JPS62129759U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS62129759U JPS62129759U JP1653286U JP1653286U JPS62129759U JP S62129759 U JPS62129759 U JP S62129759U JP 1653286 U JP1653286 U JP 1653286U JP 1653286 U JP1653286 U JP 1653286U JP S62129759 U JPS62129759 U JP S62129759U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- potential
- secondary electron
- cylindrical body
- maintained
- center hole
- Prior art date
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- Granted
Links
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 claims description 2
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims 1
- 230000005684 electric field Effects 0.000 claims 1
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 claims 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims 1
Landscapes
- Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
- Length-Measuring Devices Using Wave Or Particle Radiation (AREA)
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
Description
第１図は本考案の構成断面図、第２図は従来装
置の構成断面図。 １：対物レンズ、２：電子線、３：試料、４：
ＭＣＰ、５：筒体、６：電源、７：増幅器、８：
絶縁部材、９：可変電源。
置の構成断面図。 １：対物レンズ、２：電子線、３：試料、４：
ＭＣＰ、５：筒体、６：電源、７：増幅器、８：
絶縁部材、９：可変電源。
Claims (1)
- 電子ビームを試料に照射することにより発生す
る２次電子を、その中心部に帯電防止用の金属性
筒体が貫通し、２次電子入射部が正の電位に保た
れるセンターホール形マイクロチヤンネルプレー
トによつて検出する装置において、前記筒体の電
位を前記マイクロチヤンネルプレートの２次電子
入射部の電位よりも低い正の電位に保つて該筒体
によつてマイクロチヤンネルプレートのセンター
ホール近傍に正の電界を形成するように構成した
ことを特徴とする２次電子検出器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1653286U JPH0518841Y2 (ja) | 1986-02-07 | 1986-02-07 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1653286U JPH0518841Y2 (ja) | 1986-02-07 | 1986-02-07 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62129759U true JPS62129759U (ja) | 1987-08-17 |
| JPH0518841Y2 JPH0518841Y2 (ja) | 1993-05-19 |
Family
ID=30808473
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1653286U Expired - Lifetime JPH0518841Y2 (ja) | 1986-02-07 | 1986-02-07 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0518841Y2 (ja) |
-
1986
- 1986-02-07 JP JP1653286U patent/JPH0518841Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0518841Y2 (ja) | 1993-05-19 |