JPH02131258U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH02131258U JPH02131258U JP3977989U JP3977989U JPH02131258U JP H02131258 U JPH02131258 U JP H02131258U JP 3977989 U JP3977989 U JP 3977989U JP 3977989 U JP3977989 U JP 3977989U JP H02131258 U JPH02131258 U JP H02131258U
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- JP
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- filament
- power source
- faraday system
- beam current
- positive side
- Prior art date
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- Pending
Links
- 238000005468 ion implantation Methods 0.000 claims description 4
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 claims description 2
- 238000010884 ion-beam technique Methods 0.000 claims description 2
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims 1
- 239000007943 implant Substances 0.000 claims 1
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 claims 1
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
Description
第１図は、この考案の一実施例に係るイオン注
入装置を部分的に示す図である。第２図は、従来
のイオン注入装置の一例を部分的に示す図である
。第３図は、アノード電源の具体例を示す回路図
である。第４図は、アノード電源の２次側の等価
回路図である。 ２……イオンビーム、４……被処理物、６……
ホルダ、７……フアラデーボツクス、８……フア
ラデー系、１０……ビーム電流計測器、１２……
フイラメント、１４……フイラメント電源、１６
……アノード電源、２１，２２……電子、２６…
…コンデンサ、２８……抵抗。
入装置を部分的に示す図である。第２図は、従来
のイオン注入装置の一例を部分的に示す図である
。第３図は、アノード電源の具体例を示す回路図
である。第４図は、アノード電源の２次側の等価
回路図である。 ２……イオンビーム、４……被処理物、６……
ホルダ、７……フアラデーボツクス、８……フア
ラデー系、１０……ビーム電流計測器、１２……
フイラメント、１４……フイラメント電源、１６
……アノード電源、２１，２２……電子、２６…
…コンデンサ、２８……抵抗。
Claims (1)
- 真空中で被処理物にイオンビームを照射してイ
オン注入する装置であつて、被処理物を保持する
ホルダを含むフアラデー系と、このフアラデー系
とアース間に接続されていてホルダに流れるビー
ム電流を計測するビーム電流計測器と、電子発生
用のフイラメントと、フイラメント加熱用のフイ
ラメント電源と、フイラメントに負側が、フアラ
デー系に正側が接続されたアノード電源とを備え
るイオン注入装置において、前記アノード電源の
正側とアース間にコンデンサを接続し、かつ同電
源の正側と前記フアラデー系間に直列に抵抗を挿
入したことを特徴とするイオン注入装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3977989U JPH02131258U (ja) | 1989-04-03 | 1989-04-03 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3977989U JPH02131258U (ja) | 1989-04-03 | 1989-04-03 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02131258U true JPH02131258U (ja) | 1990-10-31 |
Family
ID=31548986
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3977989U Pending JPH02131258U (ja) | 1989-04-03 | 1989-04-03 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02131258U (ja) |
-
1989
- 1989-04-03 JP JP3977989U patent/JPH02131258U/ja active Pending