JPH0390100U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0390100U JPH0390100U JP15253389U JP15253389U JPH0390100U JP H0390100 U JPH0390100 U JP H0390100U JP 15253389 U JP15253389 U JP 15253389U JP 15253389 U JP15253389 U JP 15253389U JP H0390100 U JPH0390100 U JP H0390100U
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- JP
- Japan
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- source
- ion
- ion beam
- section
- plasma
- Prior art date
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- Pending
Links
- 238000010884 ion-beam technique Methods 0.000 claims description 9
- 238000000605 extraction Methods 0.000 claims description 3
- 239000000284 extract Substances 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
Landscapes
- Electron Sources, Ion Sources (AREA)
Description
第１図Ａはこの考案の一実施例に係るイオンビ
ーム照射装置の概略構成図であり、同図Ｂはその
電位分布図である。第２図Ａは従来のイオンビー
ム照射装置の一例の概略構成図であり、同図Ｂは
その電位分布図である。 ２……イオン源、２ａ……プラズマソース部、
２ｂ……引出し電極、４……イオンビーム、６…
…減速管、８……試料、１０……第１の直流電源
、１４……第２の直流電源。
ーム照射装置の概略構成図であり、同図Ｂはその
電位分布図である。第２図Ａは従来のイオンビー
ム照射装置の一例の概略構成図であり、同図Ｂは
その電位分布図である。 ２……イオン源、２ａ……プラズマソース部、
２ｂ……引出し電極、４……イオンビーム、６…
…減速管、８……試料、１０……第１の直流電源
、１４……第２の直流電源。
Claims (1)
- プラズマを作るプラズマソース部およびそこか
らイオンビームを引き出す引出し電極を有するイ
オン源と、このイオン源から引き出されたイオン
ビームを減速する減速管とを備え、この減速管を
通過したイオンビームを接地電位部に設けられた
試料に照射するようにしたイオンビーム照射状態
において、前記イオン源のプラズマソース部と引
出し電極との間に、前者を正側にして、相対的に
高電圧を出力する第１の直流電源を接続し、この
直流電源と負側を前記減速管の入口端側に接続し
、同減速管の出力端側を接地電位部に接続し、か
つ前記イオン源のプラズマソース部と接地電位部
との間に、前者を正側にして、相対的に低電圧を
出力する第２の直流電源を接続していることを特
徴とするイオンビーム照射装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15253389U JPH0390100U (ja) | 1989-12-28 | 1989-12-28 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15253389U JPH0390100U (ja) | 1989-12-28 | 1989-12-28 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0390100U true JPH0390100U (ja) | 1991-09-13 |
Family
ID=31698789
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15253389U Pending JPH0390100U (ja) | 1989-12-28 | 1989-12-28 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0390100U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH08241691A (ja) * | 1995-03-06 | 1996-09-17 | Natl Res Inst For Metals | 減速集束イオンビーム装置 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5272095A (en) * | 1975-12-10 | 1977-06-16 | Hitachi Ltd | Ion transmitting method |
-
1989
- 1989-12-28 JP JP15253389U patent/JPH0390100U/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5272095A (en) * | 1975-12-10 | 1977-06-16 | Hitachi Ltd | Ion transmitting method |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH08241691A (ja) * | 1995-03-06 | 1996-09-17 | Natl Res Inst For Metals | 減速集束イオンビーム装置 |