JPH0312348U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0312348U JPH0312348U JP7222989U JP7222989U JPH0312348U JP H0312348 U JPH0312348 U JP H0312348U JP 7222989 U JP7222989 U JP 7222989U JP 7222989 U JP7222989 U JP 7222989U JP H0312348 U JPH0312348 U JP H0312348U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electron irradiation
- ion beam
- intermittent
- scan type
- mechanical scan
- Prior art date
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- Pending
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- 238000010884 ion-beam technique Methods 0.000 claims description 6
- 238000005468 ion implantation Methods 0.000 claims 2
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 claims 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims 1
- 230000000737 periodic effect Effects 0.000 claims 1
- 230000001360 synchronised effect Effects 0.000 claims 1
Description
第１図は本考案装置の一例の略線的断面図、第
２図は被イオン注入体の支持体の正面図、第３図
は電子照射の断続手段の正面図である。 １……イオンビーム、２……電子照射手段、３
……電子照射断続手段、４……被イオン注入体、
５……その支持体である。
２図は被イオン注入体の支持体の正面図、第３図
は電子照射の断続手段の正面図である。 １……イオンビーム、２……電子照射手段、３
……電子照射断続手段、４……被イオン注入体、
５……その支持体である。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 メカニカルスキヤン方式のイオン注入装置にお
いて、 イオンビームに電子を照射する電子照射手段と
、 このイオンビームに対する電子照射の途上に上
記イオンビームに対する電子照射を周期的に断続
させる電子照射断続手段と、 この断続手段によるイオンビームに対する電子
照射の周期は、被イオン注入体に対するイオンビ
ーム量の周期的測定と同期するようにされたメカ
ニカルスキヤン方式のイオン注入装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7222989U JPH0312348U (ja) | 1989-06-20 | 1989-06-20 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7222989U JPH0312348U (ja) | 1989-06-20 | 1989-06-20 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0312348U true JPH0312348U (ja) | 1991-02-07 |
Family
ID=31609984
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7222989U Pending JPH0312348U (ja) | 1989-06-20 | 1989-06-20 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0312348U (ja) |
-
1989
- 1989-06-20 JP JP7222989U patent/JPH0312348U/ja active Pending
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