JPS60105058U - スパツタ−イオンポンプ - Google Patents
スパツタ−イオンポンプInfo
- Publication number
- JPS60105058U JPS60105058U JP19762283U JP19762283U JPS60105058U JP S60105058 U JPS60105058 U JP S60105058U JP 19762283 U JP19762283 U JP 19762283U JP 19762283 U JP19762283 U JP 19762283U JP S60105058 U JPS60105058 U JP S60105058U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- anode
- magnetic field
- cathodes
- ion pump
- sputter ion
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Landscapes
- Electron Tubes For Measurement (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は従来のポンプを例示するための図、第２図ａ、
ｂは、従来のポンプにおける陽極を説明するための図
、第３図は円筒状陽極の直径の大きさの変化に伴う単位
区画当りのトータルの排気速度の変化を説明するための
図、第４図は従来及び本考案に基づくポンプの不活性ガ
スに対する排気速度の経時変化を比較して示すための図
、第５図は本考案の一実施例を示すための図である。 １ａｉｂ：陰極、２，５：円筒状陽極、３：電源、４ａ
、４ｂ：磁極片、イ、イ′：円筒状陽極によって囲まれ
た領域。 。
ｂは、従来のポンプにおける陽極を説明するための図
、第３図は円筒状陽極の直径の大きさの変化に伴う単位
区画当りのトータルの排気速度の変化を説明するための
図、第４図は従来及び本考案に基づくポンプの不活性ガ
スに対する排気速度の経時変化を比較して示すための図
、第５図は本考案の一実施例を示すための図である。 １ａｉｂ：陰極、２，５：円筒状陽極、３：電源、４ａ
、４ｂ：磁極片、イ、イ′：円筒状陽極によって囲まれ
た領域。 。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 一対の互いに平行に配置された陰極と、該陰極間に充填
係数１でその軸方向が該陰極と垂直をなすように配置さ
れた複数の筒状陽極と、該陰陽極間に電圧を印加するた
めの手段と、該陽極の軸方向に沿って磁場を印加するた
めの手段とを具備した装置において、該磁場の強度Ｂに
よって定まる円筒状の陽極内部を介して放電を生じさせ
るために必要な該陽極直径の最小値をＤｃ （Ｂ）とす
ると、該陽極の直径りは略 Ｄ ＞２．４２ＤＣ（Ｂ） を満すように形成されていることを特徴とするスパッタ
ーイオンポンプ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19762283U JPS60105058U (ja) | 1983-12-22 | 1983-12-22 | スパツタ−イオンポンプ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19762283U JPS60105058U (ja) | 1983-12-22 | 1983-12-22 | スパツタ−イオンポンプ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60105058U true JPS60105058U (ja) | 1985-07-17 |
Family
ID=30756013
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19762283U Pending JPS60105058U (ja) | 1983-12-22 | 1983-12-22 | スパツタ−イオンポンプ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60105058U (ja) |
-
1983
- 1983-12-22 JP JP19762283U patent/JPS60105058U/ja active Pending
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