JPS6049153U - スパッタ装置のカソ−ド - Google Patents
スパッタ装置のカソ−ドInfo
- Publication number
- JPS6049153U JPS6049153U JP14087683U JP14087683U JPS6049153U JP S6049153 U JPS6049153 U JP S6049153U JP 14087683 U JP14087683 U JP 14087683U JP 14087683 U JP14087683 U JP 14087683U JP S6049153 U JPS6049153 U JP S6049153U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cathode
- magnetic field
- sputtering equipment
- generating means
- sputtering apparatus
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Physical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図はプレーナ型マグネトロンスパッタ装置のカソー
ドの概略図、第２図は該カソードの磁界発生手段の詳細
図、第３図は本考案に係わる前記磁界発生手段の構成図
である。 １：ターゲツート、２：陰電極本体、７ａ、７ｂ：磁極
体、１０ａ、１０ｂ、１０ｃ、１０ｄ。 １０ｆ：連結部材。
ドの概略図、第２図は該カソードの磁界発生手段の詳細
図、第３図は本考案に係わる前記磁界発生手段の構成図
である。 １：ターゲツート、２：陰電極本体、７ａ、７ｂ：磁極
体、１０ａ、１０ｂ、１０ｃ、１０ｄ。 １０ｆ：連結部材。
Claims (1)
- ターゲット表面近傍に磁界を形成させるために永久磁石
からなる磁界発生手段を備えたスパッタ装置のカソード
にお−いて、前記磁界発生手段が、磁界に直角な方向の
貫通孔を設けた複数の磁石片゛を該貫通孔に連結部材を
挿通してその磁界が同一方向になるように□組立てた磁
石組立体からなることを特徴とするスパッタ装置のカソ
ード。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14087683U JPS6049153U (ja) | 1983-09-13 | 1983-09-13 | スパッタ装置のカソ−ド |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14087683U JPS6049153U (ja) | 1983-09-13 | 1983-09-13 | スパッタ装置のカソ−ド |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6049153U true JPS6049153U (ja) | 1985-04-06 |
Family
ID=30315260
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14087683U Pending JPS6049153U (ja) | 1983-09-13 | 1983-09-13 | スパッタ装置のカソ−ド |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6049153U (ja) |
-
1983
- 1983-09-13 JP JP14087683U patent/JPS6049153U/ja active Pending
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