JPH034648U - - Google Patents
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- JPH034648U JPH034648U JP6584689U JP6584689U JPH034648U JP H034648 U JPH034648 U JP H034648U JP 6584689 U JP6584689 U JP 6584689U JP 6584689 U JP6584689 U JP 6584689U JP H034648 U JPH034648 U JP H034648U
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- beam current
- ion
- ion implantation
- shielded
- detects
- Prior art date
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- Pending
Links
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 3
- 238000005468 ion implantation Methods 0.000 claims description 3
- 238000010884 ion-beam technique Methods 0.000 claims description 2
- 230000005684 electric field Effects 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 238000002513 implantation Methods 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
Description
第１図はこの考案の一実施例のイオン注入装置
の基本的な構成を示す概念図、第２図は従来技術
を示す概念図である。 １……イオンビーム、３……半導体ウエハ（注
入対象物）、４……フアラデーカツプ（ビーム電
流検出電極）、５……電流計、６……ノイズ源、
１０……シールド、ＩＢ……ビーム電流、ＩＮ…
…ノイズ電流。
の基本的な構成を示す概念図、第２図は従来技術
を示す概念図である。 １……イオンビーム、３……半導体ウエハ（注
入対象物）、４……フアラデーカツプ（ビーム電
流検出電極）、５……電流計、６……ノイズ源、
１０……シールド、ＩＢ……ビーム電流、ＩＮ…
…ノイズ電流。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 注入対象物近傍に設けたビーム電流放出電極で
イオンビームのビーム電流を検出して、この検出
結果に基づいてイオン注入の制御を行うようにし
たイオン注入装置において、 前記ビーム電流検出電極を外部の電界からシー
ルドしたことを特徴とするイオン注入装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6584689U JPH034648U (ja) | 1989-06-05 | 1989-06-05 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6584689U JPH034648U (ja) | 1989-06-05 | 1989-06-05 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH034648U true JPH034648U (ja) | 1991-01-17 |
Family
ID=31598045
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6584689U Pending JPH034648U (ja) | 1989-06-05 | 1989-06-05 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH034648U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006103008A (ja) * | 2004-09-30 | 2006-04-20 | Masatoshi Kumagai | 手帳、及び手帳用リフィル用紙 |
-
1989
- 1989-06-05 JP JP6584689U patent/JPH034648U/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006103008A (ja) * | 2004-09-30 | 2006-04-20 | Masatoshi Kumagai | 手帳、及び手帳用リフィル用紙 |
| JP4659424B2 (ja) * | 2004-09-30 | 2011-03-30 | 正寿 熊谷 | 手帳、及び手帳用リフィル用紙 |
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