JPH01154489U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH01154489U JPH01154489U JP5100888U JP5100888U JPH01154489U JP H01154489 U JPH01154489 U JP H01154489U JP 5100888 U JP5100888 U JP 5100888U JP 5100888 U JP5100888 U JP 5100888U JP H01154489 U JPH01154489 U JP H01154489U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- target
- electrode
- energy distribution
- ammeter
- mesh
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000005468 ion implantation Methods 0.000 description 2
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Electron Sources, Ion Sources (AREA)
Description
第１図は、実施例に係る電子エネルギー分布測
定装置を備えるイオン注入装置の一例を部分的に
示す断面図である。第２図は、第１図の電子エネ
ルギー分布測定装置による測定結果の一例を示す
グラフである。第３図は、従来のイオン注入装置
の一例を部分的に示す断面図である。 ８……ターゲツト、１８……一次電子、２０…
…二次電子、２２……電極、２６……直流電源、
２８……電流計。
定装置を備えるイオン注入装置の一例を部分的に
示す断面図である。第２図は、第１図の電子エネ
ルギー分布測定装置による測定結果の一例を示す
グラフである。第３図は、従来のイオン注入装置
の一例を部分的に示す断面図である。 ８……ターゲツト、１８……一次電子、２０…
…二次電子、２２……電極、２６……直流電源、
２８……電流計。
Claims (1)
- ターゲツトに電子を照射するよう構成した装置
に用いられるものであつて、ターゲツトに向かう
電子を遮る位置に出し入れ可能な網状または多孔
の電極と、この電極に負電圧を印加する電圧可変
の直流電源と、ターゲツトに流れる電流を計測す
る電流計とを備えることを特徴とする電子エネル
ギー分布測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5100888U JPH0628715Y2 (ja) | 1988-04-15 | 1988-04-15 | 電子エネルギー分布測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5100888U JPH0628715Y2 (ja) | 1988-04-15 | 1988-04-15 | 電子エネルギー分布測定装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01154489U true JPH01154489U (ja) | 1989-10-24 |
| JPH0628715Y2 JPH0628715Y2 (ja) | 1994-08-03 |
Family
ID=31277037
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5100888U Expired - Lifetime JPH0628715Y2 (ja) | 1988-04-15 | 1988-04-15 | 電子エネルギー分布測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0628715Y2 (ja) |
-
1988
- 1988-04-15 JP JP5100888U patent/JPH0628715Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0628715Y2 (ja) | 1994-08-03 |