JPS62136570U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS62136570U JPS62136570U JP2140386U JP2140386U JPS62136570U JP S62136570 U JPS62136570 U JP S62136570U JP 2140386 U JP2140386 U JP 2140386U JP 2140386 U JP2140386 U JP 2140386U JP S62136570 U JPS62136570 U JP S62136570U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electrode
- brought
- ecr type
- potential
- accelerating
- Prior art date
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- Pending
Links
- 238000010884 ion-beam technique Methods 0.000 claims description 2
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 claims 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
Landscapes
- ing And Chemical Polishing (AREA)
- Electron Sources, Ion Sources (AREA)
Description
第１図は、この考案の一実施例に係るＥＣＲ型
イオン源を示す概略図、第２図および第３図は、
それぞれ、第１図のイオン源における加速電極と
減速電極との関係の例を示す拡大部分断面図であ
る。第４図は、従来のＥＣＲ型イオン源の一例を
示す概略図である。第５図は、従来の電子ビーム
励起型イオン源の一例を示す概略図である。 ６…プラズマ室、１０…加速電極、１２…接地
電極、１６…イオンビーム、２４…実施例に係る
ＥＣＲ型イオン源、２６…減速電極、３０…二次
電子。
イオン源を示す概略図、第２図および第３図は、
それぞれ、第１図のイオン源における加速電極と
減速電極との関係の例を示す拡大部分断面図であ
る。第４図は、従来のＥＣＲ型イオン源の一例を
示す概略図である。第５図は、従来の電子ビーム
励起型イオン源の一例を示す概略図である。 ６…プラズマ室、１０…加速電極、１２…接地
電極、１６…イオンビーム、２４…実施例に係る
ＥＣＲ型イオン源、２６…減速電極、３０…二次
電子。
Claims (1)
- プラズマ室の開口部に、複数の貫通孔をそれぞ
れ有していて正電位にされる加速電極と負電位に
される減速電極と接地電位にされる接地電極とを
この順序で並べたＥＣＲ型イオン源において、加
速電極を通過して引き出されるイオンビームの一
部分を減速電極に衝突させるようにしたことを特
徴とするＥＣＲ型イオン源。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2140386U JPS62136570U (ja) | 1986-02-17 | 1986-02-17 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2140386U JPS62136570U (ja) | 1986-02-17 | 1986-02-17 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62136570U true JPS62136570U (ja) | 1987-08-28 |
Family
ID=30817815
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2140386U Pending JPS62136570U (ja) | 1986-02-17 | 1986-02-17 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62136570U (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH07118859A (ja) * | 1993-10-19 | 1995-05-09 | Nissin Electric Co Ltd | イオン源装置 |
| JP2003203577A (ja) * | 2003-02-05 | 2003-07-18 | Nissin Electric Co Ltd | プラズマ源装置 |
-
1986
- 1986-02-17 JP JP2140386U patent/JPS62136570U/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH07118859A (ja) * | 1993-10-19 | 1995-05-09 | Nissin Electric Co Ltd | イオン源装置 |
| JP2003203577A (ja) * | 2003-02-05 | 2003-07-18 | Nissin Electric Co Ltd | プラズマ源装置 |