JPH047652U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH047652U JPH047652U JP4633790U JP4633790U JPH047652U JP H047652 U JPH047652 U JP H047652U JP 4633790 U JP4633790 U JP 4633790U JP 4633790 U JP4633790 U JP 4633790U JP H047652 U JPH047652 U JP H047652U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- faraday cage
- shielding plate
- front surface
- utility
- target chamber
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000005468 ion implantation Methods 0.000 claims 1
Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Electron Sources, Ion Sources (AREA)
Description
第1図はこの考案の一実施例の縦断面図、第2
図は他の実施例の要部縦断面図、第3図は従来例
の縦断面図である。 1……ターゲツトチヤンバ、3……サプレツサ
電極、4……フアラデーケージ、40……プラテ
ン、15……遮蔽板。
図は他の実施例の要部縦断面図、第3図は従来例
の縦断面図である。 1……ターゲツトチヤンバ、3……サプレツサ
電極、4……フアラデーケージ、40……プラテ
ン、15……遮蔽板。
Claims (1)
- フアラデーケージを覆うターゲツトチヤンバか
ら内方に向かつて突出しイオンの通過孔を有する
環状の遮蔽板を、フアラデーケージの前面に近接
して設けたイオン注入装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP4633790U JPH047652U (ja) | 1990-04-27 | 1990-04-27 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP4633790U JPH047652U (ja) | 1990-04-27 | 1990-04-27 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH047652U true JPH047652U (ja) | 1992-01-23 |
Family
ID=31561333
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP4633790U Pending JPH047652U (ja) | 1990-04-27 | 1990-04-27 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH047652U (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS48103324U (ja) * | 1972-03-02 | 1973-12-04 |
-
1990
- 1990-04-27 JP JP4633790U patent/JPH047652U/ja active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS48103324U (ja) * | 1972-03-02 | 1973-12-04 |