JPH046154U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH046154U JPH046154U JP4638990U JP4638990U JPH046154U JP H046154 U JPH046154 U JP H046154U JP 4638990 U JP4638990 U JP 4638990U JP 4638990 U JP4638990 U JP 4638990U JP H046154 U JPH046154 U JP H046154U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ion
- ion implantation
- semiconductor wafer
- scanning
- measuring
- Prior art date
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- Pending
Links
- 238000005468 ion implantation Methods 0.000 claims description 7
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 5
- 238000010884 ion-beam technique Methods 0.000 claims description 3
- 239000012535 impurity Substances 0.000 claims 1
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 claims 1
- 239000000463 material Substances 0.000 claims 1
Landscapes
- Electron Sources, Ion Sources (AREA)
Description
第1図は本考案に係るイオン注入装置の要部概
略斜視図、第2図は従来のイオン注入装置全体の
正面図、第3図はイオンビームの軌跡を示した半
導体ウエーハの正面図である。 1…イオンビーム、4…半導体ウエーハ、8…
イオン電流測定装置。
略斜視図、第2図は従来のイオン注入装置全体の
正面図、第3図はイオンビームの軌跡を示した半
導体ウエーハの正面図である。 1…イオンビーム、4…半導体ウエーハ、8…
イオン電流測定装置。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 不純物材料をイオン化してビーム走査して、半
導体ウエーハへ照射するイオン注入装置であつて
、 イオンビームの走査に対応して移動させながら
、半導体ウエーハ各部が受けるイオン電流を測定
するイオン電流測定器を具備し、前記測定器によ
る測定値をフイードバツクしてイオン注入量の濃
淡を補正するよう構成したことを特徴とするイオ
ン注入装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP4638990U JPH046154U (ja) | 1990-04-27 | 1990-04-27 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP4638990U JPH046154U (ja) | 1990-04-27 | 1990-04-27 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH046154U true JPH046154U (ja) | 1992-01-21 |
Family
ID=31561434
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP4638990U Pending JPH046154U (ja) | 1990-04-27 | 1990-04-27 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH046154U (ja) |
-
1990
- 1990-04-27 JP JP4638990U patent/JPH046154U/ja active Pending