JPH0292658U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH0292658U JPH0292658U JP169589U JP169589U JPH0292658U JP H0292658 U JPH0292658 U JP H0292658U JP 169589 U JP169589 U JP 169589U JP 169589 U JP169589 U JP 169589U JP H0292658 U JPH0292658 U JP H0292658U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ion implantation
- magnetic field
- semiconductor substrate
- generating means
- vicinity
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 5
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 4
- 238000005468 ion implantation Methods 0.000 claims 4
- 238000002347 injection Methods 0.000 claims 1
- 239000007924 injection Substances 0.000 claims 1
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 230000001629 suppression Effects 0.000 description 1
Description
第１図は本考案の一実施例を示す説明図、第２
図は半導体基板と磁石（磁場発生手段）との位置
関係を示す正面図である。 １……半導体基板、２……基板支持体、３……
円筒体、４……マスク、５……サプレツシヨン電
極、６……電源、７……電流計、８……真空槽、
９……磁石（磁場発生手段）。
図は半導体基板と磁石（磁場発生手段）との位置
関係を示す正面図である。 １……半導体基板、２……基板支持体、３……
円筒体、４……マスク、５……サプレツシヨン電
極、６……電源、７……電流計、８……真空槽、
９……磁石（磁場発生手段）。
Claims (1)
- 半導体基板にイオンを注入するイオン注入装置
において、前記半導体基板のイオン注入側の面に
平行な磁場を、そのイオン注入側の面の近傍に発
生させる磁場発生手段を設けたことを特徴とする
イオン注入装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP169589U JPH0292658U (ja) | 1989-01-11 | 1989-01-11 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP169589U JPH0292658U (ja) | 1989-01-11 | 1989-01-11 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0292658U true JPH0292658U (ja) | 1990-07-23 |
Family
ID=31201806
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP169589U Pending JPH0292658U (ja) | 1989-01-11 | 1989-01-11 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0292658U (ja) |
-
1989
- 1989-01-11 JP JP169589U patent/JPH0292658U/ja active Pending