JPH0327046U - - Google Patents

Description

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案の一実施例を示す一部省略部分
を含む平面図、第２図は第１図の装置の部分正面
図、第３図乃至第５図は第１図の装置の半導体ペ
レツト位置決め動作時での平面図で、第３図は小
サイズ、第４図は中サイズ、第５図は大サイズの
半導体ペレツトを位置決めしたものを示す。第６
図は本考案の他の一実施例を示す一部省略部分を
含む部分平面図、第７図及び第８図は第６図の装
置の半導体ペレツト位置決め動作時での部分平面
図である。第９図は従来の半導体ペレツト位置決
め装置の一部省略部分を含む平面図、第１０図は
第９図の装置の部分正面図、第１１図は第９図の
装置の動作時での平面図である。 ６……ステージ、７……爪群体、８，８ａ，８
ｂ，８ｃ……半導体ペレツト、９……爪支持体、
１０〜１４……爪、１５……バネ材、１６……爪
群体、１７……爪支持体、１８〜２０……爪、２
１〜２３……バネ材。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 位置決め用ステージ上に供給された矩形半導体
   ペレツトの４辺を、前記ステージ上に直交二方向
   で前後動可能に配置された９０°間隔の４つの爪
   群体で同時に押圧して半導体ペレツトを位置決め
   するものであつて、 前記４つの爪群体はそれぞれにステージ上で前
   後動する爪支持体と、爪支持体にそれぞれに独自
   に前後方向に移動可能にしてバネ材を介して保持
   された横一列に並ぶ複数の爪を有し、この爪群体
   の複数の爪は、それぞれの先端が中央の爪の先端
   から両側に階段状に後位置に並ぶ平常状態で爪支
   持体に保持され、爪群体の前進で中央の爪から半
   導体ペレツトを押圧するようにしたことを特徴と
   する半導体ペレツト位置決め装置。