JPS63167655U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS63167655U JPS63167655U JP5995587U JP5995587U JPS63167655U JP S63167655 U JPS63167655 U JP S63167655U JP 5995587 U JP5995587 U JP 5995587U JP 5995587 U JP5995587 U JP 5995587U JP S63167655 U JPS63167655 U JP S63167655U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ion source
- mass spectrometer
- primary
- secondary ion
- adjustment means
- Prior art date
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- Pending
Links
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 claims description 3
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 claims 6
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Electron Tubes For Measurement (AREA)
Description
第１図は本案の一実施例を示すブロツク図、第
２図は従来の技術を示すブロツク図である。 １……１次イオン源、２……１次加速電源、３
……２次イオン源、４……２次加速電源、５……
調節手段、６……アナライザ、７……試料ホルダ
、８……デイスプレイ。
２図は従来の技術を示すブロツク図である。 １……１次イオン源、２……１次加速電源、３
……２次イオン源、４……２次加速電源、５……
調節手段、６……アナライザ、７……試料ホルダ
、８……デイスプレイ。
Claims (1)
- １次イオン源と２次イオン源から成る質量分析
装置において、１次イオン源のイオン加速電圧が
、２次イオン源で発生した目的とするイオンの最
大量となるように可変できる調節手段を設けたこ
とを特徴とする質量分析装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5995587U JPS63167655U (ja) | 1987-04-22 | 1987-04-22 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5995587U JPS63167655U (ja) | 1987-04-22 | 1987-04-22 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63167655U true JPS63167655U (ja) | 1988-11-01 |
Family
ID=30891941
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5995587U Pending JPS63167655U (ja) | 1987-04-22 | 1987-04-22 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63167655U (ja) |
-
1987
- 1987-04-22 JP JP5995587U patent/JPS63167655U/ja active Pending