JPS62167357U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS62167357U JPS62167357U JP5627686U JP5627686U JPS62167357U JP S62167357 U JPS62167357 U JP S62167357U JP 5627686 U JP5627686 U JP 5627686U JP 5627686 U JP5627686 U JP 5627686U JP S62167357 U JPS62167357 U JP S62167357U
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- JP
- Japan
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- allows
- pass
- aperture
- charged
- beam device
- Prior art date
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- Pending
Links
- 239000002245 particle Substances 0.000 claims 2
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 238000009825 accumulation Methods 0.000 description 1
- 238000000605 extraction Methods 0.000 description 1
- 239000012212 insulator Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Electron Sources, Ion Sources (AREA)
Description
第１図は本考案の一実施例を示す構成図、第２
図は荷電ビーム装置の従来構成例を示す図、第３
図は電子蓄積現象の説明図である、 １……加速管、２……絶縁碍子、３……エミツ
タ、４……引出し電極、５……高圧電源、６……
接地電極、７，１１，１３……アパーチユア、１
２……空洞部。
図は荷電ビーム装置の従来構成例を示す図、第３
図は電子蓄積現象の説明図である、 １……加速管、２……絶縁碍子、３……エミツ
タ、４……引出し電極、５……高圧電源、６……
接地電極、７，１１，１３……アパーチユア、１
２……空洞部。
Claims (1)
- エミツタより出射した荷電粒子を加速、集束し
てターゲツトに照射する荷電ビーム装置において
、荷電粒子加速用加速管部の下部電極側に大部分
のビームを通過させるアパーチユアを配し、その
下部に目的のビームを通過させると共に反射電子
を捕獲する構造の空洞部を設けたことを特徴とす
る荷電ビーム装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5627686U JPS62167357U (ja) | 1986-04-14 | 1986-04-14 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5627686U JPS62167357U (ja) | 1986-04-14 | 1986-04-14 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62167357U true JPS62167357U (ja) | 1987-10-23 |
Family
ID=30884948
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5627686U Pending JPS62167357U (ja) | 1986-04-14 | 1986-04-14 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62167357U (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS58158843A (ja) * | 1982-03-16 | 1983-09-21 | Jeol Ltd | イオン銃 |
-
1986
- 1986-04-14 JP JP5627686U patent/JPS62167357U/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS58158843A (ja) * | 1982-03-16 | 1983-09-21 | Jeol Ltd | イオン銃 |