JPS622151U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS622151U JPS622151U JP9355185U JP9355185U JPS622151U JP S622151 U JPS622151 U JP S622151U JP 9355185 U JP9355185 U JP 9355185U JP 9355185 U JP9355185 U JP 9355185U JP S622151 U JPS622151 U JP S622151U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- conduit
- exhaust port
- cylindrical body
- electron microscope
- scanning electron
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 claims description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
Description
第1図は本考案の一実施例の要部の縦断面図、
第2図及び第3図は他の実施例を説明するための
図、第4図は従来例の構成図である。 3:陽極、10:電子線用導管、10A:導管
、10B:筒体、11:バイアス電源、12,1
3:筒体。
第2図及び第3図は他の実施例を説明するための
図、第4図は従来例の構成図である。 3:陽極、10:電子線用導管、10A:導管
、10B:筒体、11:バイアス電源、12,1
3:筒体。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 (1) その内部に複数の絞りを有する導管が電子
レンズ内に挿入されその両端で真空を保持し得る
ように構成された装置において、前記導管に形成
された絞りの近傍の該導管壁に排気口を形成し、
該導管を少くとも1つ以上の筒体で覆つて二重又
は多重に構成し、最も外側の筒体以外の筒体の壁
に排気口を設けた電子線用導管を具備したことを
特徴とする走査電子顕微鏡。 (2) 前記筒体に正のバイアス電圧が印加された
実用新案登録請求の範囲第1項記載の走査電子顕
微鏡。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP9355185U JPS622151U (ja) | 1985-06-20 | 1985-06-20 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP9355185U JPS622151U (ja) | 1985-06-20 | 1985-06-20 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS622151U true JPS622151U (ja) | 1987-01-08 |
Family
ID=30651334
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP9355185U Pending JPS622151U (ja) | 1985-06-20 | 1985-06-20 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS622151U (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008530803A (ja) * | 2005-02-18 | 2008-08-07 | アイエムエス ナノファブリケーション エージー | 荷電粒子暴露装置 |
-
1985
- 1985-06-20 JP JP9355185U patent/JPS622151U/ja active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008530803A (ja) * | 2005-02-18 | 2008-08-07 | アイエムエス ナノファブリケーション エージー | 荷電粒子暴露装置 |