JPH0379152U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0379152U JPH0379152U JP13978989U JP13978989U JPH0379152U JP H0379152 U JPH0379152 U JP H0379152U JP 13978989 U JP13978989 U JP 13978989U JP 13978989 U JP13978989 U JP 13978989U JP H0379152 U JPH0379152 U JP H0379152U
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ion source
- matching device
- frequency power
- plasma
- discharge
- Prior art date
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- Pending
Links
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 claims description 2
- 238000000605 extraction Methods 0.000 claims description 2
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 claims 4
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
Landscapes
- Electron Sources, Ion Sources (AREA)
Description
第１図は、この考案の一実施例に係るイオン源
装置を示す概略図である。第２図は、従来のイオ
ン源装置の一例を示す概略図である。 ２……イオン源、４……プラズマソース部、６
……プラズマ生成容器、８ａ，８ｂ……放電電極
、１６……引出し電極系、２４……整合器、２６
……高周波電源、３０，３２……コンデンサ。
装置を示す概略図である。第２図は、従来のイオ
ン源装置の一例を示す概略図である。 ２……イオン源、４……プラズマソース部、６
……プラズマ生成容器、８ａ，８ｂ……放電電極
、１６……引出し電極系、２４……整合器、２６
……高周波電源、３０，３２……コンデンサ。
Claims (1)
- 絶縁物製のプラズマ生成容器の外側に一組の放
電電極を対向配置して成るプラズマソース部およ
びこのプラズマソース部からイオンを引き出す引
出し電極系を有するイオン源の放電電極間に、高
周波電源から整合器を介して高周波電力を供給す
るように構成されたイオン源装置において、前記
整合器とそれにつながる放電電極との間に、当該
放電電極の電位上昇分に耐える耐圧を有するコン
デンサを直列に挿入したことを特徴とするイオン
源装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13978989U JPH0379152U (ja) | 1989-11-30 | 1989-11-30 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13978989U JPH0379152U (ja) | 1989-11-30 | 1989-11-30 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0379152U true JPH0379152U (ja) | 1991-08-12 |
Family
ID=31686814
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13978989U Pending JPH0379152U (ja) | 1989-11-30 | 1989-11-30 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0379152U (ja) |
-
1989
- 1989-11-30 JP JP13978989U patent/JPH0379152U/ja active Pending