JPH0374453U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0374453U JPH0374453U JP13628489U JP13628489U JPH0374453U JP H0374453 U JPH0374453 U JP H0374453U JP 13628489 U JP13628489 U JP 13628489U JP 13628489 U JP13628489 U JP 13628489U JP H0374453 U JPH0374453 U JP H0374453U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electrode
- plasma
- suppression
- ion
- potential
- Prior art date
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- Pending
Links
- 230000001629 suppression Effects 0.000 claims description 4
- 238000000605 extraction Methods 0.000 claims description 3
- 238000010884 ion-beam technique Methods 0.000 claims description 3
- 239000000284 extract Substances 0.000 claims 1
- 238000011144 upstream manufacturing Methods 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
Landscapes
- Electron Sources, Ion Sources (AREA)
Description
第１図は、この考案の一実施例に係るイオン源
をその電源等と共に示す概略図である。第２図は
、従来のイオン源の一例をその電源等と共に示す
概略図である。 ２ａ……実施例に係るイオン源、４……プラズ
マソース部、１２……引出し電極系、１４……プ
ラズマ電極、１５……抑制電極、１６……接地電
極、１８……イオンビーム、２４……フアラデー
カツプ。
をその電源等と共に示す概略図である。第２図は
、従来のイオン源の一例をその電源等と共に示す
概略図である。 ２ａ……実施例に係るイオン源、４……プラズ
マソース部、１２……引出し電極系、１４……プ
ラズマ電極、１５……抑制電極、１６……接地電
極、１８……イオンビーム、２４……フアラデー
カツプ。
Claims (1)
- プラズマを作るプラズマソース部と、このプラ
ズマソース部からイオンビームを引き出すもので
あつて、正電位にされるプラズマ電極、その下流
側にあつて負電位にされる抑制電極およびその下
流側にあつて接地電位にされる接地電極を有する
引出し電極系とを備えるイオン源において、前記
引出し電極系を構成する抑制電極の下流側近傍に
、他から電気的に絶縁して、その上流側からのイ
オンビームの一部を受けてそのビーム電極を計測
するためのフアラデーカツプを設けたことを特徴
とするイオン源。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13628489U JPH0374453U (ja) | 1989-11-24 | 1989-11-24 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13628489U JPH0374453U (ja) | 1989-11-24 | 1989-11-24 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0374453U true JPH0374453U (ja) | 1991-07-26 |
Family
ID=31683497
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13628489U Pending JPH0374453U (ja) | 1989-11-24 | 1989-11-24 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0374453U (ja) |
-
1989
- 1989-11-24 JP JP13628489U patent/JPH0374453U/ja active Pending