JPS6373855U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6373855U JPS6373855U JP16788586U JP16788586U JPS6373855U JP S6373855 U JPS6373855 U JP S6373855U JP 16788586 U JP16788586 U JP 16788586U JP 16788586 U JP16788586 U JP 16788586U JP S6373855 U JPS6373855 U JP S6373855U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- magnetic field
- anode
- cylindrical
- cathodes
- pump
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 108010083687 Ion Pumps Proteins 0.000 claims description 4
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 claims description 3
- 230000002238 attenuated effect Effects 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
Landscapes
- Electron Tubes For Measurement (AREA)
Description
第１図は本考案の一実施例の筒状陽極部を示す
ための図、第２図は本考案によるイオンポンプの
排気特性を説明するための図、第３図は従来のス
パツタイオンポンプを説明するための図、第４図
は第３図のＡ―Ａ′断面図である。第５図はマグ
ネツトの磁場分布を説明するための図である。 １ａ，１ｂ：陰極、３：電源、４ａ，４ｂ：マ
グネツト、１０ａ，１０ｂ：円筒状陽極。
ための図、第２図は本考案によるイオンポンプの
排気特性を説明するための図、第３図は従来のス
パツタイオンポンプを説明するための図、第４図
は第３図のＡ―Ａ′断面図である。第５図はマグ
ネツトの磁場分布を説明するための図である。 １ａ，１ｂ：陰極、３：電源、４ａ，４ｂ：マ
グネツト、１０ａ，１０ｂ：円筒状陽極。
Claims (1)
- 一対の互いに平行に配置された陰極と、該陰極
間にその軸方向が前記陰極と垂直を成すように配
置された複数の筒状陽極と、該陰陽極間に電圧を
印加するための手段と、該陽極の軸方向に沿つて
磁場を印加するための手段とを具備したスパツタ
イオンポンプにおいて、前記筒状陽極は径の大小
異なる複数種類の筒状陽極より成り、大きな径を
有する筒状陽極は前記磁場印加手段により最大磁
場が発生するポンプ中心領域に配置されており、
小さな径を有する筒状陽極は前記磁場印加手段に
より発生する磁場が減衰するポンプ周辺部に配置
されており、前記径の大きな筒状陽極での放電に
より超高真空領域での排気が為され、径の小さな
筒状陽極での放電により高真空領域での排気が成
されることを特徴とするスパツタイオンポンプ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16788586U JPH0339882Y2 (ja) | 1986-10-31 | 1986-10-31 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16788586U JPH0339882Y2 (ja) | 1986-10-31 | 1986-10-31 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6373855U true JPS6373855U (ja) | 1988-05-17 |
| JPH0339882Y2 JPH0339882Y2 (ja) | 1991-08-22 |
Family
ID=31100239
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16788586U Expired JPH0339882Y2 (ja) | 1986-10-31 | 1986-10-31 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0339882Y2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US10726387B2 (en) | 2016-08-18 | 2020-07-28 | Amazon Technologies, Inc. | AGV traffic management system |
-
1986
- 1986-10-31 JP JP16788586U patent/JPH0339882Y2/ja not_active Expired
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US10726387B2 (en) | 2016-08-18 | 2020-07-28 | Amazon Technologies, Inc. | AGV traffic management system |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0339882Y2 (ja) | 1991-08-22 |
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