JPH01115152U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH01115152U JPH01115152U JP1145088U JP1145088U JPH01115152U JP H01115152 U JPH01115152 U JP H01115152U JP 1145088 U JP1145088 U JP 1145088U JP 1145088 U JP1145088 U JP 1145088U JP H01115152 U JPH01115152 U JP H01115152U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- beam mask
- mask
- faraday flag
- platen
- ion
- Prior art date
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- Pending
Links
- 238000005468 ion implantation Methods 0.000 claims description 4
- 238000010884 ion-beam technique Methods 0.000 claims 2
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 claims 1
Description
第1図及び第2図は本考案の一実施例の模式斜
視図及び断面模式図、第3図は従来のイオン注入
装置の模式斜視図である。 101……ビームマスク、102……バイアス
リング、103……フアラデーカツプ、104…
…フアラデーフラツグ、105……プラテン、1
06……イオン注入室、107……電極、10
8……電極、109……高周波電源、110
……高周波電源、111……ガス系、112…
…排気系、113……電流計側部。
視図及び断面模式図、第3図は従来のイオン注入
装置の模式斜視図である。 101……ビームマスク、102……バイアス
リング、103……フアラデーカツプ、104…
…フアラデーフラツグ、105……プラテン、1
06……イオン注入室、107……電極、10
8……電極、109……高周波電源、110
……高周波電源、111……ガス系、112…
…排気系、113……電流計側部。
Claims (1)
- 走査されたイオンビームを入射する開口部を有
するビームマスクと、該ビームマスクに対向して
設けられウエハを保持するプラテンと、前記ビー
ムマスクとプラテン間に設けられインオンビーム
調整時にイオンビームの照射を受けるように構成
されたフアラデーフラツグとを有するイオン注入
装置において、前記ビームマスクの前方と該ビー
ムマスクと前記フアラデーフラツグとの間にビー
ムマスクとフアラテーフラツグの表面を清浄にす
るための可動電極を設けたことを特徴とするイオ
ン注入装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1145088U JPH01115152U (ja) | 1988-01-29 | 1988-01-29 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1145088U JPH01115152U (ja) | 1988-01-29 | 1988-01-29 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH01115152U true JPH01115152U (ja) | 1989-08-02 |
Family
ID=31220016
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP1145088U Pending JPH01115152U (ja) | 1988-01-29 | 1988-01-29 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH01115152U (ja) |
-
1988
- 1988-01-29 JP JP1145088U patent/JPH01115152U/ja active Pending