JPS63109437U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS63109437U JPS63109437U JP74787U JP74787U JPS63109437U JP S63109437 U JPS63109437 U JP S63109437U JP 74787 U JP74787 U JP 74787U JP 74787 U JP74787 U JP 74787U JP S63109437 U JPS63109437 U JP S63109437U
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- powder
- conductive
- amount
- electron emitting
- emitting means
- Prior art date
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- Pending
Links
- 239000000843 powder Substances 0.000 claims description 10
- 238000005468 ion implantation Methods 0.000 claims description 4
- 238000010884 ion-beam technique Methods 0.000 claims description 2
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 claims 2
- 239000007943 implant Substances 0.000 claims 1
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
Description
第１図は、この考案の一実施例に係るイオン注
入装置を示す概略図である。第２図ないし第４図
は、それぞれ、この考案の他の実施例に係るイオ
ン注入装置を示す概略図である。第５図は、従来
のイオン注入装置の一例を示す概略図である。 ８……粉体容器、１０……粉体、１２……イオ
ンビーム、１８……フイラメント、２０……フイ
ラメント電源、２２……電子、２４，２４ａ，２
４ｂ……電流計測器、２６……制御装置、２８…
…アノード電源、３８……グリツド、４０……グ
リツド電源。
入装置を示す概略図である。第２図ないし第４図
は、それぞれ、この考案の他の実施例に係るイオ
ン注入装置を示す概略図である。第５図は、従来
のイオン注入装置の一例を示す概略図である。 ８……粉体容器、１０……粉体、１２……イオ
ンビーム、１８……フイラメント、２０……フイ
ラメント電源、２２……電子、２４，２４ａ，２
４ｂ……電流計測器、２６……制御装置、２８…
…アノード電源、３８……グリツド、４０……グ
リツド電源。
Claims (1)
- 真空雰囲気中で、粉体容器内に収納された非導
電性または半導電性の粉体にイオンビームを照射
して当該粉体にイオン注入する装置において、粉
体容器内の粉体に電子を浴びせる電子放出手段と
、電子放出手段を制御して、粉体に沿びせる電子
の量を粉体に照射されるイオンの量とほぼ等しく
する制御手段とを備えることを特徴とするイオン
注入装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP74787U JPS63109437U (ja) | 1987-01-06 | 1987-01-06 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP74787U JPS63109437U (ja) | 1987-01-06 | 1987-01-06 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63109437U true JPS63109437U (ja) | 1988-07-14 |
Family
ID=30778007
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP74787U Pending JPS63109437U (ja) | 1987-01-06 | 1987-01-06 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63109437U (ja) |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5337008U (ja) * | 1976-09-04 | 1978-04-01 | ||
| JPS53136798A (en) * | 1977-05-05 | 1978-11-29 | Ibm | Ion beam bombardment device |
-
1987
- 1987-01-06 JP JP74787U patent/JPS63109437U/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5337008U (ja) * | 1976-09-04 | 1978-04-01 | ||
| JPS53136798A (en) * | 1977-05-05 | 1978-11-29 | Ibm | Ion beam bombardment device |