隣接するペレット１との間の間
隔ｄは３０（μｍ）である。
（μｍ）、ｍ＝１００（μｍ）、と置くと、θ＝１．３
６°となる。従って、この角度θを用いて、ニードル４
ａ〜４ｅ間の間隔から、ニードル４ａ〜４ｅの高さ（高
さの違い）を設定することができる。ニードル４ａ〜４
ｅ間の間隔を６ｍｍとすれば、隣接するニードル間の高
さの違いは、１４２（μｍ）となる。尚、ペレット１の
幅ｗは３８０（μｍ）、隣接するペレット１との間の間
隔ｄは３０（μｍ）である。
【００１９】この場合、ニードル４（４ａ〜４ｅ）の寸
法例としては、その直径が０．７ｍｍ、先端の角度が１
０°、先端の曲率半径は１５μｍである。粘着シート２
上に貼付された複数のペレット１の１つを剥離させる場
合、ニードルホルダー５に一直線上に植立され、図４に
示す如く従来例に比べて細い鋭利なニードル４（４ａ〜
４ｅ）が、ペレット１の長方形の下面の幅方向の中心を
突き上げるので、粘着シート２が台３に吸着されている
ことと相侯って、隣接するペレット１を持ち上げる虞は
殆どない。
法例としては、その直径が０．７ｍｍ、先端の角度が１
０°、先端の曲率半径は１５μｍである。粘着シート２
上に貼付された複数のペレット１の１つを剥離させる場
合、ニードルホルダー５に一直線上に植立され、図４に
示す如く従来例に比べて細い鋭利なニードル４（４ａ〜
４ｅ）が、ペレット１の長方形の下面の幅方向の中心を
突き上げるので、粘着シート２が台３に吸着されている
ことと相侯って、隣接するペレット１を持ち上げる虞は
殆どない。
【００２０】
【発明の効果】上述せる本発明によれば、粘着シートに
貼付されたペレットを、確実に且つ安定な姿勢状態で剥
離させることのできるペレット剥離方法及びペレット剥
離装置を得ることができる。従って、剥離されるペレッ
トの姿勢が安定し、ペレットの倒れ、飛び、折れ、取り
残し、センサー部の損傷等がなくなり、ペレットの歩留
りの向上、品質の安定、設備可動の安定、作業性の向
上、アシンタクトの短縮等により設備生産性の向上が可
能となる。
貼付されたペレットを、確実に且つ安定な姿勢状態で剥
離させることのできるペレット剥離方法及びペレット剥
離装置を得ることができる。従って、剥離されるペレッ
トの姿勢が安定し、ペレットの倒れ、飛び、折れ、取り
残し、センサー部の損傷等がなくなり、ペレットの歩留
りの向上、品質の安定、設備可動の安定、作業性の向
上、アシンタクトの短縮等により設備生産性の向上が可
能となる。
【図１】（Ａ）本発明の実施例を示す断面図 （Ｂ）本発明の実施例を示す断面図
【図２】実施例のニードル及びそのホルダーを示す平面
図
図
【図３】実施例の動作説明図
【図４】実施例及び従来例の比較を示す略線図
【図５】（Ａ）従来例のニードル及びそのホルダーを示
す側面図 （Ｂ）従来例のニードル及びそのホルダーを示す平面図
す側面図 （Ｂ）従来例のニードル及びそのホルダーを示す平面図
１ ペレット ２ 粘着シート ２ａ 粘着層 ２ｂ ベースシート ３ 台 ４（４ａ〜４ｅ）ニードル ５ ニードルホルダー ６ サイドチャック ６ａ、６ｂチャック部
Claims (4)
- 【請求項１】 粘着シートに貼付されたダイシング済み
のペレットを、該ペレットの所定方向の一端から他端に
向かって徐々に剥離させ、該他端は上記粘着シートに粘
着されたままにすることを特徴とするペレット剥離方
法。 - 【請求項２】 上記ペレットがその他端を除いて上記粘
着シートから剥離した状態で、該ペレットの両側を挟持
して持ち上げるようにしたことを特徴とする請求項１記
載のペレット剥離方法。 - 【請求項３】 粘着シートに貼付されたダイシング済み
のペレットに対し、該ペレットの所定方向に沿って配列
された複数の突き上げ部材を有し、該複数の突き上げ部
材を上記粘着シートの裏側から、該粘着シートを貫通し
て上記ペレットを突き上げるように移動させことによっ
て、上記ペレットを上記粘着シートから剥離させるよう
にしたペレット剥離装置において、 上記複数の突き上げ部材は、一端の突き上げ部材から他
端の突き上げ部材に向かって順次上記ペレットを突き上
げ得るように異なる高さに設定されてなることを特徴と
するペレット剥離装置。 - 【請求項４】 上記ペレットがその一端部を除いて上記
粘着シートから剥離した状態で、上記ペレットの両側を
挟持して持ち上げる挟持手段を設けたことを特徴とする
請求項３記載のペレット剥離装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26918393A JPH07122623A (ja) | 1993-10-27 | 1993-10-27 | ペレット剥離方法及びペレット剥離装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26918393A JPH07122623A (ja) | 1993-10-27 | 1993-10-27 | ペレット剥離方法及びペレット剥離装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07122623A true JPH07122623A (ja) | 1995-05-12 |
Family
ID=17468843
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP26918393A Pending JPH07122623A (ja) | 1993-10-27 | 1993-10-27 | ペレット剥離方法及びペレット剥離装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07122623A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2015046517A (ja) * | 2013-08-29 | 2015-03-12 | パナソニック株式会社 | 基板の剥離装置 |
| CN106783723A (zh) * | 2015-11-20 | 2017-05-31 | 富士施乐株式会社 | 把持装置、元件的制造方法、基板装置的制造方法 |
| WO2022176007A1 (ja) * | 2021-02-16 | 2022-08-25 | 株式会社Fuji | 突上装置 |
-
1993
- 1993-10-27 JP JP26918393A patent/JPH07122623A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2015046517A (ja) * | 2013-08-29 | 2015-03-12 | パナソニック株式会社 | 基板の剥離装置 |
| CN106783723A (zh) * | 2015-11-20 | 2017-05-31 | 富士施乐株式会社 | 把持装置、元件的制造方法、基板装置的制造方法 |
| WO2022176007A1 (ja) * | 2021-02-16 | 2022-08-25 | 株式会社Fuji | 突上装置 |
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