JPS63112747U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS63112747U JPS63112747U JP446687U JP446687U JPS63112747U JP S63112747 U JPS63112747 U JP S63112747U JP 446687 U JP446687 U JP 446687U JP 446687 U JP446687 U JP 446687U JP S63112747 U JPS63112747 U JP S63112747U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- mass spectrometer
- ion beam
- secondary neutral
- count value
- counting unit
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000010884 ion-beam technique Methods 0.000 claims 4
- 230000007935 neutral effect Effects 0.000 claims 4
- 239000002245 particle Substances 0.000 claims 4
- 230000001360 synchronised effect Effects 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 238000004949 mass spectrometry Methods 0.000 description 2
- 238000001819 mass spectrum Methods 0.000 description 1
Description
第１図は、本考案の一実施例を示す構成ブロツ
ク図、第２図は各部の動作を示すタイミングチヤ
ート、第３図は質量分析の原理を示す図、第４図
は質量スペクトル例を示す図である。 １……イオン源、２……ブランキングユニツト
、３……レンズ系、４……試料、５……イオン化
ユニツト、６……質量分析部、７……計数ユニツ
ト、８……コントロール回路。
ク図、第２図は各部の動作を示すタイミングチヤ
ート、第３図は質量分析の原理を示す図、第４図
は質量スペクトル例を示す図である。 １……イオン源、２……ブランキングユニツト
、３……レンズ系、４……試料、５……イオン化
ユニツト、６……質量分析部、７……計数ユニツ
ト、８……コントロール回路。
Claims (1)
- イオン源より発生したイオンビームを試料に照
射し、該試料より発生した２次中性粒子をイオン
化した後、質量分析する２次中性粒子質量分析器
において、イオン源より発生したイオンビームを
オン／オフするブランキングユニツトと、質量分
析部出力を計数する計数ユニツトとを設け、これ
らブランキングユニツト及び計数ユニツトを同期
させて制御し、イオンビームオン時の計数ユニツ
ト計数値からイオンビームオフ時の計数ユニツト
計数値を減算したものをその出力とするように構
成したことを特徴とする２次中性粒子質量分析器
。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP446687U JPS63112747U (ja) | 1987-01-16 | 1987-01-16 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP446687U JPS63112747U (ja) | 1987-01-16 | 1987-01-16 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63112747U true JPS63112747U (ja) | 1988-07-20 |
Family
ID=30785155
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP446687U Pending JPS63112747U (ja) | 1987-01-16 | 1987-01-16 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63112747U (ja) |
-
1987
- 1987-01-16 JP JP446687U patent/JPS63112747U/ja active Pending
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| EP0237259A3 (en) | Mass spectrometer | |
| CA2382823A1 (en) | Rapid response mass spectrometer system | |
| GB1145107A (en) | Ion beam microanalyser | |
| GB1399588A (en) | Instrument for secondary ion mass spectrometry | |
| JPS63112747U (ja) | ||
| GB1082819A (en) | Improved mass spectrometer | |
| GB1134448A (en) | Double focussing mass spectrometer | |
| JPH0229151U (ja) | ||
| JPS63167655U (ja) | ||
| JPH01100362U (ja) | ||
| JPH0452358U (ja) | ||
| JPH01112554U (ja) | ||
| JPS63172050U (ja) | ||
| JPS6339855U (ja) | ||
| JPS6253561U (ja) | ||
| JPS6253558U (ja) | ||
| EP0066954A3 (en) | Mass spectrometers | |
| JPH0192752U (ja) | ||
| JPS62203454U (ja) | ||
| JPH0485565U (ja) | ||
| GB1157158A (en) | Mass Spectrometer | |
| JPS5848771Y2 (ja) | 質量分析装置における共用イオン源 | |
| JPH05325886A (ja) | 質量分析装置 | |
| LOUTER | An ultra-sensitive instrument for collision activated dissociation mass spectrometry with high mass resolution[Ph. D. Thesis] | |
| JPS59115340U (ja) | 質量分析装置 |