JPS6214724U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6214724U JPS6214724U JP10707285U JP10707285U JPS6214724U JP S6214724 U JPS6214724 U JP S6214724U JP 10707285 U JP10707285 U JP 10707285U JP 10707285 U JP10707285 U JP 10707285U JP S6214724 U JPS6214724 U JP S6214724U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- etching
- grid electrodes
- etching chamber
- applying
- generation section
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000005530 etching Methods 0.000 claims description 11
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 claims 7
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 claims 1
Landscapes
- Drying Of Semiconductors (AREA)
Description
第１図、第２図は本考案エツチング装置の夫々
異なる実施例を示す断面模式図である。 １……イオン生成部、２……ガス導入管、３…
…マイクロ波導入部、４……エツチング室、６…
…試料台、７……第１のグリツド電極、８……第
２のグリツド電極、９……直流電源、１０……切
り換えスイツチ、１４……電圧操作スイツチ。
異なる実施例を示す断面模式図である。 １……イオン生成部、２……ガス導入管、３…
…マイクロ波導入部、４……エツチング室、６…
…試料台、７……第１のグリツド電極、８……第
２のグリツド電極、９……直流電源、１０……切
り換えスイツチ、１４……電圧操作スイツチ。
Claims (1)
- 供給されるエツチングガスをイオン化するイオ
ン生成部と、このイオン生成部に隣接されたエツ
チング室と、から成り、イオン生成部で生成され
たイオンをコツチング室に供給してこのイオンに
よりエツチング室内の被エツチング物をエツチン
グするコツチング装置において、上記イオン生成
部とエツチング室間に設けた２枚のグリツド電極
と、エツチング室に配置された試料台と、上記グ
リツド電極及び試料台に電位を付与するための電
源と、上記グリツド電極間にイオン加速のための
電圧を印加するか上記グリツド電極と資料台間に
電圧印加をするかを切り換える切り換え手段と、
を備えて成るエツチング装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10707285U JPS6214724U (ja) | 1985-07-12 | 1985-07-12 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10707285U JPS6214724U (ja) | 1985-07-12 | 1985-07-12 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6214724U true JPS6214724U (ja) | 1987-01-29 |
Family
ID=30983010
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10707285U Pending JPS6214724U (ja) | 1985-07-12 | 1985-07-12 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6214724U (ja) |
-
1985
- 1985-07-12 JP JP10707285U patent/JPS6214724U/ja active Pending
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