JPH01125531U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH01125531U JPH01125531U JP2137088U JP2137088U JPH01125531U JP H01125531 U JPH01125531 U JP H01125531U JP 2137088 U JP2137088 U JP 2137088U JP 2137088 U JP2137088 U JP 2137088U JP H01125531 U JPH01125531 U JP H01125531U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- impurity diffusion
- diffusion layer
- semiconductor device
- coating film
- subjecting
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
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- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 claims description 9
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- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims 1
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Landscapes
- Formation Of Insulating Films (AREA)
Description
第１図はこの考案の一実施例による半導体装置
を示す断面図、第２図は第１図に示すこの考案の
一実施例における不純物拡散層の形成方法を示す
各工程の断面図、第３図は従来の半導体装置を示
す平面図及び断面図、第４図は第３図に示す従来
の半導体装置における不純物拡散層の形成方法を
示す各工程の断面図である。 図において、１は半導体基板、２は不純物拡散
マスク用酸化膜、３は不純物を含む塗布膜、７は
不純物拡散マスク用酸化膜の開口部、２１は不純
物拡散層、２２はスペーサーである。なお、図中
、同一符号は同一、又は相当部分を示す。
を示す断面図、第２図は第１図に示すこの考案の
一実施例における不純物拡散層の形成方法を示す
各工程の断面図、第３図は従来の半導体装置を示
す平面図及び断面図、第４図は第３図に示す従来
の半導体装置における不純物拡散層の形成方法を
示す各工程の断面図である。 図において、１は半導体基板、２は不純物拡散
マスク用酸化膜、３は不純物を含む塗布膜、７は
不純物拡散マスク用酸化膜の開口部、２１は不純
物拡散層、２２はスペーサーである。なお、図中
、同一符号は同一、又は相当部分を示す。
Claims (1)
- 不純物を含む塗布膜を用いた固相拡散法による
不純物拡散層を有する半導体装置において、前記
不純物拡散層を形成する領域の不純物拡散用マス
ク絶縁膜の開口部の内側の、０．５μｍ〜５μｍ
の位置に酸化膜を残すようにした後に、上記塗布
膜を塗布し熱処理をすることにより、不純物拡散
層を形成したことを特徴とする半導体装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2137088U JPH01125531U (ja) | 1988-02-19 | 1988-02-19 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2137088U JPH01125531U (ja) | 1988-02-19 | 1988-02-19 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01125531U true JPH01125531U (ja) | 1989-08-28 |
Family
ID=31238553
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2137088U Pending JPH01125531U (ja) | 1988-02-19 | 1988-02-19 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01125531U (ja) |
-
1988
- 1988-02-19 JP JP2137088U patent/JPH01125531U/ja active Pending