JPS645438U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS645438U JPS645438U JP9826187U JP9826187U JPS645438U JP S645438 U JPS645438 U JP S645438U JP 9826187 U JP9826187 U JP 9826187U JP 9826187 U JP9826187 U JP 9826187U JP S645438 U JPS645438 U JP S645438U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- opening
- semiconductor substrate
- insulating layer
- growth
- semiconductor
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
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Landscapes
- Drying Of Semiconductors (AREA)
Description
第１図は本考案の一実施例を示す概略断面図で
ある。第２図は自然酸化膜の形成状態を示す概略
断面図、第３図は従来の気相成長用半導体基板に
おける浸食部の形成状態を示す概略断面図である
。 １……シリコン基板、２……酸化シリコン層、
３……第１の開口部、４……第２の開口部、５…
…開口部、６……段部。
ある。第２図は自然酸化膜の形成状態を示す概略
断面図、第３図は従来の気相成長用半導体基板に
おける浸食部の形成状態を示す概略断面図である
。 １……シリコン基板、２……酸化シリコン層、
３……第１の開口部、４……第２の開口部、５…
…開口部、６……段部。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 半導体基板上に開口部を設けた絶縁層を有し、
該開口部を介して上記絶縁層上に半導体層を形成
する気相成長用半導体基板において、 上気開口部の底部面積が該開口部の上端面積よ
り大とされることを特徴とする気相成長用半導体
基板。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9826187U JPS645438U (ja) | 1987-06-26 | 1987-06-26 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9826187U JPS645438U (ja) | 1987-06-26 | 1987-06-26 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS645438U true JPS645438U (ja) | 1989-01-12 |
Family
ID=31324367
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9826187U Pending JPS645438U (ja) | 1987-06-26 | 1987-06-26 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS645438U (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH04105790U (ja) * | 1991-02-20 | 1992-09-11 | 株式会社ケンウツド | 低音用スピーカシステムの構造 |
| JPH05236586A (ja) * | 1991-05-29 | 1993-09-10 | Hughes Aircraft Co | 高質量低共振スピーカーシステム |
-
1987
- 1987-06-26 JP JP9826187U patent/JPS645438U/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH04105790U (ja) * | 1991-02-20 | 1992-09-11 | 株式会社ケンウツド | 低音用スピーカシステムの構造 |
| JPH05236586A (ja) * | 1991-05-29 | 1993-09-10 | Hughes Aircraft Co | 高質量低共振スピーカーシステム |