JPS6384947U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6384947U JPS6384947U JP18022786U JP18022786U JPS6384947U JP S6384947 U JPS6384947 U JP S6384947U JP 18022786 U JP18022786 U JP 18022786U JP 18022786 U JP18022786 U JP 18022786U JP S6384947 U JPS6384947 U JP S6384947U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- semiconductor wafer
- semiconductor
- outer periphery
- surface layer
- large number
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 8
- 239000008188 pellet Substances 0.000 claims description 3
- TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N oxo(oxoalumanyloxy)alumane Chemical compound O=[Al]O[Al]=O TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- 239000002344 surface layer Substances 0.000 claims 1
Landscapes
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Description
第１図は本考案に係る半導体ウエーハの平面図
である。第２図は従来の半導体ウエーハの一部拡
大図を含む平面図、第３図は半導体素子の特性測
定時の状態を示す正面図である。 １……半導体素子、２……半導体ウエーハ、７
……非ペレツト形成部分〔非ペレツト部〕。
である。第２図は従来の半導体ウエーハの一部拡
大図を含む平面図、第３図は半導体素子の特性測
定時の状態を示す正面図である。 １……半導体素子、２……半導体ウエーハ、７
……非ペレツト形成部分〔非ペレツト部〕。
Claims (1)
- 半導体素子が多数個形成された半導体ウエーハ
に於いて、その外周縁の非ペレツト形成部分の表
層を酸化アルミニウムにて構成したことを特徴と
する半導体ウエーハ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18022786U JPS6384947U (ja) | 1986-11-21 | 1986-11-21 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18022786U JPS6384947U (ja) | 1986-11-21 | 1986-11-21 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6384947U true JPS6384947U (ja) | 1988-06-03 |
Family
ID=31123993
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18022786U Pending JPS6384947U (ja) | 1986-11-21 | 1986-11-21 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6384947U (ja) |
-
1986
- 1986-11-21 JP JP18022786U patent/JPS6384947U/ja active Pending