JPH0379159U - - Google Patents

Description

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案の実施例に係るイオン注入装置
の減速管の縦断面図。第２図は第１図の装置の軸
線上の電位分布を示す図。第３図は従来例に係る
イオン注入装置の減速管の縦断面図。第４図は第
３図の装置の軸線上の電位分布を示す図。第５図
は従来例の減速管において試料面のエネルギーと
試料面でのビーム径の関係について実測結果を示
すグラフ。第６図は本考案の実施例に係る減速管
に於いて収束用電極に加える電圧ＶＥと、試料面
でのビーム径の関係について実測結果を示すグラ
フ。第７図はビームの収束発散を示す図であり、
第７図ａは従来例についてのビーム収束発散図。
第７図ｂは本考案についてのビーム収束発散図。 １……高エネルギー側チヤンバ、２……減速管
、３……絶縁リング、４……試料チヤンバ、５…
…試料、６……収束用電極、７，８……円筒部、
９……高エネルギーチヤンバフランジ、１０……
試料チヤンバフランジ、１１……減速管フランジ
、１４……高圧導入端子、１５，１６……減速電
極、１７……不連続部。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. イオンを発生しこれを高速に加速する真空に引
   かれた高エネルギーチヤンバと、真空に引かれた
   イオンを注入すべき試料を保持する試料チヤンバ
   の間にあり、イオンを減速し試料には低エネルギ
   ーで注入するための減速管であつて、試料チヤン
   バの電位に対して正又は負の高電圧が印加された
   長い筒状の減速電極と、より低い正又は負の電圧
   が印加され前記減速電極の途中に設けられた短い
   筒状の収束用電極とよりなる事を特徴とする低エ
   ネルギー注入装置における減速管。