JPH0241440U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0241440U JPH0241440U JP11964688U JP11964688U JPH0241440U JP H0241440 U JPH0241440 U JP H0241440U JP 11964688 U JP11964688 U JP 11964688U JP 11964688 U JP11964688 U JP 11964688U JP H0241440 U JPH0241440 U JP H0241440U
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- semiconductor substrate
- opening
- substrate
- epitaxial growth
- growth layer
- Prior art date
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- Pending
Links
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- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 9
- 238000002955 isolation Methods 0.000 claims 1
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- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 2
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Landscapes
- Junction Field-Effect Transistors (AREA)
- Bipolar Transistors (AREA)
- Element Separation (AREA)
- Metal-Oxide And Bipolar Metal-Oxide Semiconductor Integrated Circuits (AREA)
Description
第１図は本考案による半導体装置の一実施例を
示す断面図、第２図は第１図例を製造する工程を
示す断面図、第３図は第１図例を利用した半導体
集積回路装置の一例を示す断面図、第４図は従来
の半導体装置の一例を示す断面図、第５図は第４
図例を利用した半導体集積回路装置を示す断面図
である。 １４…Ｎ−シリコン基板（第１の半導体基板）
、１７…Ｎ＋シリコン基板（第２の半導体基板）
、２３…開口部、２４…Ｎ−エピタキシヤル成長
層。
示す断面図、第２図は第１図例を製造する工程を
示す断面図、第３図は第１図例を利用した半導体
集積回路装置の一例を示す断面図、第４図は従来
の半導体装置の一例を示す断面図、第５図は第４
図例を利用した半導体集積回路装置を示す断面図
である。 １４…Ｎ−シリコン基板（第１の半導体基板）
、１７…Ｎ＋シリコン基板（第２の半導体基板）
、２３…開口部、２４…Ｎ−エピタキシヤル成長
層。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 誘電体分離構造を有し、且つ、開口部を形成さ
れた第１の半導体基板と、 該第１の半導体基板と接合された第２の半導体
基板と、 該第２の半導体基板を下地基板として上記開口
部内に形成されたエピタキシヤル成長層とを 具備して成る半導体装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11964688U JPH0241440U (ja) | 1988-09-12 | 1988-09-12 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11964688U JPH0241440U (ja) | 1988-09-12 | 1988-09-12 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0241440U true JPH0241440U (ja) | 1990-03-22 |
Family
ID=31365055
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11964688U Pending JPH0241440U (ja) | 1988-09-12 | 1988-09-12 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0241440U (ja) |
-
1988
- 1988-09-12 JP JP11964688U patent/JPH0241440U/ja active Pending