JPH0214358U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0214358U JPH0214358U JP9261288U JP9261288U JPH0214358U JP H0214358 U JPH0214358 U JP H0214358U JP 9261288 U JP9261288 U JP 9261288U JP 9261288 U JP9261288 U JP 9261288U JP H0214358 U JPH0214358 U JP H0214358U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- disk
- electrons
- primary
- electron emission
- wafer
- Prior art date
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- Pending
Links
- 238000010884 ion-beam technique Methods 0.000 claims description 3
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims 2
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 claims 1
- 238000000034 method Methods 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 238000006386 neutralization reaction Methods 0.000 description 3
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
- 230000007935 neutral effect Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Description
第１図は、この考案の一実施例に係るイオン処
理装置の中性化制御回路の回路図である。第２図
は、この考案の背景となるイオン処理装置の一例
を示す要部構成図である。第３図は、第２図中の
中性化制御回路の先行例の回路図である。 ２……イオンビーム、４……デイスク、６……
ウエハ、１０……ニユートラルカツプ、１４……
フイラメント、１８……引出し電源、２４……デ
イスク電流検出抵抗、４０……中性化制御回路、
４２……デイスク電流対応電圧出力アンプ、４４
……ハイパスフイルタ、４８……制御回路。
理装置の中性化制御回路の回路図である。第２図
は、この考案の背景となるイオン処理装置の一例
を示す要部構成図である。第３図は、第２図中の
中性化制御回路の先行例の回路図である。 ２……イオンビーム、４……デイスク、６……
ウエハ、１０……ニユートラルカツプ、１４……
フイラメント、１８……引出し電源、２４……デ
イスク電流検出抵抗、４０……中性化制御回路、
４２……デイスク電流対応電圧出力アンプ、４４
……ハイパスフイルタ、４８……制御回路。
Claims (1)
- 真空容器内で回転および並進させられるデイス
クに装着されたウエハにイオンビームを照射して
当該ウエハを処理する装置であつて、一次電子を
放出する一次電子放出源と、この一次電子を受け
て二次電子を放出する二次電子放出源とを備え、
この二次電子をイオンビーム照射領域におけるウ
エハに供給するようにしたものにおいて、前記デ
イスクに流れるデイスク電流を計測するデイスク
電流計測回路と、このデイスク電流計測回路によ
つて計測されたデイスク電流の変動分を抽出する
ハイパスフイルタと、このハイパスフイルタの出
力が零になるように前記一次電子放出源を制御し
てそこから引き出す一次電子の量を制御する制御
回路とを備えることを特徴とするイオン処理装置
。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9261288U JPH0214358U (ja) | 1988-07-12 | 1988-07-12 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9261288U JPH0214358U (ja) | 1988-07-12 | 1988-07-12 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0214358U true JPH0214358U (ja) | 1990-01-29 |
Family
ID=31317046
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9261288U Pending JPH0214358U (ja) | 1988-07-12 | 1988-07-12 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0214358U (ja) |
-
1988
- 1988-07-12 JP JP9261288U patent/JPH0214358U/ja active Pending
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